技術編號：41756114
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及涂布機的，尤其是涉及一種熱板pin針高度測量裝置。背景技術、涂布機在工作過程中，需要將pin針升起，抬起晶圓對其進行操作，而涂布機在長時間使用后，針體抬起的高度可能發生變化，存在誤差，需要進行調整。、故一般需要對針體抬起的高度進行定期的測量，現階段由于內部的空間較為狹小，經常使用的方法就是將測量尺的端部伸入至內部，將針體的抬起高度與測量尺的端部進行大致的比對，以判斷針體的運動高度，但是這種估值的方式，往往誤差較大，十分影響后續的操作。技術實現思路、為了較為準確的測量針體的抬起高度...
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