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快速外延片曝光裝置的制作方法

文檔序號:11152891閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種快速外延片曝光裝置,包括影像定準器,其特征在于:影像定準器頂部設有數字電子偏振畫面捕捉結構,數字電子偏振畫面捕捉結構與影像定準器之間安裝有曝光燈,數字電子偏振畫面捕捉結構與影像定準器之間通過可調節裝置連接,影像定準器底部位于一操作平臺上,影像定準器與操作平臺之間鉸接,操作平臺靠近兩側面下表面處安裝有云臺,云臺與操作平臺之間固定連接,兩云臺之間連接有耗能板,耗能板不止一個,耗能板上設有導軌,導軌豎向設置在耗能板上,導軌頂部位于操作平臺上,導軌為兩個,兩導軌之間設有光源,光源固定在兩導軌之間,光源上設有激光器;

所述激光器為兩個圓形反射板,且兩圓形反射板豎向排列在光源上。

2.根據權利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述光源采用冷光紫外線燈。

3.根據權利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述影像定準器與數字電子偏振畫面捕捉結構之間設有密封圈。

4.根據權利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述操作平臺采用有機玻璃制成。

5.根據權利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述云臺通過玻璃膠與操作平臺連接。

6.根據權利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述導軌采用不銹鋼材料制成。

7.根據權利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述導軌內設有傳送皮帶。

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