專利名稱：真空管道清潔裝置及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示技術(shù)，尤其涉及一種真空管道清潔裝置及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體及平板顯示產(chǎn)業(yè)中，高真空的工藝技術(shù)應(yīng)用廣泛，特別是在等離子體增 強(qiáng)化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕等工藝中，反應(yīng)腔室通過真空管道連接到泵上，以保持設(shè)備較 高的真空度。這樣，在反應(yīng)過程中會(huì)有大量副產(chǎn)物產(chǎn)生在管道內(nèi)，遇冷后以粉末的形式附著 在真空管道內(nèi)壁上，設(shè)備在運(yùn)行時(shí)間較長后真空管道壁上會(huì)粘結(jié)有大量的附著物，從而導(dǎo) 致真空管道內(nèi)氣體流量低下，易造成反應(yīng)腔室真空度下降、設(shè)備停機(jī)等問題。現(xiàn)有技術(shù)中通常采用物理清洗法或化學(xué)清洗法對(duì)真空管道進(jìn)行濕法清洗。其中物 理清洗法主要是向真空管道內(nèi)壓入樹脂子彈，然后沖壓入大量水以進(jìn)行清洗，該方法對(duì)真 空管道及樹脂子彈強(qiáng)度、材料等都有較高的要求，如真空管道的耐受壓力要較高，真空管道 內(nèi)彎曲連接處不能太多等。化學(xué)清洗法主要是向真空管道內(nèi)注入化學(xué)藥劑，以對(duì)真空管道 內(nèi)附著物進(jìn)行中和反應(yīng)，該方法需要大量的化學(xué)藥劑和水，并且也會(huì)對(duì)環(huán)境造成一定的破 壞。另外，采用上述物理清洗法或化學(xué)清洗法對(duì)真空管道進(jìn)行清洗后，真空管道內(nèi)都 會(huì)附著有大量的水分，后續(xù)需要對(duì)真空管道進(jìn)行干燥的過程，使短期內(nèi)設(shè)備不能恢復(fù)工作。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種真空管道清潔裝置及系統(tǒng)，用以清潔彎曲連接處較多的真空 管道，且不需要對(duì)真空管道進(jìn)行干燥的過程，清潔完即可投入使用。本實(shí)用新型提供一種真空管道清潔裝置，包括至少二個(gè)清潔桿、至少一個(gè)毛刷頭 以及牽引裝置；所述清潔桿之間以配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接并構(gòu)成清潔桿組；所述毛刷頭設(shè)置在至少一個(gè)清潔桿上；所述牽引裝置設(shè)置在所述清潔桿組的兩端。進(jìn)一步的，所述清潔桿的一端為凹面結(jié)構(gòu)，所述清潔桿的另一端為凸面結(jié)構(gòu)，所述 清潔桿之間的凹面結(jié)構(gòu)與凸面結(jié)構(gòu)構(gòu)成配合結(jié)構(gòu)；所述清潔桿之間通過鋼絲繩連接。優(yōu)選地，所述毛刷頭設(shè)置在所述清潔桿上。所述毛刷頭包括刷毛、刷毛底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。該真空管道清潔裝置的清潔桿組首端和/或尾端的清潔桿與所述牽引裝置之間 還可設(shè)置有活塞頭。所述毛刷頭可為一個(gè)。優(yōu)選地，間隔一個(gè)或多個(gè)清潔桿設(shè)置所述毛刷頭。本實(shí)用新型提供一種真空管道清潔系統(tǒng)，包括上述提供的一種真空管道清潔裝 置，還包括尾部接收設(shè)備和真空吸收設(shè)備；[0017]所述牽引裝置的一端與所述尾部接收設(shè)備連接，所述真空吸收設(shè)備與所述尾部接 收設(shè)備連接，所述尾部接收設(shè)備用于接收真空管道清潔裝置清理出的粉末，所述真空吸收 設(shè)備用于吸收尾部接收設(shè)備中的粉末。采用本實(shí)用新型提供的真空管道清潔裝置及系統(tǒng)清潔真空管道，不需要對(duì)真空管 道進(jìn)行后續(xù)干燥的過程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以 配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，使得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉(zhuǎn)活動(dòng)，適用于清潔彎曲連接處 較多的真空管道。

