專利名稱：高純石英管真空封結裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及石英制品加工領域，具體是一種晶體生長用高純石英管真空封結裝置。
技術背景半導體(如碲鋅鎘、碲鎘汞)單晶體的制備的主要方法之一是高溫熔體生長。由于生長 溫度高、熱導率低、蒸汽壓高等生長條件，所用坩堝需要密閉，而且要耐高溫、耐高壓。高 純石英玻璃管是這種坩堝的理想材料。但是高純石英玻璃管的軟化點為140(T1500。C或更高。 高質量的坩堝燒結十分困難。現有的石英管封結工藝，多是單噴槍燒結，缺乏專用裝置，依 靠操作者的經驗進行封結，效率低下，封接的可靠性也較低。熟練技工的培養耗時長、費用 高。大直徑、厚壁石英玻璃管的封接更是困難重重。 發明內容本發明的目的是提供一種能克服上述缺陷、操作簡便易于掌握、可靠性與封接效率高、 還可適應于不同長度不同直徑的石英管的高純石英管真空封結裝置。其技術方案為包括噴槍，其特征在于噴槍有三條，增設上端敞口的箱體狀支架、噴槍固定板、多根 導軌、管托和托架；其中多根導軌水平貫穿固定在箱體狀支架相向的兩側壁上；托架的底部 套裝在位于下方的導軌上，其頂部通過螺紋套筒與管托固定連接；噴槍固定板套裝在多根導 軌上可沿導軌滑動，其對應于導軌的位置設有定位螺釘；三條噴槍呈輻射狀安裝在噴槍固定 板上，其噴頭呈正三角形，正三角形的中心對應于欲封接石英管的軸心；固定有導軌的箱體 狀支架相向的兩側壁上和噴槍固定板上均設有安裝石英管的通孔，通孔內鑲嵌電木圈。所述的高純石英管真空封結裝置，在噴槍固定板的通孔處、且在噴槍固定板遠離噴槍的 一側設有固定石英管的固定管卡，用于控制石英管的轉動。所述的高純石英管真空封結裝置，托架的上端為螺桿，通過螺紋套筒與下方帶有螺桿的 管托連接，轉動套筒即可調節管托的高度。所述的高純石英管真空封結裝置，噴槍設有帶孔的且緊貼噴槍固定板的固定翼，噴槍周 定板對應于固定翼設有使三噴槍構成的正三角同比例縮放的一組固定孔，每組固定孔中相鄰厘米或者數厘米，以適應于不同直徑的石英管封結。 本發明與現有技術相比，具有以下優點1、 采用三個等角度輻射狀安置的噴槍加熱，管壁升溫快而均勻，提高了封結速度和可靠 性。大直徑厚壁玻璃管也能進行有效的封結。2、 在安裝石英管的通孔內鑲嵌不同內徑的電木圈，調節托架軸向位置與管托的高度，調 節噴槍位置，可以實現對不同直徑、不同長度的石英管的封結。3、 采用箱體狀支架，并配以導軌和噴槍固定板固定噴槍等，噴槍無需人工手持，操作簡 便，易于掌握，降低了勞動強度。


圖1是本發明實施例的結構示意圖； 圖2是圖1所示實施例的A-A剖視圖。圖中1、箱體狀支架2、導軌 3、電木圈 4、管托 5、噴槍6、定位螺釘 7、 固定孔8、固定翼9、真空抽氣接口 10、噴槍供氣管 11、橡膠塞 12、固定管卡 13、噴槍固定板 14、通孔 15、螺紋套筒16、托架具體實施方式
