用于太陽能硅片清洗機的供水系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種用于太陽能硅片清洗機的供水系統，包括：第一進水管，第一進水管與太陽能硅片清洗機的進水口連通；外部動力設備，外部動力設備包括熱能輸送管路；第一中間換熱器，第一進水管和熱能輸送管路的第一段通過第一中間換熱器熱交換。由于將外部動力設備產生的熱能對第一進水管內的第一反應水進行熱處理，因而節省了加熱用電，減小了能耗和能源浪費，并且使外部動力設備的熱能得以回收利用、提高了能源利用率、進一步減少了能源浪費，從而降低了生產成本、提高了企業的經濟效益。同時，本實用新型中的供水系統具有使用可靠性高的特點。
【專利說明】本干處理。
；片需要進行噴淋沖洗操作，在此工序中需:口:自來水或中水),反應水應為溫水。如果題，造成嚴重損失。經過噴淋沖洗后的硅片后由人工分裝至載片盒后送入太陽能硅片
預漂洗槽一藥液清洗槽一精漂洗槽一烘干望聲波震動洗掉硅片表面殘存的顆粒污物，三右的溢流去離子水；藥液清洗槽是通過清導質污物和金屬離子，該環節使用水溫為50溫為50攝氏度以上的溢流去離子水，以進和金屬離子。
圭片脫膠機的供水加熱采用電加熱的方式，實際水溫與預設工藝水溫比較、調節第一流量閥的開度。
[0010]進一步地，熱能輸送管路包括:主管路；第一支管路，第一支管路的兩端均與主管路的第一段連通，第一進水管通過第一中間換熱器與第一支管路熱交換，第一流量閥設置在主管路和第一支管路連接的進口處。
[0011]進一步地，熱能輸送管路還包括第二支管路，第二支管路的兩端均與主管路的第二段連通，供水系統包括:第二進水管，第二進水管與太陽能硅片脫膠機的進水口連通；第二中間換熱器，第二進水管通過第二中間換熱器與第二支管路熱交換；第二流量閥，第二流量閥設置在主管路的第二段上，且第二流量閥位于第二支管路的兩端之間。
[0012]進一步地，供水系統還包括:第三進水管，第三進水管與冷卻塔的反應進口連通；第三中間換熱器，第三進水管通過第三中間換熱器與熱能輸送管路的第三段熱交換。
[0013]進一步地，供水系統還包括第三流量閥，熱能輸送管路包括第三支管路，第三支管路的兩端均與主管路的第三段連通，第三進水管通過第三中間換熱器與第三支管路熱交換，第三流量閥設置在主管路和第三支管路連接的進口處。
[0014]進一步地，外部動力設備包括第四進水管，第四進水管與外部動力設備的循環回流進口、熱能輸送管路的出口連通，供水系統還包括:第二溫度檢測元件，第二溫度檢測元件設置在第四進水管的靠近循環回流進口的一端，用于檢測第四進水管內的內循環冷卻水的第二實際水溫；控制器，控制器與第二溫度檢測元件、第三流量閥連接，用于將檢測到的第二實際水溫與預設安全水溫比較、調節第三流量閥的開度。
[0015]進一步地，供水系統還包括:補水管路，補水管路與熱能輸送管路連通，且補水管路位于熱能輸送管路的第三段與熱能輸送管路的出口之間；補水閥門，補水閥門設置在補水管路上。
[0016]本實用新型中的第一進水管與太陽能硅片清洗機的進水口連通，外部動力設備包括熱能輸送管路，第一進水管和熱能輸送管路的第一段通過第一中間換熱器熱交換。由于將外部動力設備產生的熱能對第一進水管內的第一反應水進行熱處理，因而節省了加熱用電，減小了能耗和能源浪費，并且使外部動力設備的熱能得以回收利用、提高了能源利用率、進一步減少了能源浪費，從而降低了生產成本、提高了企業的經濟效益。同時，本實用新型中的供水系統具有使用可靠性高的特點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0018]圖1示意性示出了本實用新型中的供水加熱方法的流程圖；以及
[0019]圖2示意性示出了本實用新型中的供水系統的結構示意圖。
