麻豆精品无码国产在线播放,国产亚洲精品成人AA片新蒲金,国模无码大尺度一区二区三区,神马免费午夜福利剧场

曝光設(shè)備及曝光方法與流程

文檔序號:12116351閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種曝光設(shè)備,其特征在于,包括一掩膜板(110)、設(shè)于所述掩膜板(110)左側(cè)下方的第一平臺(121)、設(shè)于所述掩膜板(110)右側(cè)下方的第二平臺(122)、設(shè)于所述掩膜板(110)右側(cè)上方的第一光源(131)、及設(shè)于所述掩膜板(110)左側(cè)上方的第二光源(132);

所述第一平臺(121)、第二平臺(122)均用于承載基板(200);

所述第一光源(131)射出的光線穿過所述掩膜板(110)射到所述第一平臺(121);

所述第二光源(132)射出的光線穿過所述掩膜板(110)射到所述第二平臺(122)。

2.如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備,其特征在于,所述掩膜板(110)為水平設(shè)置;所述第一平臺(121)、第二平臺(122)均為相對水平面傾斜設(shè)置;

所述第一平臺(121)的上表面面向第一光源(131),所述第二平臺(122)的上表面面向第二光源(132)。

3.如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備,其特征在于,所述第一光源(131)與第二光源(132)射出的光線均為平行光線;

所述第一光源(131)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方傾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿過所述掩膜板(110)垂直射到所述第一平臺(121);

所述第二光源(132)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方傾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿過所述掩膜板(110)垂直射到所述第二平臺(122)。

4.如權(quán)利要求3所述的曝光設(shè)備,其特征在于,所述第一平臺(121)與第二平臺(122)為左右對稱設(shè)置;所述第一光源(131)與第二光源(132)為左右對稱設(shè)置;

所述第一光源(131)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方以入射角為θ1入射到所述掩膜板(110)的上表面,所述第二光源(132)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方以入射角為θ2入射到所述掩膜板(110)的上表面,其中,θ1等于θ2。

5.如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備,其特征在于,還包括容納所述掩膜板(110)、第一平臺(121)、第二平臺(122)、第一光源(131)、及第二光源(132)的曝光腔。

6.一種曝光方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1、提供曝光設(shè)備、及兩個基板(200),所述曝光設(shè)備包括一掩膜板(110)、設(shè)于所述掩膜板(110)左側(cè)下方的第一平臺(121)、設(shè)于所述掩膜板(110)右側(cè)下方的第二平臺(122)、設(shè)于所述掩膜板(110)右側(cè)上方的第一光源(131)、及設(shè)于所述掩膜板(110)左側(cè)上方的第二光源(132);將兩個基板(200)分別放置于第一平臺(121)、第二平臺(122)上;

步驟2、開啟第一光源(131)與第二光源(132),所述第一光源(131)射出的光線穿過所述掩膜板(110)射到放置于所述第一平臺(121)上的基板(200)上;所述第二光源(132)射出的光線穿過所述掩膜板(110)射到放置于所述第二平臺(122)上的基板(200)上。

7.如權(quán)利要求6所述的曝光方法,其特征在于,所述掩膜板(110)為水平設(shè)置;所述第一平臺(121)、第二平臺(122)均為相對水平面傾斜設(shè)置;

所述第一平臺(121)的上表面面向第一光源(131),所述第二平臺(122)的上表面面向第二光源(132)。

8.如權(quán)利要求7所述的曝光方法,其特征在于,所述步驟2中,所述第一光源(131)與第二光源(132)射出的光線均為平行光線;

所述第一光源(131)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方傾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿過所述掩膜板(110)垂直射到放置于所述第一平臺(121)上的基板(200)上;

所述第二光源(132)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方傾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿過所述掩膜板(110)垂直射到放置于所述第二平臺(122)上的基板(200)上。

9.如權(quán)利要求8所述的曝光方法,其特征在于,所述第一平臺(121)與第二平臺(122)為左右對稱設(shè)置;所述第一光源(131)與第二光源(132)為左右對稱設(shè)置;

所述步驟2中,所述第一光源(131)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方以入射角為θ1入射到所述掩膜板(110)的上表面,所述第二光源(132)射出的光線從所述掩膜板(110)的上方以入射角為θ2入射到所述掩膜板(110)的上表面,其中,θ1等于θ2。

10.如權(quán)利要求6所述的曝光方法,其特征在于,所述曝光設(shè)備還包括容納所述掩膜板(110)、第一平臺(121)、第二平臺(122)、第一光源(131)、及第二光源(132)的曝光腔。

當(dāng)前第2頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
主站蜘蛛池模板: 蓝田县| 游戏| 洛隆县| 秀山| 江口县| 兰考县| 墨江| 彭山县| 保德县| 宜宾市| 浙江省| 六枝特区| 永昌县| 横峰县| 宜章县| 浦东新区| 商南县| 渝北区| 阿城市| 富锦市| 漳浦县| 安徽省| 南木林县| 太仆寺旗| 巩留县| 郸城县| 东光县| 洛南县| 涪陵区| 保定市| 贵德县| 临武县| 教育| 全椒县| 微山县| 澳门| 拉孜县| 房山区| 黔西县| 正安县| 当阳市|