圖1為本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面通過附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。圖1為本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實(shí) 施例包括至少二個(gè)清潔桿11、至少一個(gè)毛刷頭12以及牽引裝置13。其中，清潔桿11之間以配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接并構(gòu)成清潔桿組10 ；毛刷頭12設(shè)置在 至少一個(gè)清潔桿上；牽引裝置13設(shè)置在清潔桿組10的兩端。進(jìn)一步的，清潔桿11的一端為凹面結(jié)構(gòu)，清潔桿11的另一端為凸面結(jié)構(gòu)，清潔桿 11之間的凹面結(jié)構(gòu)與凸面結(jié)構(gòu)構(gòu)成配合結(jié)構(gòu)；清潔桿11之間通過鋼絲繩14連接。通過這 種配合結(jié)構(gòu)的活動(dòng)連接，可以使真空管道清潔裝置在各方向旋轉(zhuǎn)活動(dòng)。本實(shí)施例中，毛刷頭12固接在清潔桿上。在圖1中，間隔一個(gè)清潔桿設(shè)置毛刷頭。 本實(shí)用新型也可以間隔多個(gè)清潔桿設(shè)置毛刷頭。具體地，毛刷頭12可以包括刷毛、刷毛底座及螺絲。其中，刷毛可采用硬質(zhì)且具有 一定韌性的較長的塑料細(xì)絲制成，刷毛固定在刷毛底座上，例如以植入壓塑的方式使刷毛 與刷毛底座緊固，刷毛不易脫落；采用螺絲將刷毛底座固定在清潔桿上，每個(gè)毛刷頭固定位 置可以環(huán)繞固定數(shù)個(gè)刷毛底座，有利于對(duì)狀態(tài)不好的刷毛進(jìn)行調(diào)整更換。本實(shí)施例中，牽引裝置13包括兩條牽引繩，這兩條牽引繩分別連接在清潔桿組的 兩端。圖2為本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，與圖 1所示的真空管道清潔裝置的不同之處在于，設(shè)置有毛刷頭的清潔桿包括第一清潔子桿21 和第二清潔子桿22，第一清潔子桿21和第二清潔子桿22螺接。其中，第一清潔子桿21的一端為螺絲結(jié)構(gòu)，第二清潔子桿22對(duì)應(yīng)的一端為螺母結(jié) 構(gòu)。 進(jìn)一步的，本實(shí)施例中，毛刷頭可以包括刷毛、刷毛底座，其中，刷毛底座的內(nèi)表面 構(gòu)成螺母結(jié)構(gòu)，能夠與第一清潔子桿螺接。具體使用中，可依次將毛刷頭、第二清潔子桿22 與第一清潔子桿21螺接。 或者，第一清潔子桿21的一端為螺母結(jié)構(gòu)，第二清潔子桿22對(duì)應(yīng)的一端為螺絲結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步的，本實(shí)施例中，所有的清潔桿都可以采用上述螺接的結(jié)構(gòu)。上述實(shí)施例一和二提供的真空管道清潔裝置可用于干法清潔真空管道。具體地 說，將待清洗的真空管道兩端分別與所連接的設(shè)備分離；將上述真空管道清潔裝置通入真 空管道內(nèi)部，直至真空管道下部露出一端的牽引繩，真空管道清潔裝置的長度可以根據(jù)真 空管道的長度而定，可調(diào)整清潔桿的個(gè)數(shù)用于調(diào)整真空管道清潔裝置的長度；使用外力分 別牽引兩條牽引繩，拉動(dòng)毛刷頭與真空管道內(nèi)壁摩擦，這樣緊貼內(nèi)壁的粉末被刮動(dòng)脫落；經(jīng) 過數(shù)次摩擦，真空管道內(nèi)的粉末大顆粒被基本去除，真空管道清理完畢。