技術(shù)編號(hào)：41775333
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓傳遞設(shè)備，尤其涉及一種機(jī)械手驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)及晶圓裝載系統(tǒng)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體處理中，雙選擇順應(yīng)性鉸接式機(jī)械臂可用于將晶圓/硅片傳送到半導(dǎo)體處理模塊和從半導(dǎo)體處理模塊傳送晶圓/硅片，雙選擇順應(yīng)性鉸接式機(jī)械臂大體上允許往返于處理模塊的基底的快速交換，其中快速交換可稱為從處理模塊移除一個(gè)基底并且緊接地將另一個(gè)不同的基底放置到同一處理模塊。、現(xiàn)有選擇順應(yīng)性鉸接式機(jī)械臂的減速機(jī)構(gòu)中，通過減速機(jī)構(gòu)進(jìn)行降低轉(zhuǎn)速、增大輸出扭矩；一般通過增加傳動(dòng)層級(jí)進(jìn)行減速增加扭矩，帶輪之間通過同步帶進(jìn)行扭矩傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。