一種可變衰減器裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種可變衰減器裝置，所述可變衰減器裝置至少包括：第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“＜”或“＞”形狀，所述第一平板玻璃與水平面的夾角等于所述第二平板玻璃與水平面的夾角。本實用新型可變衰減器裝置，由在入射光的光路上設置的第一平板玻璃和第二平板玻璃構成，可以降低入射光強度，同時透射光的強度不會發生側向偏離，滿足曝光工藝的工藝要求。
【專利說明】—種可變衰減器裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于半導體設備領域，涉及一種曝光裝置，特別是涉及一種降低曝光系統中入射光強度的可變衰減器裝置。
【背景技術】
[0002]現代微電子技術的核心是集成電路生產，而集成電路生產的發展又必須以半導體設備為其主要支撐條件，在當前集成電路生產設備中，光刻設備占最核心的地位。通過光刻裝置，具有不同掩模圖案的多層掩模早精確對準下依次成像在涂敷有光刻膠的硅片上，例如半導體硅片。光刻裝置大體上分為兩類，一類是步進光刻裝置，掩模圖案一次曝光成像在娃片的一個曝光區域，隨后娃片相對于掩模移動，將下一個曝光區域移動到掩模圖案和投影物鏡下方，再一次將掩模圖案曝光在硅片的另一曝光區域，重復這一過程直到硅片上所有曝光區域都擁有掩模圖案的像。另一類是步進掃描光刻裝置，在上述過程中，掩模圖案不是一次曝光成像，而是通過投影光場的掃描移動成像。在掩模圖案成像過程中，掩模與硅片同時相對于投影系統和投影光束移動。
[0003]在曝光工藝中，通常，掃描速度由機械控制，通過控制掃描速度來調節曝光劑量，掃描速度越低。曝光劑量越高；反之，掃描速度越高，曝光劑量越地。但是當所需的曝光劑量低到最高的掃描速度都無法滿足時，則需要尋找其他降低曝光劑量的方法，比如，降低入射光的強度。
[0004]現有技術中采用一種降低曝光系統中入射光強度的裝置來調節曝光劑量，如圖1所示，該裝置包括一塊傾斜的平板玻璃1lA ;光源發出的光束以一定的角度入射到所述平板玻璃1lA上，光束透過平板玻璃1lA之后相對于入射光發生了一定的衰減。但是，由于平板玻璃有一定的厚度，透射后的光束相對于入射光束有側向偏移。這種側向偏移會產生非對稱的環形光環，無法保證曝光的質量。
[0005]因此，提供一種降低曝光系統中入射光強度的裝置實屬必要。
實用新型內容
[0006]鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種可變衰減器裝置，用于解決現有技術中入射光透過平板玻璃之后發生側向偏移的問題。
[0007]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種可變衰減器裝置，該裝置設置于入射光的光路上，所述可變衰減器裝置至少包括:第一平板玻璃和第二平板玻璃；且所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“ < ”或“ > ”形狀，所述第一平板玻璃與水平面的夾角等于所述第二平板玻璃與水平面的夾角。
[0008]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的正、反表面上均涂有提高其反射率的薄膜材料。
[0009]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，所述第一平板玻璃與水平面的夾角范圍為40?50° ;所述第二平板玻璃與水平面的夾角范圍為40?50°。[0010]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，所述第一平板玻璃與水平面的夾角范圍為45° ;所述第二平板玻璃與水平面的夾角范圍為45°。
[0011]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的厚度范圍均為I?10mm。
[0012]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，入射光經過所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的透光率范圍為0.05?0.95。
[0013]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的形狀均為方形。
[0014]作為本實用新型可變衰減器裝置的一種優化的結構，所述入射光波長為193nm。
[0015]如上所述，本實用新型的可變衰減器裝置，所述可變衰減器裝置至少包括:第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“ < ”或“ > ”形狀，所述第一平板玻璃與水平面的夾角等于所述第二平板玻璃與水平面的夾角。本實用新型可變衰減器裝置，由在入射光的光路上設置的第一平板玻璃和第二平板玻璃構成，可以降低入射光強度，同時透射光的強度不會發生側向偏離，滿足曝光工藝的工藝要求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為現有技術中可變衰減器裝置結構示意圖。
[0017]圖2為本實用新型的可變衰減器裝置結構示意圖。
[0018]元件標號說明
[0019]1lA平板玻璃
[0020]d 側向偏移量
[0021]101 第一平板玻璃
[0022]102 第二平板玻璃
[0023]h 厚度
【具體實施方式】
[0024]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。
[0025]請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0026]本實用新型提供一種可變衰減器裝置，如圖2所示，該可變衰減器裝置設置在入射光的光路上，即設置在投影光刻機中的光源和光刻設備照明系統之間，所述可變衰減器裝置至少包括:第一平板玻璃101和第二平板玻璃102 ;所述第一平板玻璃101和第二平板玻璃102形成“<”或“>”形狀，所述第一平板玻璃101與水平面的夾角等于所述第二平板玻璃102與水平面的夾角。
[0027]所述第一平板玻璃101設置于光源之后，從光源發射的光源先入射到第一平板玻璃101中。本實施例中，光源的波長采用193nm。現有技術的可變衰減器裝置僅僅設有一塊平板玻璃1lA(相當于本實用新型中的第一平板玻璃)，如圖1所示，當入射光束以一定的角度入射到平板玻璃上時，一部分光線發生反射，一部分光線發生折射，由于平板玻璃1lA具有一定的厚度，發生折射的光線與入射光有一定的側向偏移。
[0028]如圖2所示，光線入射到第一平板玻璃101的入射角為Qi，折射角為Θ。，折射率為ns，第一平板玻璃101的厚度為h，折射光線和入射光線側向偏移量為d。
[0029]由折射定律:sinΘ j = sin θ o ； (I)
[0030]再根據三角形幾何關系，有以下關系式:d = (h/cos Θ Q)*sin( Θ ^ Θ。)(2)
[0031]由(I)式和⑵式,可以計算得到
【權利要求】
1.一種可變衰減器裝置，該裝置設置于入射光的光路上，其特征在于，所述裝置至少包括:第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“ < ”或“ > ”形狀，所述第一平板玻璃與水平面的夾角等于所述第二平板玻璃與水平面的夾角。
2.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于:所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的正、反表面上均涂有提高其反射率的薄膜材料。
3.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于:所述第一平板玻璃與水平面的夾角范圍為40?50° ;所述第二平板玻璃與水平面的夾角范圍為40?50°。
4.根據權利要求3所述的可變衰減器裝置，其特征在于:所述第一平板玻璃與水平面的夾角范圍為45° ;所述第二平板玻璃與水平面的夾角范圍為45°。
5.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于:所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的厚度范圍均為I?10mm。
6.根據權利要求4?5中任一項所述的可變衰減器裝置，其特征在于:入射光經過所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的透光率范圍為0.05?0.95。
7.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于:所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的形狀均為方形。
8.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于:所述入射光波長為193nm。
【文檔編號】G03F7/20GK203825292SQ201420235738
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年5月9日 優先權日:2014年5月9日
【發明者】劉洋 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司