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一種晶體硅的線切割的方法與流程

文檔序號:12372067閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種晶體硅的線切割方法,所述方法通過線切割機進行,并包括以下步驟:

(1)在線砂漿的配制

配制在線砂漿,所述在線砂漿為包含聚乙二醇和碳化硅顆粒的混合砂漿,密度為1.660-1.675kg/L,粘度為220-260mPa·s;

(2)導輪加工

開槽夾角為70-80°,槽深為190±10μm,槽距補償為7-17μm以及V或U型槽的開槽工藝加工所述線切割機的導輪;

(3)晶體硅切割

設定結構線的速度為9.5-15m/s,張力為R/L:25-20N/18-24N,待切割晶體硅的進給速度為0.255-0.500mm/min,所述在線砂漿的流量為110-150kg/min,溫度為17-23℃且砂漿更換系數為0.3-0.4kg在線砂漿/mm進行切割,其中,在切割前依硅塊有效切割長度和砂漿更換系數添加砂漿,即砂漿添加量=有效切割長度*砂漿更換系數,其中所述砂漿更換系數為0.3-0.4kg在線砂漿/mm。

2.根據權利要求1所述的方法,其中,步驟(1)中,作為硅片切割液的聚乙二醇的粘度為45-50mPa·s,碳化硅顆粒的粒度為1500#,所述在線砂漿的砂液質量比為1.02。

3.根據權利要求1所述的方法,其中,所述在線砂漿采用80重量%的再生砂漿和20重量%的新砂漿來制備,其中,所述再生砂漿為通過回收系統回收分離的廢舊砂漿,密度為1.660-1.675kg/L,粘度為220-240mpa·s,所述新砂漿為新配制的砂漿,密度為1.660-1.675kg/L,粘度為220-240mpa·s。

4.根據權利要求3所述的方法,其中,配制所述再生砂漿和所述新砂漿所用的切割液包含0-100重量%的回收聚乙二醇。

5.根據權利要求1所述的方法,其中,步驟(3)中,所述結構線的母線的直徑為0.110mm或0.115mm。

6.根據權利要求1所述的方法,其中,步驟(3)中,所述結構線具有垂直正弦波型且為鍍有抗氧化層的結構線。

7.根據權利要求1所述的方法,其中,步驟(3)晶體硅切割的具體過程為:將晶體硅塊粘在光伏玻璃上,然后固定在切割機進給臺上,將結構線依序纏繞至所述線切割機的導輪上,啟動線切割機進行切割直到結束,切割結束后將硅棒升起,提升速度為50-100mm/min,待硅棒完全脫離線網后用專用下棒車將硅棒取下,放在下棒推車上,轉至清洗車間進行清洗處理。

8.根據權利要求7所述的方法,其中,在提升切好的硅棒的過程中遇到線網夾線時,以0.01-0.03m/s的線速走線或剪開線網完成提棒。

9.根據權利要求7所述的方法,其中,所述線切割機開機進行熱機5-10分鐘后,進行切割。

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