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一種基于柔性鉸鏈的五自由度精密對準機構的制作方法

文檔序號:12376753閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明公開了一種基于柔性鉸鏈的五自由度精密對準機構,其包括有支撐組件(1)、檢測組件(2)、兩二自由度XY平臺(3)、Z軸直線導向平臺(4)、X軸轉動平臺(5)、Z軸轉動平臺(6)和安裝面板(7)。兩二自由度XY平臺(3)上設計兩組Scott?Russell機構和杠桿機構組合的放大機構,用來增大XY平臺兩個方向上的輸出位移。Z軸直線導向平臺(4)上設計兩組平行四邊形機構以增大直線平臺的輸出導向性能,減少寄生誤差,提高運動精度。X軸轉動平臺(5)考慮到繞X方向的偏轉運動的轉動中心需要落在被測件的中心,因此,該運動的轉動中心為具備遠程轉動特性。對Z軸轉動平臺(6)采用蝴蝶鉸的構型,能夠獲得更大的輸出角度和更穩定的轉動輸出,減少了運動誤差。

技術研發人員:劉敬猛;楊尚;陳偉海;張建斌;喻飛
受保護的技術使用者:北京航空航天大學
文檔號碼:201611135711
技術研發日:2016.12.12
技術公布日:2017.05.31

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