[0020]圖中附圖標記:10、外部動力設備；11、第四進水管；12、熱能輸送管路；12a、主管路；12b、第一支管路；12c、第二支管路；12d、第三支管路；20、太陽能硅片清洗機；21、第一進水管；30、太陽能硅片脫膠機；31、第二進水管；40、冷卻塔；41、第三進水管；50、第一中間換熱器；51、第一流量閥；52、第一溫度檢測元件；60、第二中間換熱器；61、第二流量閥；70、第三中間換熱器；71、第三流量閥；72、第二溫度檢測元件；80、補水管路；81、補水閥門；82、利用、提高了能源利用率、進一步減少了能年效益。同時，本實用新型中的供水加熱方
5還包括控制第一反應水的加熱溫度，控制-反應水加熱后的第一實際水溫；步驟32:燦33:當第一實際水溫低于預設工藝水溫?溫；否則，減少熱能，用以降低第一反應水；一反應水的第一實際水溫與預設工藝水溫交水溫具有恒溫性好的特點，從而使熱能得靠性。優選地，第一反應水為去離子水。
3還包括對太陽能硅片脫膠機30的供水預:熱能對第一反應水加熱后的余熱輸送至太第二進水管31內的第二反應水進行預加熱進水口連通。由于外部動力設備10運行所進水管31內的第二反應水進行加熱，因而回收利用、避免浪費，進一步減少了電能損熱，用以提高第二實際水溫；否則，增加廢熱對第三進水管41進行加熱，用以降低第二實際水溫。由于第二控制方法可以根據外部動力設備10的第四進水管11處的第二實際水溫與預設安全水溫的比較結果，調節外部動力設備10與冷卻塔40的熱交換程度，因而使外部動力設備10的第四進水管11內具有恒溫內循環冷卻水，從而保證外部動力設備10正常、安全運行的同時，還具有熱能回收效率高的特點。
[0027]作為本實用新型的第二個方面，提供了一種用于太陽能硅片清洗機的供水系統。如圖2所示，供水系統包括第一進水管21、外部動力設備10和第一中間換熱器50，第一進水管21與太陽能硅片清洗機20的進水口連通，外部動力設備10包括熱能輸送管路12，第一進水管21和熱能輸送管路12的第一段通過第一中間換熱器50熱交換。由于第一進水管21和熱能輸送管路12的第一段通過第一中間換熱器50熱交換，因而使得第一進水管21的第一反應水得以加熱，節省了加熱用電、減小了能耗和能源浪費，并且使外部動力設備10運行所產生的熱能得以回收利用、提高了能源利用率、進一步減少了能源浪費，從而保證了供水系統的使用可靠性、降低了生產成本、提高了企業的經濟效益。
[0028]如圖2所示的實施例中，供水系統還包括第一流量閥51，第一流量閥51設置在熱能輸送管路12的第一段上。由于設置有第一流量閥51，因而通過調節第一流量閥51可以改變熱能輸送管路12與第一進水管21的熱交換程度,從而使第一進水管21內的第一反應水的溫度可控。
[0029]如圖2所示的實施例中，供水系統還包括第一溫度檢測元件52和控制器，第一溫度檢測元件52設置在第一進水管21的靠近太陽能硅片清洗機的進水口的一端，用于檢測第一進水管21內的第一反應水的第一實際水溫；控制器與第一溫度檢測元件52、第一流量閥51連接，用于將檢測到的第一實際水溫與預設工藝水溫比較、調節第一流量閥51的開度。由于設置有第一溫度檢測兀件52檢測第一進水管21內第一反應水的第一實際水溫，因而當該第一實際水溫與預設工藝水溫比較后，控制器可以根據該比較結果調節第一流量閥51的開度，也就是調節熱能的供應量，從而改變熱能輸送管路12與第一進水管21的熱交換程度，進而對第一反應水溫的水溫實現控制，保證了供水系統的使用可靠性。優選地，預設工藝水溫為50攝氏度。優選地，第一溫度檢測元件52為溫度傳感器。
[0030]如圖2所示的實施例中，熱能輸送管路12包括主管路12a和第一支管路12b，第一支管路12b的兩端均與主管路12a的第一段連通，第一進水管21通過第一中間換熱器50與第一支管路12b熱交換，第一流量閥51設置在主管路12a和第一支管路12b連接的進口處。由于第一流量閥51設置在主管路12a和第一支管路12b連接的進口處，因而通過調節第一流量閥51的開度，可以控制主管路12a和第一支管路12b內熱能的流動比例，從而對第一反應水的水溫、熱能的熱交換速率、熱能的回收效率等實現有效控制，進而進一步提高了供水系統的使用可靠性。
