專利名稱：預對準裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種預對準裝置，特別是指一種具有夾持結構的預對準裝置。
背景技術：
隨著科技的發展，工業生產規模越來越大，因此人力成本會增加，且效率要求也越來越高，漸漸的在工廠中大量引入自動化或半自動化工具，如使用機器人等工具組裝產品。在晶圓的組裝過程中，難免要對對晶圓夾持，而現有的邊緣夾持式預對準機大多為卡爪式，常見的有二爪式、三爪式及四爪式。用來檢測物體缺口的傳感器多為透射式傳感器(例如LED透光式傳感器)。當卡爪夾持物體時，任何一個爪的爪臂都有可能遮擋住物體缺口。這樣，當物體缺口旋轉至傳感器發射的光線位置時，會因為卡爪爪臂的遮擋而無法被識別。現有專利大多提到了避免卡爪末端接觸單元遮擋物體缺口的方法，采取的解決辦法大多是先使物體旋轉一周，看傳感器信號有無變化或信號變化是否符合要求來判斷物體缺口是否被卡爪爪臂遮擋，若被遮擋，則放下物體，待卡爪旋轉一定角度后再重新夾持物體繼續檢測。另外，當物體被從卡爪放到撐托上時，若卡爪與撐托處于同一位置，則兩者會發生干涉，必需先使卡爪旋轉一定角度避開干涉再將物體放置在撐托上，之后卡爪再旋轉一定角度(在此位置上或在此基礎上旋轉至一預定位置后卡爪不會與撐托發生干涉)并再次夾持物體并上升使物體高出撐托所在平面，旋轉物體使其缺口朝向一預定位置，然后卡爪再次將物體放置在撐托上，并由機械手取走。同時，若卡爪的爪臂處于機械手前進方向，則兩者也會發生干涉。這樣會使控制程序十分復雜，并降低了預對準的效率。

發明內容
鑒于以上內容，有必要提供一種結構簡單并能防止物體的缺口被遮擋的預對準裝置。一種預對準裝置，所述預對準裝置包括一用以夾持物體的夾持結構所述夾持結構包括夾持件及轉動件，所述夾持件及轉動件之間連接一第一驅動器，所述物體夾持在所述夾持件及轉動件之間；所述轉動件連接一第二驅動器，所述第二驅動器驅使所述轉動件繞一第一中心軸轉動，所述轉動件驅使所述物體繞一第二中心軸轉動，所述第一中心軸平行所述第二中心軸；所述第一驅動器驅使所述夾持件及轉動件沿相互靠近或遠離的方向移動，所述夾持件及所述轉動件沿相互靠近或遠離時驅使所述物體沿平行所述第二中心軸方向移動。在一實施方式中，所述夾持件包括一支撐臺及一滑動部，且設有一卡槽，所述滑動部自所述支撐臺延伸并連接所述卡槽。在一實施方式中，所述滑動部具有一錐形的外表面，且直徑自所述支撐臺到所述卡槽逐漸增大。在一實施方式中，所述物體在所述夾持件及轉動件沿相互靠近的方向移動的過程中，自所述支撐臺沿所述滑動部移動，并卡在所述卡槽中；所述物體在所述夾持件及轉動件沿相互遠離的方向移動的過程中，脫離所述卡槽并沿所述滑動部移動至所述支撐臺。在一實施方式中，所述夾持件及轉動件之間留有供一機械手伸入的空隙。在一實施方式中，所述卡槽繞所述夾持件一周，且所述物體在轉動的過程中夾持在所述卡槽中。在一實施方式中，所述轉動件的轉動方向與所述物體的轉動方向相反。在一實施方式中，所述第一中心軸及所述第二中心軸垂直所述支撐臺。在一實施方式中，所述轉動件及夾持件對稱分布在所述物體的兩側。在一實施方式中，所述物體為晶圓，且設有缺口，所述預對準裝置還包括有裝設在所述物體下方的傳感器，所述傳感器能夠在所述物體轉動的過程中識別出所述缺口的位置。與現有技術相比，上述預對準裝置中的夾持結構及具有該夾持結構的兩組夾持件及轉動件在相互靠近或遠離的方向移動的過程中就能驅使物體上下移動，不需要重新夾持物體。同時，減少了用以驅使夾持結構升降的驅動結構。另外，所述兩組夾持件及轉動件在轉動的同時通過摩擦帶動物體轉動，但不隨物體同軸轉動，避免了夾持件及轉動件對傳感器發射的光線產生遮擋；且由于所述轉動件及夾持件對稱分布在所述物體的兩側，機械手從所述轉動件及夾持件空隙處取送物體，可避免機械手與所述夾持結構發生干涉。


