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具有雙側觸點的晶體管器件的制作方法技術資料下載

技術編號:41764861

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本公開內容的各方面一般涉及三維集成電路(dic)器件,其包括具有雙側觸點或兩側觸點的晶體管器件,并且還包括鰭式場效應晶體管(finfet)和全環繞柵極(gaa)器件中的雙側(例如,前側和/或背側)觸點。背景技術、集成電路技術在通過小型化組件(諸如半導體晶體管)推進算力方面取得了巨大的進展。半導體的發展已經從體襯底和平面cmos、finfet、納米線或納米帶、finfet?d堆疊發展到納米線或納米帶d堆疊。dic是延續摩爾(more?moore)時代中的超大規模集成(vlsi)器件的主要...
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