本發明涉及一種波紋管泵。

背景技術：

1、在半導體制造、化學工業等中，作為輸送供給藥液、溶劑等移送流體的泵，已知例如專利文獻1記載的波紋管泵。專利文獻1記載的波紋管泵以如下方式構成，即，在泵頭的左右兩側將泵外殼連結而形成2個空氣室，在各空氣室的內部設置有能夠分別在左右方向上伸縮的一對波紋管，通過對各空氣室交替地供給加壓空氣而使各波紋管收縮或伸長。

2、在泵頭形成有與各波紋管的內部連通的移送流體的吸入通路及排出通路。另外，在泵頭設置有多個單向閥，該單向閥容許移送流體向相對于吸入通路或排出通路的一個方向的流動且阻止移送流體向另一方向的流動。各單向閥具有：閥外殼；閥體，其收容于該閥外殼；以及彈簧，其在閉閥方向上對該閥體進行預緊。閥外殼的一端部通過將形成于其外周的外螺紋緊固旋入于形成于泵頭的內螺紋孔，從而安裝于泵頭。

3、吸入通路用的單向閥以如下方式構成，即，通過波紋管的伸長而打開，由此容許移送流體從吸入通路向波紋管內的流動，通過波紋管的收縮而關閉，由此阻止移送流體從該波紋管內向吸入通路的流動。另外，排出通路用的單向閥以如下方式構成，即，通過波紋管的伸長而關閉，由此阻止移送流體從排出通路向波紋管內的流動，通過波紋管的收縮而打開，由此容許移送流體從波紋管內向排出通路的流動。

4、專利文獻1：日本特開2018-003709號公報

技術實現思路

1、關于上述波紋管泵，在將單向閥的閥外殼安裝于泵頭時，閥外殼的外螺紋側的一端部與泵外殼的內螺紋孔的底部抵接，而有可能使得閥外殼的所述一端部以向徑向內側傾倒的方式變形。如果閥外殼這樣變形，則單向閥的閥體、彈簧引起動作不完整，排出側的脈動惡化，產生被稱為“水錘”的沖擊壓力、氣蝕，從而有可能對波紋管泵造成不良影響。

2、本發明就是鑒于這種情形而提出的，其目的在于，提供能夠抑制單向閥的閥外殼變形的波紋管泵。

3、(1)本發明的波紋管泵具有：泵頭，其具有移送流體的吸入通路及排出通路，形成有有底的內螺紋孔；波紋管，其伸縮自由地安裝于所述泵頭，通過伸長而從所述吸入通路向內部吸入移送流體，通過收縮而從內部向所述排出通路排出移送流體；以及單向閥，其相對于所述吸入通路或所述排出通路容許向一個方向的移送流體的流動，并且阻止向另一方向的移送流體的流動，所述單向閥具有：筒狀的閥外殼，其在軸向一側的端部形成有緊固旋入于所述泵頭的所述內螺紋孔的外螺紋；卡合槽，其設置于所述泵頭的所述內螺紋孔的底面；以及卡合部，其設置于所述閥外殼的所述端部，與所述卡合槽的內周面卡合。

4、根據本發明的波紋管泵，如果將形成于單向閥的閥外殼的端部的外螺紋緊固旋入于泵頭的內螺紋孔，則設置于閥外殼的端部的卡合部與設置于內螺紋孔的底面的卡合槽的內周面卡合。在通過該卡合而將單向閥的閥外殼安裝于泵頭時，能夠抑制閥外殼的端部以向徑向內側傾倒的方式變形。

5、(2)在所述(1)的波紋管泵的基礎上，優選地，所述卡合槽的所述內周面為隨著趨向所述軸向一側而擴徑的錐面。

6、在該情況下，卡合部與作為卡合槽的內周面的錐面卡合，從而將閥外殼的端部向徑向外側按壓擴展。由此，能夠改善閥外殼的外螺紋相對于泵頭的內螺紋孔的卡合狀況。

7、發明的效果

8、根據本發明的波紋管泵，能夠抑制單向閥的閥外殼變形。

技術特征：

1.一種波紋管泵，其中，

2.根據權利要求1所述的波紋管泵，其中，

技術總結
波紋管泵(10)的單向閥(15、16)具有在軸向一側的端部(15d、16d)形成有緊固旋入于泵頭(11)的內螺紋孔(111、112)的外螺紋(15e、16e)的筒狀的閥外殼(15a、16a)。波紋管泵(10)具有：卡合槽(113、114)，其設置于泵頭(11)的內螺紋孔(111、112)的底面(111a、112a)；以及卡合部(151、161)，其設置于閥外殼(15a、16a)的端部(15d、16d)，與卡合槽(113、114)的內周面(113a、114a)卡合。

技術研發人員：浦田大輔,木下敦文
受保護的技術使用者：株式會社鈹樂
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28