采用實(shí)施例一和二提供的真空管道清潔裝置清潔真空管道，不需要對(duì)真空管道進(jìn) 行后續(xù)干燥的過程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以配合 結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，使得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉(zhuǎn)活動(dòng)，適用于清潔彎曲連接處較多 的真空管道；相比于現(xiàn)有技術(shù)，真空管道清潔裝置的毛刷頭對(duì)真空管道內(nèi)壁壓力很小，不會(huì) 對(duì)真空管道內(nèi)壁造成損害。本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例三在上述實(shí)施例一或二的基礎(chǔ)上，清潔桿組 首端和/或尾端的清潔桿與所述牽引裝置之間還設(shè)置有活塞頭，具體地，可將活塞頭設(shè)置 在清潔桿組首端和/或尾端的清潔桿上。為了便于操作人員使用，帶活塞頭的真空管道清潔裝置可以包括一個(gè)毛刷頭，參 見圖3所示的實(shí)施例。圖3為本實(shí)用新型真空管道清潔裝置實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，本實(shí) 施例包括至少二個(gè)清潔桿(圖3示出了包括二個(gè)清潔桿31和32的情況)、一個(gè)毛刷頭33 以及牽引裝置34。其中，二個(gè)清潔桿31和32之間以配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接并構(gòu)成清潔桿組30 ；毛刷頭 33設(shè)置在清潔桿31上；牽引裝置34設(shè)置在清潔桿組30的兩端。進(jìn)一步的，清潔桿31的一端為凹面結(jié)構(gòu)，清潔桿32的一端為凸面結(jié)構(gòu)，清潔桿31 和32之間的凹面結(jié)構(gòu)和凸面結(jié)構(gòu)構(gòu)成配合結(jié)構(gòu)；清潔桿31和32之間通過鋼絲繩35連接。 通過這種配合結(jié)構(gòu)的活動(dòng)連接，可以使真空管道清潔裝置在各方向旋轉(zhuǎn)活動(dòng)。本實(shí)施例中，毛刷頭33設(shè)置在清潔桿31上。牽引裝置34包括兩條牽引繩，這兩條牽引繩分別連接在清潔桿組30的兩端。本實(shí)施例還包括活塞頭36，活塞頭36固接在清潔桿32上。上述實(shí)施例三提供的真空管道清潔裝置可用于干法清潔真空管道。具體地，可以 在使用實(shí)施例一或二提供的真空管道清潔裝置清潔真空管道后，繼續(xù)使用實(shí)施例三提供的 真空管道清潔裝置進(jìn)行更為精細(xì)的清潔。將實(shí)施例三提供的真空管道清潔裝置通入真空管 道內(nèi)部，直至真空管道下部露出一端的牽引繩；使用外力分別牽引兩條牽引繩，拉動(dòng)毛刷頭 和活塞頭與真空管道內(nèi)壁摩擦，由于活塞頭與真空管道內(nèi)壁的接觸更近，其清潔效果比毛 刷更好；經(jīng)過數(shù)次摩擦，真空管道內(nèi)的粉末小顆粒也被基本去除，真空管道清理完畢。采用實(shí)施例三提供的真空管道清潔裝置，不需要對(duì)真空管道進(jìn)行后續(xù)干燥的過 程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，使 得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉(zhuǎn)活動(dòng)，適用于清潔彎曲連接處較多的真空管道；相比 于現(xiàn)有技術(shù)，真空管道清潔裝置的毛刷頭和活塞頭對(duì)真空管道內(nèi)壁壓力很小，不會(huì)對(duì)真空管道內(nèi)壁造成損害。本實(shí)用新型還提供了一種真空管道清潔系統(tǒng)，該真空管道清潔系統(tǒng)可以包括實(shí)施 例一或二或三提供的真空管道清潔裝置、尾部接收設(shè)備和真空吸收設(shè)備，所述牽引裝置的 一端與所述尾部接收設(shè)備連接，所述真空吸收設(shè)備與所述尾部接收設(shè)備連接，所述尾部接 收設(shè)備用于接收真空管道清潔裝置清理出的粉末，所述真空吸收設(shè)備用于吸收尾部接收設(shè) 備中的粉末。具體地，尾部接收設(shè)備與待清洗的真空管道連接，當(dāng)將真空管道清潔裝置通入真 空管道內(nèi)部時(shí)，牽引裝置的一段置于真空管道之外，該牽引裝置可通過尾部接收設(shè)備引出。 