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可攜式電漿表面處理裝置的制作方法

文檔序號:12447248閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,包含:

一可攜式殼體;

一托盤,設置于該可攜式殼體中,并供放置一目標物;

一制程氣體容器,設置于該可攜式殼體上;以及

一電漿頭,設置于該可攜式殼體中并與該制程氣體容器連接,該電漿頭發(fā)射一電漿噴束至該目標物上,以對該目標物進行表面處理。

2.根據權利要求1所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,還包含一主電路板及一承載舟,該主電路板與該電漿頭及該托盤連接,該主電路板包含一控制電路,該承載舟可分離的設置于該托盤內。

3.根據權利要求1所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,該制程氣體容器設置于該可攜式殼體中或架設于該可攜式殼體外。

4.根據權利要求2所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,還包含一手持式電漿頭,該手持式電漿頭設置于該可攜式殼體外并與該主電路板及該制程氣體容器連接。

5.根據權利要求1所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,該電漿噴束為常壓電漿噴束,該制程氣體容器為氧氣、氮氣、空氣、氦氣、氬氣或上述氣體中兩種或兩種以上的混合氣體。

6.根據權利要求2所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,該承載舟包含一置放槽,該置放槽包含多個凸出部,且該多個凸出部的表面的一部分的形狀對應于該目標物的正面,該多個凸出部的表面的另一部分的形狀對應于該目標物的反面。

7.根據權利要求2所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,該 承載舟包含一置放槽,該置放槽包含具階梯結構的一倒圓錐狀凹槽,且各層階梯具有不同的直徑。

8.根據權利要求2所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,該承載舟包含一置放槽,該置放槽包含兩個可轉動的夾持部,每個該夾持部包含一凹入部,以使該目標物的兩端分別容置于該凹入部且能于該凹入部中活動。

9.根據權利要求2所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,該可攜式殼體包含一通氣管道,該通氣管道包含一第一管道、一第二管道及一第三管道,該第一管道通過一第一轉折部與該第二管道連接,該第二管道通過一第二轉折部與該第三管道連接,該主電路板設置于該第一管道,該電漿頭設置于該第三管道。

10.根據權利要求9所述的可攜式電漿表面處理裝置,其特征在于,還包含一進氣風扇及一排氣風扇,該進氣風扇設置于該可攜式殼體的后側,該排氣風扇設置于該可攜式殼體的一側且鄰近于該電漿頭。

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