本發明涉及半導體晶圓傳遞設備，尤其涉及一種機械手驅動結構及晶圓裝載系統。

背景技術：

1、在半導體處理中，雙選擇順應性鉸接式機械臂可用于將晶圓/硅片傳送到半導體處理模塊和從半導體處理模塊傳送晶圓/硅片，雙選擇順應性鉸接式機械臂大體上允許往返于處理模塊的基底的快速交換，其中快速交換可稱為從處理模塊移除一個基底并且緊接地將另一個不同的基底放置到同一處理模塊。

2、現有選擇順應性鉸接式機械臂的減速機構中，通過減速機構進行降低轉速、增大輸出扭矩；一般通過增加傳動層級進行減速增加扭矩，帶輪之間通過同步帶進行扭矩傳遞，為了保證同步帶的穩定運行需要對其張緊，一般通過改變相鄰兩個帶輪之間的徑向距離調節來對傳送帶張緊；然而現有技術中動力的輸出帶輪通常通過軸承剛性固定于法蘭基座上，導致其徑向位置無法調整。另外，現有的張緊調節機構，在張緊調節的過程中需要移動動力的輸入帶輪或者動力的輸出帶輪的徑向位置，步驟較為繁瑣，并且無法保證張緊調節后扭矩的穩定傳遞。

3、因此，有必要提供一種機械手驅動結構及晶圓裝載系統，以解決現有技術中存在的上述問題。

技術實現思路

1、本發明的目的在于提供一種機械手驅動結構及晶圓裝載系統，用以解決在動力的輸出帶輪剛性固定的情況下難以調節相鄰的帶輪之間的張緊力的技術問題。

2、為實現上述目的，本發明的技術方案如下：

3、第一方面：一種機械手驅動結構，包括：

4、至少兩個相鄰且軸線平行的帶輪；

5、傳動帶，纏繞在所述帶輪之間形成閉環傳動；

6、張力調節組件，包括錨點，和樞接于所述錨點的擺動基臺，所述擺動基臺連接其中一個帶輪并驅動其繞所述錨點擺動，以改變相鄰所述帶輪的軸心距；

7、其中，被調節的所述帶輪與錨點的連線定義為第一連線，另一個帶輪與所述錨點之間的連線定義為第二連線，當所述第一連線與所述第二連線共線時軸心距取得最小值，當所述第二連線沿所述第一連線的反向延長線延伸時軸心距取得最大值，形成預緊力自鎖區間。

8、本發明提供的一種機械手驅動結構的有益效果在于：通過張力調節組件作用于其中一個帶輪使其繞錨點樞轉，使得該帶輪相對于相鄰的另一個帶輪的軸心距發生改變，從而實現對傳動帶張力的調節。上述方案避開了動力的輸出帶輪剛性固定無法調整徑向位置的限制，并不需要直接改變動力輸出帶輪的徑向位置，而是通過改變相鄰帶輪之間的軸心距來達到張緊傳動帶的目的。并且相較于現有技術中需要將動力輸入帶輪和動力輸出帶輪進行徑向移動相比，操作相對更為簡便，減少了調節過程中需要進行的復雜步驟，提高了調節效率。

9、進一步地，包括安裝殼體，所述安裝殼體內部具有容納空間，所述安裝殼體與所述錨點固定連接，所述帶輪和所述張力調節組件設置在所述容納空間內，所述帶輪包括動力輸入帶輪、動力輸出帶輪和二級帶輪，所述動力輸入帶輪和所述動力輸出帶輪位于所述安裝殼體的第一側，所述二級帶輪位于所述安裝殼體的第二側，所述二級帶輪包括同軸的雙帶輪組，雙帶輪組分別通過獨立傳動帶連接所述動力輸入帶輪和所述動力輸出帶輪。

10、通過采用上述技術方案，將動力輸入帶輪與動力輸出帶輪同側布局、二級帶輪異側設置并集成同軸雙傳動帶輪的結構，配合錨點固定于殼體的設計，使二級帶輪擺動時，其繞錨點樞轉的軌跡方向與動力輸入帶輪和動力輸出帶輪的拉力方向形成夾角，從而將原本作用于二級帶輪的雙向同向拉力轉化為異向分力，降低帶輪傾斜風險；同時，異側布局允許通過單一樞轉動作同步調節輸入側與輸出側傳動帶的軸心距，實現雙向張力聯動補償，在避免動力輸出帶輪位置變動的前提下，提高調節效率。

