技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種快速外延片曝光裝置，包括影像定準器，影像定準器頂部設(shè)有數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)，數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)與影像定準器之間安裝有曝光燈，數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)與影像定準器之間通過可調(diào)節(jié)裝置連接，影像定準器底部位于一操作平臺上，影像定準器與操作平臺之間鉸接，操作平臺靠近兩側(cè)面下表面處安裝有云臺，云臺與操作平臺之間固定連接，兩云臺之間連接有耗能板，耗能板不止一個，耗能板上設(shè)有導軌。本快速外延片曝光裝置提高了設(shè)備的制動化和智能化程度，使得安全系數(shù)大幅度提高，提高了曝光精度，使其線條更加均勻，同時延長了曝光設(shè)備的使用壽命，具有良好的調(diào)節(jié)性，調(diào)試簡單，方便操作。

技術(shù)研發(fā)人員：姚海林
受保護的技術(shù)使用者：東莞唯度電子科技服務(wù)有限公司
文檔號碼：201611010335
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.17
技術(shù)公布日：2017.05.10