進(jìn)一步的，尾部接收設(shè)備的側(cè)面有開口，開口處安裝有一滑輪，牽引裝置可通過該滑輪從尾 部接收設(shè)備中引出。真空吸收設(shè)備與尾部接收設(shè)備連接，用于吸收真空管道清潔裝置清理出的粉末。采用本實(shí)用新型提供的真空管道清潔系統(tǒng)清潔真空管道，不需要對(duì)真空管道進(jìn)行 后續(xù)干燥的過程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以配合結(jié) 構(gòu)活動(dòng)連接，使得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉(zhuǎn)活動(dòng)，適用于清潔彎曲連接處較多的 真空管道；相比于現(xiàn)有技術(shù)，真空管道清潔裝置的毛刷頭對(duì)真空管道內(nèi)壁壓力很小，不會(huì)對(duì) 真空管道內(nèi)壁造成損害。最后所應(yīng)說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡 管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以 對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和 范圍。
權(quán)利要求一種真空管道清潔裝置，其特征在于，包括至少二個(gè)清潔桿、至少一個(gè)毛刷頭以及牽引裝置；所述清潔桿之間以配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接并構(gòu)成清潔桿組；所述毛刷頭設(shè)置在至少一個(gè)清潔桿上；所述牽引裝置設(shè)置在所述清潔桿組的兩端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述清潔桿的一端為凹面 結(jié)構(gòu)，所述清潔桿的另一端為凸面結(jié)構(gòu)，所述清潔桿之間的凹面結(jié)構(gòu)與凸面結(jié)構(gòu)構(gòu)成配合 結(jié)構(gòu)；所述清潔桿之間通過鋼絲繩連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述毛刷頭設(shè)置在所述清 潔桿上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述毛刷頭包括刷毛、刷毛 底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述毛刷頭為一個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，清潔桿組首端和/或 尾端的清潔桿與所述牽引裝置之間設(shè)置有活塞頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，間隔一個(gè)或多個(gè)清潔桿設(shè) 置所述毛刷頭。
8.一種包括權(quán)利要求1-7任一所述的真空管道清潔裝置的真空管道清潔系統(tǒng)，其特征 在于，還包括尾部接收設(shè)備和真空吸收設(shè)備；所述牽引裝置的一端與所述尾部接收設(shè)備連接，所述真空吸收設(shè)備與所述尾部接收設(shè) 備連接，所述尾部接收設(shè)備用于接收真空管道清潔裝置清理出的粉末，所述真空吸收設(shè)備 用于吸收尾部接收設(shè)備中的粉末。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空管道清潔裝置及系統(tǒng)，其中真空管道清潔裝置包括至少二個(gè)清潔桿、至少一個(gè)毛刷頭以及牽引裝置；所述清潔桿之間以配合結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接并構(gòu)成清潔桿組；所述毛刷頭設(shè)置在至少一個(gè)清潔桿上；所述牽引裝置設(shè)置在所述清潔桿組的兩端。本實(shí)用新型適用于清潔彎曲連接處較多的真空管道。
文檔編號(hào)B08B9/043GK201676859SQ20102021079
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
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