圖1是本發明預對準裝置與一 機械手的俯視圖。圖2是本發明夾持結構的一沿中心軸方向的剖視圖。主要元件符號說明
權利要求
1.一種預對準裝置，所述預對準裝置包括一用以夾持物體的夾持結構，其特征在于:所述夾持結構包括夾持件及轉動件，所述夾持件及轉動件之間連接一第一驅動器，所述物體夾持在所述夾持件及轉動件之間；所述轉動件連接一第二驅動器，所述第二驅動器驅使所述轉動件繞一第一中心軸轉動，所述轉動件驅使所述物體繞一第二中心軸轉動，所述第一中心軸平行所述第二中心軸；所述第一驅動器驅使所述夾持件及轉動件沿相互靠近或遠離的方向移動，所述夾持件及所述轉動件沿相互靠近或遠離時驅使所述物體沿平行所述第二中心軸方向移動。
2.如權利要求1所述的預對準裝置，其特征在于:所述夾持件包括一支撐臺及一滑動部，且設有一卡槽，所述滑動部自所述支撐臺延伸并連接所述卡槽。
3.如權利要求2所述的預對準裝置，其特征在于:所述滑動部具有一錐形的外表面，且直徑自所述支撐臺到所述卡槽逐漸增大。
4.如權利要求2所述的預對準裝置，其特征在于:所述物體在所述夾持件及轉動件沿相互靠近的方向移動的過程中，自所述支撐臺沿所述滑動部移動，并卡在所述卡槽中；所述物體在所述夾持件及轉動件沿相互遠離的方向移動的過程中，脫離所述卡槽并沿所述滑動部移動至所述支撐臺。
5.如權利要求2所述的預對準裝置，其特征在于:所述夾持件及轉動件之間留有供一機械手伸入的空隙。
6.如權利要求2所述的預對準裝置，其特征在于:所述卡槽繞所述夾持件一周，且所述物體在轉動的過程中夾持在所述卡槽中。
7.如權利要求1所述的預對準裝置，其特征在于:所述轉動件的轉動方向與所述物體的轉動方向相反。
8.如權利要求1所述的預對準裝置，其特征在于:所述第一中心軸及所述第二中心軸垂直所述支撐臺。
9.如權利要求1所述的預對準裝置，其特征在于:所述轉動件及夾持件對稱分布在所述物體的兩側。
10.如權利要求1所述的預對準裝置，其特征在于:所述物體為晶圓，且設有缺口；所述預對準裝置還包括一傳感器，所述傳感器裝設在所述物體下方，所述傳感器能夠在所述物體轉動的過程中識別出所述缺口的位置。
全文摘要
一種預對準裝置，包括一用以夾持物體的夾持結構，所述夾持結構包括夾持件及轉動件，所述夾持件及轉動件之間連接一第一驅動器，所述物體夾持在所述夾持件及轉動件之間，所述轉動件連接一第二驅動器，所述第二驅動器驅使所述轉動件繞一第一中心軸轉動，所述轉動件驅使所述物體繞一第二中心軸轉動，所述第一中心軸平行所述第二中心軸，所述第一驅動器驅使所述夾持件及轉動件沿相互靠近或遠離的方向移動，所述夾持件及所述轉動件沿相互靠近或遠離時驅使所述物體沿平行所述第二中心軸方向移動。
文檔編號B25B11/00GK103192327SQ20121000208
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月5日 優先權日2012年1月5日
發明者周道, 何以剛, 曲道奎, 徐方, 李學威, 張鵬, 溫燕修, 管莉娜 申請人:沈陽新松機器人自動化股份有限公司