本申請涉及涂布機的，尤其是涉及一種熱板pin針高度測量裝置。

背景技術：

1、涂布機在工作過程中，需要將pin針升起，抬起晶圓對其進行操作，而涂布機在長時間使用后，針體抬起的高度可能發生變化，存在誤差，需要進行調整。

2、故一般需要對針體抬起的高度進行定期的測量，現階段由于內部的空間較為狹小，經常使用的方法就是將測量尺的端部伸入至內部，將針體的抬起高度與測量尺的端部進行大致的比對，以判斷針體的運動高度，但是這種估值的方式，往往誤差較大，十分影響后續的操作。

技術實現思路

1、為了較為準確的測量針體的抬起高度，本申請提供一種熱板pin針高度測量裝置。

2、本申請提供的一種熱板pin針高度測量裝置，采用如下的技術方案：一種熱板pin針高度測量裝置，包括架桿，所述架桿的端部設置有用于套設針體的滑桿，所述滑桿的一端具有用于抵觸針體端部的限位環，所述滑桿沿垂直于架桿的方向滑移設置，所述架桿上還設置有用于抵壓并固定所述滑桿位置的限位機構。

3、通過采用上述技術方案，在測量時，將架桿伸入至內部，使得滑桿的底部接觸熱板，并使得架桿保持高度不變，此時抬升針體，針體將會伸入至滑桿內，限位環最終將會抵接于針體的端部，滑桿相對架桿滑動，然后通過限位機構將滑桿的位置固定，當取出架桿后，能夠根據滑桿的最終位置測量或者讀出針體的高度，測量簡單并且十分方便。

4、優選的，所述滑桿的側邊具有供針體嵌入的容置槽。

5、優選的，所述限位機構包括滑移設置在架桿中部并用于抵壓在所述滑桿的抵壓桿，當所述抵壓桿作用于所述滑桿時，所述抵壓桿與針體不接觸。

6、優選的，所述架桿設置有用于驅使所述抵壓桿朝向所述滑桿運動的施力組件。

7、優選的，所述施力組件包括套設并滑移連接在架桿上的滑移板、固定設置在架桿遠離滑桿一端的固定板、設置在固定板與滑移板之間的彈性件，所述抵壓桿的端部固定連接于所述滑移板。

8、優選的，所述彈性件包括并列設置的若干彈簧，所述滑移板與所述固定板上均具有供彈簧端部嵌入固定的限位槽。

9、優選的，所述架桿中部具有供所述抵壓桿滑移的滑移槽道，所述滑移槽道的兩內壁具有供抵壓桿側邊嵌入的滑槽。

10、優選的，所述容置槽的深度大于針體的直徑，所述抵壓桿的端部為適配于所述滑桿外壁的弧形。

11、優選的，所述容置槽的深度小于所述針體的直徑，所述抵壓桿的端部具有位于所述容置槽兩側的抵壓塊。

12、優選的，所述抵壓塊上具有用于抵觸在所述滑桿上的橡膠凸點。

13、綜上所述，本申請包括以下至少一種有益技術效果：

14、1、在測量時，將架桿伸入至內部，使得滑桿的底部接觸熱板，并使得架桿保持高度不變，此時抬升針體，針體將會伸入至滑桿內，限位環最終將會抵接于針體的端部，滑桿相對架桿滑動，然后通過限位機構將滑桿的位置固定，當取出架桿后，能夠根據滑桿的最終位置測量或者讀出針體的高度，測量簡單并且十分方便；

15、2、施力組件能夠使得在滑桿運動至末端后，能夠在彈性件的作用下，使得抵壓桿保持限位滑桿的作用，在取出的過程中，滑桿能夠保持測量的狀態，提高測量的準確性。

技術特征：

1.一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：包括架桿（100），所述架桿（100）的端部設置有用于套設針體的滑桿（110），所述滑桿（110）的一端具有用于抵觸針體端部的限位環（111），所述滑桿（110）沿垂直于架桿（100）的方向滑移設置，所述架桿（100）上還設置有用于抵壓并固定所述滑桿（110）位置的限位機構。

2.根據權利要求1所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述滑桿（110）的側邊具有供針體嵌入的容置槽（112）。

3.根據權利要求2所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述限位機構包括滑移設置在架桿（100）中部并用于抵壓在所述滑桿（110）的抵壓桿（113），當所述抵壓桿（113）作用于所述滑桿（110）時，所述抵壓桿（113）與針體不接觸。

4.根據權利要求3所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述架桿（100）設置有用于驅使所述抵壓桿（113）朝向所述滑桿（110）運動的施力組件。

5.根據權利要求4所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述施力組件包括套設并滑移連接在架桿（100）上的滑移板（116）、固定設置在架桿（100）遠離滑桿（110）一端的固定板（117）、設置在固定板（117）與滑移板（116）之間的彈性件，所述抵壓桿（113）的端部固定連接于所述滑移板（116）。

6.根據權利要求5所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述彈性件包括并列設置的若干彈簧（120），所述滑移板（116）與所述固定板（117）上均具有供彈簧（120）端部嵌入固定的限位槽（121）。

7.根據權利要求3所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述架桿（100）中部具有供所述抵壓桿（113）滑移的滑移槽道（114），所述滑移槽道（114）的兩內壁具有供抵壓桿（113）側邊嵌入的滑槽（115）。

8.根據權利要求6所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述容置槽（112）的深度大于針體的直徑，所述抵壓桿（113）的端部為適配于所述滑桿（110）外壁的弧形。

9.根據權利要求6所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述容置槽（112）的深度小于所述針體的直徑，所述抵壓桿（113）的端部具有位于所述容置槽（112）兩側的抵壓塊（130）。

10.根據權利要求9所述的一種熱板pin針高度測量裝置，其特征在于：所述抵壓塊（130）上具有用于抵觸在所述滑桿（110）上的橡膠凸點（131）。

技術總結
本申請涉及涂布機的技術領域，尤其是涉及一種熱板PIN針高度測量裝置，包括架桿，所述架桿的端部設置有用于套設針體的滑桿，所述滑桿的一端具有用于抵觸針體端部的限位環，所述滑桿沿垂直于架桿的方向滑移設置，所述架桿上還設置有用于抵壓并固定所述滑桿位置的限位機構。本申請具有以下效果：在測量時，將架桿伸入至內部，使得滑桿的底部接觸熱板，并使得架桿保持高度不變，此時抬升針體，針體將會伸入至滑桿內，限位環最終將會抵接于針體的端部，滑桿相對架桿滑動，然后通過限位機構將滑桿的位置固定，當取出架桿后，能夠根據滑桿的最終位置測量或者讀出針體的高度，測量簡單并且十分方便。

技術研發人員：陳慶,謝巍,陳陽
受保護的技術使用者：長電集成電路（紹興）有限公司
技術研發日：20240418
技術公布日：2025/4/28