技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基于平面雜化波導(dǎo)的石墨烯電光調(diào)制器，包括襯底、設(shè)置在襯底表面的波導(dǎo)層、以及依次設(shè)置在波導(dǎo)層上的第一石墨烯層、電容層、第二石墨烯層和金屬層；第一石墨烯層與波導(dǎo)層之間通過第一低折射率介質(zhì)層隔離，第二石墨烯層與金屬層之間通過第二低折射率介質(zhì)層隔離，波導(dǎo)層、第一石墨烯層、電容層、第二石墨烯層和金屬層在垂直于襯底方向上重疊；波導(dǎo)層材質(zhì)包括高折射率介質(zhì)或貴金屬；石墨烯電光調(diào)制器還包括平行于襯底且互相垂直的第一方向和第二方向，第一方向與光傳輸方向平行；在第二方向上，第一石墨烯層和第二石墨烯層包括向相反方向延伸的延伸端，第一石墨烯層的延伸端上設(shè)有第一電極，第二石墨烯層的延伸端上設(shè)有第二電極。

技術(shù)研發(fā)人員：張晗;陳興;張家宜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳大學(xué)
文檔號碼：201611110879
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.06
技術(shù)公布日：2017.03.22