11、進一步地，所述張力調節組件包括：

12、擺動基臺，與所述二級帶輪連接，所述擺動基臺能夠以所述錨點為中心擺動，所述擺動基臺上沿平行于所述二級帶輪的軸線方向開設有擺動孔，所述擺動基臺上沿自身高度方向開設有擺動孔，所述擺動基臺沿垂直于所述擺動孔的深度方向還開設有驅動孔，所述擺動孔與所述驅動孔相互垂直連通；

13、調節件，具有調節部和驅動部，所述調節部位于所述擺動孔內，所述調節部與所述安裝殼體連接，所述驅動部能夠伸入所述驅動孔抵接所述調節部，所述驅動部通過螺紋配合或線性推壓的方式驅動所述調節部在所述擺動孔內移動。

14、通過采用上述技術方案，通過擺動基臺與調節件的協同設計，將線性驅動轉化為擺動調節，實現張力的精準控制與自鎖穩定。當驅動部進入驅動孔時，其產生的軸向推力作用于調節部，迫使擺動基臺繞錨點產生可控的弧形擺動，從而同步改變二級帶輪與動力輸入/輸出帶輪之間的軸心距。

15、進一步地，所述調節部包括調節柱，所述調節柱的一端與所述安裝殼體固定連接，所述驅動部包括驅動螺栓，所述驅動孔內壁開設有螺紋，所述驅動螺栓與所述驅動孔螺紋連接并伸入所述擺動孔內抵接所述調節柱。

16、通過采用上述技術方案，螺紋配合的自鎖效應與擺動孔對調節部的滑動約束，可有效防止運行中因振動導致的松動，確保張力長期穩定。

17、進一步地，所述擺動孔為條形孔，所述調節柱的直徑小于所述擺動孔的寬度以形成擺動間隙。

18、進一步地，所述擺動基臺還包括延伸部，所述延伸部靠近所述錨點，所述延伸部上開設有弧形孔，所述弧形孔沿所述錨點的一任意圓周的延伸方向分布，所述弧形孔的弧度與所述擺動基臺的擺動軌跡相匹配，所述弧形孔內滑動連接有限位柱，所述限位柱的一端與所述安裝殼體固定連接。

19、通過采用上述技術方案，通過弧形孔與限位柱的運動耦合約束，形成對二級帶輪擺動軌跡的動態限位。當擺動基臺繞錨點樞轉時，限位柱在弧形孔內的滑動路徑嚴格限定擺動角度范圍，確保二級帶輪僅能在預設的平面內擺動，消除因雙向拉力不平衡導致的側向偏移風險。限位柱與安裝殼體的固定連接進一步將擺動基臺的受力分散至殼體剛性結構，使得擺動基臺的扭矩被限位柱的側向支撐力抵消，防止發生傾斜。

20、進一步地，所述擺動基臺包括第一區域、第二區域、第三區域和第四區域；

21、所述張力調節組件還包括承載部，所述承載部設置在所述第一區域，所述錨點設置在所述第二區域，所述調節部設置在所述第三區域，所述延伸部設置在所述第四區域。

22、進一步地，所述承載部包括開設在所述第一區域內的第一軸承安裝區、沿所述第一軸承安裝區的邊緣向下突伸形成中空的承載主體以及沿所述承載主體向下突伸形成的轉接體，所述承載主體朝向所述動力輸出帶輪方向開設有供所述傳動帶通過的敞口，所述轉接體與所述承載主體固定連接，所述轉接體的內部中空形成有第二軸承安裝區。

23、進一步地，所述錨點包括錨定轉軸和軸孔，所述錨定轉軸一端與所述安裝殼體固定連接，所述軸孔沿錨定轉軸的高度方向開設在第二區域內，所述錨定轉軸和所述軸孔樞轉配合。

24、進一步地，所述二級帶輪包括第一帶輪、第二帶輪、第一軸部和第二軸部，所述第一軸部位于所述第一帶輪和所述第二帶輪之間，且同軸設置，所述第一軸部與所述第一帶輪的內周圍設形成有用于容納所述轉接體的安裝空間；所述第二軸部位于所述第二帶輪的頂部，且同軸設置。

25、進一步地，所述二級帶輪上還設置有軸承部，所述軸承部包括：

26、第一軸承，安裝在所述第二軸部與所述第一軸承安裝區之間；

27、第二軸承；安裝在所述第一軸部與第二軸承安裝區之間。

28、第二方面：本發明提供一種晶圓裝載系統，包括上述的一種機械手驅動結構，還包括：

29、手臂，所述手臂沿r軸方向伸縮；

30、所述機械手驅動結構，用于驅動所述手臂沿t軸方向旋轉。