技術編號：41775185
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及一種探針卡用懸臂式探針。背景技術、探針卡是用于以下情況的電氣連接裝置：使探針接觸半導體設備的電極焊盤，進行電力的供給、信號的輸入輸出和接地，以進行形成于晶圓上的每一個半導體設備的動作測試。、探針設置于探針卡的表面，且構成為前端通過規定的按壓力而被按壓于半導體設備的電極焊盤。、為了增加形成于晶圓上的半導體設備的數量，需要減小半導體設備的尺寸。因此，半導體設備的電極焊盤被設計得較小，且電極焊盤間的距離(間距)被設計得較小。因此，與半導體設備的微小化對應地需要使探針變得微細。不過，當使...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。