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壓電器件、探測器、電子設備及超聲波圖像裝置的制作方法

文檔序號:11894066閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種壓電器件,其特征在于,具備:

振動膜;

壓電體膜,設置于所述振動膜上,并具有與所述振動膜接觸的第一面和位于與該第一面相反一側的第二面;

第一電極和第二電極,與所述壓電體膜電連接,配置于彼此分開的位置,且在與所述壓電體膜分開的位置彼此短路;以及

第三電極,與所述壓電體膜電連接,設置于所述第一電極與所述第二電極之間,并配置在與所述第一電極和所述第二電極分開的位置,

所述第一電極和所述第二電極的端部的輪廓被限定為至少局部地平行于所述第三電極的側部。

2.根據權利要求1所述的壓電器件,其特征在于,

在所述第一電極和所述第二電極與所述第三電極之間滿足沿示出最大值的應變方向而形成極化處理的電壓路徑的位置關系。

3.根據權利要求1或2所述的壓電器件,其特征在于,

所述第三電極在俯視觀察時形成為通過所述振動膜的重心上的帶狀。

4.根據權利要求3所述的壓電器件,其特征在于,

所述壓電體膜在包括所述振動膜的重心的區域中在面內方向上產生應變。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的壓電器件,其特征在于,

所述壓電體膜在俯視觀察時位于所述振動膜的輪廓線的內側。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的壓電器件,其特征在于,

所述壓電體膜的重心與所述振動膜的重心重疊。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的壓電器件,其特征在于,

所述振動膜在俯視觀察時具有矩形的輪廓,并且,

所述第一電極和所述第二電極在沿短邊的方向上與所述第三電極分開。

8.根據權利要求7所述的壓電器件,其特征在于,

所述壓電器件相對于與所述振動膜的長邊平行的基準線而形成為線對稱。

9.根據權利要求8所述的壓電器件,其特征在于,

所述第三電極具有平行于所述壓電體膜的短邊的第一寬度,并且所述第一電極和所述第二電極以所述第一寬度以上的、平行于所述壓電體膜的短邊的第二寬度與所述第三電極分開。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的壓電器件,其特征在于,

在所述第一電極與所述第三電極之間、以及所述第二電極與所述第三電極之間,所述第二面上形成有槽。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的壓電器件,其特征在于,

當俯視觀察時,在所述第一電極以及所述第二電極與所述第三電極之間,在所述振動膜上配置導電體以外的部件。

12.根據權利要求1至11中任一項所述的壓電器件,其特征在于,

作為對所述壓電體膜進行初始化的處理,施加從所述第一電極向所述第三電極的電場矢量,并且施加從所述第二電極向所述第三電極的電場矢量。

13.一種探測器,其特征在于,具有多個根據權利要求1至12中任一項所述的壓電器件。

14.根據權利要求13所述的探測器,其特征在于,

所述探測器具備形成沿切片方向配置的所述壓電器件共用的所述第三電極的導電體。

15.根據權利要求13或14所述的探測器,其特征在于,

所述探測器還具備:形成沿掃描方向配置的所述壓電器件共用的所述第一電極的導電體、和形成沿掃描方向配置的所述壓電器件共用的所述第二電極的導電體。

16.一種超聲波圖像裝置,其特征在于,具有多個根據權利要求1至12中任一項所述的壓電器件。

17.根據權利要求16所述的超聲波圖像裝置,其特征在于,

所述超聲波圖像裝置具備形成沿切片方向配置的所述壓電器件共用的所述第三電極的導電體。

18.根據權利要求16或17所述的超聲波圖像裝置,其特征在于,

所述超聲波圖像裝置還具備:形成沿掃描方向配置的所述壓電器件共用的所述第一電極的導電體、和形成沿掃描方向配置的所述壓電器件共用的所述第二電極的導電體。

19.一種電子設備,其特征在于,具有多個根據權利要求1至12中任一項所述的壓電器件。

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