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用于高重復(fù)精度的圓工作臺的制作方法

文檔序號:11746032閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種圓工作臺(1),其包括盤體(10)、殼體(20)和至少一電力驅(qū)動器(40),所述驅(qū)動器用于驅(qū)動所述盤體(10)在至少一支承件(50)上繞所述盤體(10)的旋轉(zhuǎn)軸(D)做旋轉(zhuǎn)運動,其中設(shè)有用于為所述盤體(10)加載最高達(dá)400噸的傳送負(fù)荷的手段,且其中設(shè)有用于使所述盤體(10)的定位精度達(dá)到±2角秒的精度測量系統(tǒng)。

2.如權(quán)利要求1所述的圓工作臺,其特征在于,設(shè)有能使所述盤體(10)具有±0.25角秒的重復(fù)精度的手段。

3.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,設(shè)有能使所述盤體(10)在所述支承件(50)的軸承直徑上的軸向偏擺精度在所述盤體(10)完整旋轉(zhuǎn)一周360°時達(dá)到0.015mm的手段。

4.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,設(shè)有能使所述盤體(10)的定心孔上的同軸度在所述盤體(10)完整旋轉(zhuǎn)一周360°時達(dá)到0.01mm的手段。

5.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,所述圓工作臺(1)具有用于固定所述盤體(10)的位置的液壓盤體夾緊器。

6.如權(quán)利要求5所述的圓工作臺,其特征在于,所述用于固定位置的液壓盤體夾緊器由環(huán)形活塞形成,所述環(huán)形活塞在被以液體施加壓力時,將布置于所述盤體(10)上且以所述盤體的旋轉(zhuǎn)軸(D)為中心環(huán)繞設(shè)計的環(huán)形或圓形第一盤片壓向布置于所述殼體上且以所述盤體(10)的旋轉(zhuǎn)軸(D)為中心環(huán)繞設(shè)計的環(huán)形第二盤片。

7.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,所述盤體(10)為圓形或有角的基本形狀。

8.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,所述盤體(10)在徑向上繞其旋轉(zhuǎn)軸(D)靜止不動。

9.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,所述盤體(10)可在其他驅(qū)動器驅(qū)動下沿與所述旋轉(zhuǎn)軸(D)正交的軸運動。

10.如權(quán)利要求1或2所述的圓工作臺,其特征在于,所述支承件(50)實施為預(yù)緊軸向-徑向軸承。

11.如權(quán)利要求10所述的圓工作臺,其特征在于,所述支承件(50)在軸向和徑向上分別實施為滾動軸承。

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