[0031]如圖2所示的實施例中，熱能輸送管路12還包括第二支管路12c，第二支管路12c的兩端均與主管路12a的第二段連通，供水系統包括第二進水管31、第二中間換熱器60和第二流量閥61，第二進水管31與太陽能硅片脫膠機30的進水口連通，第二進水管31通過第二中間換熱器60與第二支管路12c熱交換；第二流量閥61設置在主管路12a的第二段上，且第二流量閥61位于第二支管路12c的兩端之間。由于第二進水管31通過第二中間換熱器60與第二支管路12c熱交換，因而使得外部動力設備10運行所產生的熱能還能對巧有余裕的熱能可以通過冷卻塔40進行耗級使用熱能輸送管路12內熱量對第一反應的熱能，從而降低了冷卻塔40的廢熱耗散
第三流量閥71，熱能輸送管路12包括第三128的第三段連通，第三進水管41通過第三流量閥71設置在主管路123和第三支管在主管路123和第三支管路12(1連接的進控制主管路123和第三支管路12(1內熱能I勺熱交換速率等實現有效控制，進而進一步
-10包括第四進水管11，第四進水管11與各12的出口連通，供水系統還包括:第二溫設置在第四進水管11的靠近循環回流進口:口水的第二實際水溫；控制器與第二溫度檢勺第二實際水溫與預設安全水溫比較、調節水，從而保證外部動力設備10正常運行。
[0037]優選地，第一流量閥51和第三流量閥71為三通閥。
[0038]本實用新型中的控制器還與第二流量閥61連接。優選地，控制器為PLC控制器。優選地,外部動力設備10為空氣壓縮機和/或制冷機。優選地，外部動力設備10、熱能輸送管路12、第四進水管11作為內循環冷卻水冷卻系統。
[0039]優選地，冷卻塔40和第三進水管41作為外循環冷卻水冷卻系統。
[0040]如圖2所示的實施例中，供水系統還包括氮封水箱82，氮封水箱82依次通過超純水泵86、除TOC裝置87、拋光混床88、紫外線殺菌器89、終端過濾器90與第一進水管21連通。氮封水箱82內通入高純氮氣83和超純水84。氮封水箱82與溢流水路85連通。第一水泵91與第三進水管41的入口連通。熱能輸送管路12通過膨脹箱92、第二水泵93與第四進水管11連通。第一壓力表94設置在終端過濾器90的后端，第二壓力表95設置在膨脹箱92的前端。
[0041]工作流程如下:
[0042]1.由外部動力設備10產生的熱能通過升溫冷卻水流的方式經熱能輸送管路12傳導；
[0043]2.升溫后的內循環冷卻水在第一中間換熱器50處同第一反應水(去離子水)進行高效熱交換，使處于常溫的去離子水被加熱逐漸接近預設工藝水溫(預設工藝水溫要求為50攝氏度)；
[0044]3.第一反應水的第一實際水溫由第一溫度檢測兀件52檢測,第一溫度信號回傳控制器，通過控制器運算控制第一流量閥51逐漸截止進入第一中間換熱器50內的水流(熱能)，并控制第一流量閥51的開度控制第一實際水溫盡可能保持在預設工藝水溫水平；
[0045]4.熱能輸送管路12內主管路12a內的內循環冷卻水在第二中間換熱器60處會始終全部流入第二支管路12c內(通常第三流量閥71為關閉狀態)，從而使第二反應水可以大限度地吸收熱能升溫(由于太陽能硅片脫膠機所需的供水是不連續的，因而第二中間換熱器60對內循環冷卻水所承載的熱量的吸收也是不連續的，這樣就需要有保障的外循環冷卻水冷卻系統作為輔助安全散熱來控制回水溫度)；
[0046]5.當內循環冷卻水回流至第四進水管11處時，第二溫度檢測元件72檢測內循環冷卻水的第二實際水溫，第二溫度信號回傳控制器，通過控制器運算得知第二實際水溫與預設安全水溫的差異情況，當第二實際水溫低于并逐漸逼近預設安全水溫時，控制器控制第三流量閥71逐漸打開進入第三中間換熱器70內的水流，并連續調節第三流量閥71的開度，以使第四進水管11內的內循環冷卻水水溫始終保持低于預設安全水溫。
[0047]以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種用于太陽能硅片清洗機的供水系統，其特征在于，包括: 第一進水管(21)，所述第一進水管(21)與太陽能硅片清洗機(20)的進水口連通； 外部動力設備(10)，所述外部動力設備(10)包括熱能輸送管路(12); 第一中間換熱器(50)，所述第一進水管(21)和所述熱能輸送管路(12)的第一段通過所述第一中間換熱器(50)熱交換。
