技術編號：41775367
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種波紋管泵。背景技術、在半導體制造、化學工業等中，作為輸送供給藥液、溶劑等移送流體的泵，已知例如專利文獻記載的波紋管泵。專利文獻記載的波紋管泵以如下方式構成，即，在泵頭的左右兩側將泵外殼連結而形成個空氣室，在各空氣室的內部設置有能夠分別在左右方向上伸縮的一對波紋管，通過對各空氣室交替地供給加壓空氣而使各波紋管收縮或伸長。、在泵頭形成有與各波紋管的內部連通的移送流體的吸入通路及排出通路。另外，在泵頭設置有多個單向閥，該單向閥容許移送流體向相對于吸入通路或排出通路的一個方向的流...
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