在圖1 2所示的實施例中箱體狀支架l上端敞口，四根導軌2通過螺栓水平貫穿固定 在箱體狀支架l相向的兩側壁上，且四根導軌2的橫截面構成正方形；噴槍固定板13套裝在 四根導軌2上并可以沿著導軌滑動，其對應于位于導軌2的位置設有定位螺釘6;三條噴槍5 呈輻射狀安裝在噴槍固定板13上，其噴頭呈正三角形，正三角形的中心對應于欲封接石英管 的軸心；托架16的底部套裝在位于下方的兩導軌2上可沿導軌2滑動，托架16的上端為螺 桿，通過螺紋套筒15與下方帶有螺桿的管托4連接，轉動螺紋套筒15即可調節管托4的高 度；固定有導軌2的箱體狀支架1相向的兩側壁上和噴槍固定板13上均設有安裝石英管的通 孔14，通孔14內鑲嵌電木圈3。在噴槍固定板13的通孔14處、且在噴槍固定板13遠離噴 槍5的一側設有固定石英管的固定管卡12。噴槍5設有帶孔的且緊貼噴槍固定板13的固定 翼8，噴槍固定板13對應于固定翼8設有使三噴槍5構成的正三角同比例縮放的一組固定孔 7，每組固定孔7中相鄰固定孔7的間距為1厘米，這樣可以調節三噴槍5構成的正三角的大 小，以適應不同直徑的石英管。權利要求
1、一種高純石英管真空封結裝置，包括噴槍(5)，其特征在于噴槍(5)有三條，增設上端敞口的箱體狀支架(1)、噴槍固定板(13)、多根導軌(2)、管托(4)和托架(16)，其中多根導軌(2)通過螺栓水平貫穿固定在箱體狀支架(1)相向的兩側壁上；噴槍固定板(13)套裝在多根導軌(2)上可沿導軌(2)滑動，其對應于導軌(2)的位置設有定位螺釘(6)；三條噴槍(5)呈輻射狀安裝在噴槍固定板(13)上，其噴頭呈正三角形，噴頭指向正三角形的中心，亦即欲封接石英管的軸心；托架(16)的底部套裝在位于下方的導軌(2)上，其頂部螺桿通過螺紋套筒(15)與管托(4)連接；固定有導軌(2)的箱體狀支架(1)相向的兩側壁上和噴槍固定板(13)上均設有安裝石英管的通孔(14)，通孔(14)內鑲嵌電木圈(3)。
2、 如權利要求l所述的高純石英管真空封結裝置，其特征在于托架(16)的上端為螺 桿，通過螺紋套筒(15)與下方帶有螺桿的管托(4)連接。
3、 如權利要求1所述的高純石英管真空封結裝置，其特征在于噴槍(5)設有帶孔的 且緊貼噴槍固定板(13)的固定翼(8),噴槍固定板(13)對應于固定翼(8)設有使三噴槍(5)構成的正三角同比例縮放的一組固定孔(7)。
4、 如權利要求1所述的高純石英管真空封結裝置，其特征在于在噴槍固定板(13)的 通孔處、且在噴槍固定板(13)遠離噴槍(5)的一側設有固定石英管的固定管卡(12)。
全文摘要
本發明提供一種高純石英管真空封結裝置，包括噴槍，其特征在于噴槍有三條，增設上端敞口的箱體狀支架、噴槍固定板、多根導軌、管托和托架；其中多根導軌水平貫穿固定在箱體狀支架相向的兩側壁上；托架的底部套裝在位于下方的導軌上，其頂部通過螺紋套筒與管托固定連接；噴槍固定板套裝在多根導軌上可沿導軌滑動，其對應于導軌的位置設有定位螺釘；三條噴槍呈輻射狀安裝在噴槍固定板上，其噴頭呈正三角形，正三角形的中心對應于欲封接石英管的軸心；固定有導軌的箱體狀支架相向的兩側壁上和噴槍固定板上均設有安裝石英管的通孔，通孔內鑲嵌電木圈。本發明操作簡便，加熱均勻，封結速度快，可適應于不同長度、不同直徑的石英管的真空封結。
文檔編號C03B20/00GK101250022SQ200810015428
公開日2008年8月27日 申請日期2008年3月20日 優先權日2008年3月20日
發明者劉俊成, 濤 沈, 王友林, 翟慎秋 申請人:山東理工大學