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納米粒子?聚合物抗蝕劑的制作方法

文檔序號:11132756閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種復(fù)合材料,其是包含以下各者的摻和物:包含核心和圍繞所述核心的涂層的納米粒子;和聚合物,其中所述納米粒子的所述涂層包含配體,其中所述配體是被取代或未被取代的C1?C16羧酸或其鹽、被取代或未被取代的C1?C16氨基酸或其鹽、被取代或未被取代的膦酸C1?C16二烷酯或其組合;并且其中所述聚合物是以下的聚合產(chǎn)物:包含可聚合基團的光酸產(chǎn)生劑;至少一種不飽和單體,其不同于所述包含可聚合基團的光酸產(chǎn)生劑;和式(I)的鏈轉(zhuǎn)移劑;其中:Z是y價的C1?20有機基團,x是0或1,并且Rd是被取代或未被取代的C1?20烷基、C3?20環(huán)烷基、C6?20芳基或C7?20芳烷基。

技術(shù)研發(fā)人員:J·W·薩克萊;M·西奧沃;P·特雷福納斯三世;I·布萊基;A·K·惠特克
受保護的技術(shù)使用者:羅門哈斯電子材料有限責任公司;昆士蘭大學
文檔號碼:201610587085
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.22
技術(shù)公布日:2017.02.15

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