2.根據權利要求1所述的供水系統，其特征在于，所述供水系統還包括第一流量閥(51 )，所述第一流量閥(51)設置在所述熱能輸送管路(12 )的所述第一段上。
3.根據權利要求2所述的供水系統，其特征在于，所述供水系統還包括: 第一溫度檢測元件(52)，所述第一溫度檢測元件(52)設置在所述第一進水管(21)的靠近所述太陽能硅片清洗機(20)的進水口的一端，用于檢測所述第一進水管(21)內的第一反應水的第一實際水溫； 控制器，所述控制器與所述第一溫度檢測元件(52)、所述第一流量閥(51)連接，用于將檢測到的所述第一實際水溫與預設工藝水溫比較、調節所述第一流量閥(51)的開度。
4.根據權利要求3所述的供水系統，其特征在于，所述熱能輸送管路(12)包括: 主管路(12a)； 第一支管路(12b)，所述第一支管路(12b)的兩端均與所述主管路(12a)的第一段連通，所述第一進水管(21)通過所述第一中間換熱器(50)與所述第一支管路(12b)熱交換，所述第一流量閥(51)設置在所述主管路(12a)和所述第一支管路(12b)連接的進口處。`
5.根據權利要求4所述的供水系統，其特征在于，所述熱能輸送管路(12)還包括第二支管路(12c)，所述第二支管路(12c)的兩端均與所述主管路(12a)的第二段連通，所述供水系統包括: 第二進水管(31)，所述第二進水管(31)與太陽能硅片脫膠機(30)的進水口連通； 第二中間換熱器(60)，所述第二進水管(31)通過所述第二中間換熱器(60)與所述第二支管路(12c)熱交換； 第二流量閥(61)，所述第二流量閥(61)設置在所述主管路(12a)的所述第二段上，且所述第二流量閥(61)位于所述第二支管路(12c)的兩端之間。
6.根據權利要求4所述的供水系統，其特征在于，所述供水系統還包括: 第三進水管(41)，所述第三進水管(41)與冷卻塔(40)的反應進口連通； 第三中間換熱器(70)，所述第三進水管(41)通過所述第三中間換熱器(70)與所述熱能輸送管路(12)的第三段熱交換。
7.根據權利要求6所述的供水系統，其特征在于，所述供水系統還包括第三流量閥(71 )，所述熱能輸送管路(12)包括第三支管路(12d)，所述第三支管路(12d)的兩端均與所述主管路(12a)的第三段連通，所述第三進水管(41)通過所述第三中間換熱器(70)與所述第三支管路(12d)熱交換，所述第三流量閥(71)設置在所述主管路(12a)和所述第三支管路(12d)連接的進口處。
8.根據權利要求7所述的供水系統，其特征在于，所述外部動力設備(10)包括第四進水管(11)，所述第四進水管(11)與所述外部動力設備(10)的循環回流進口、所述熱能輸送管路(12)的出口連通，所述供水系統還包括: 第二溫度檢測元件(72)，所述第二溫度檢測元件(72)設置在所述第四進水管(11)的靠近所述循環回流進口的一端，用于檢測所述第四進水管(11)內的內循環冷卻水的第二實際水溫； 控制器，所述控制器與所述第二溫度檢測元件(72)、所述第三流量閥(71)連接，用于將檢測到的所述第二實際水溫與預設安全水溫比較、調節所述第三流量閥(71)的開度。
9.根據權利要求7所述的供水系統，其特征在于，所述供水系統還包括: 補水管路(80)，所述補水管路(80)與所述熱能輸送管路(12)連通，且所述補水管路(80)位于所述熱能輸送管路(12)的第三段與所述熱能輸送管路(12)的出口之間； 補水閥門(81)，所述補水閥門`(81)設置在所述補水管路(80 )上。
【文檔編號】B08B13/00GK203621062SQ201320854369
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月23日 優先權日:2013年12月23日
【發明者】田歡, 崔嘉軒 申請人:英利集團有限公司