本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)上用的一種紫外LED曝光模組。

背景技術(shù)：

曝光機(jī)是通過照明系統(tǒng)將掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到掩模下方的菲林上，然后通過腐蝕或者刻蝕，將菲林上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上，完成產(chǎn)品的制作。

現(xiàn)有技術(shù)中的散射光曝光機(jī)主要應(yīng)用于PCB線路板制造，目前使用的散射光曝光機(jī)的曝光模組多采用汞燈作為光源，但汞燈曝光機(jī)產(chǎn)生的光譜較復(fù)雜，包含的譜線較多，并且還有大量的紅外輻射，效率非常低。此外，汞燈的壽命非常短，一般只有2000小時(shí)，而大功率的汞燈價(jià)格都在幾萬元人民幣，導(dǎo)致生產(chǎn)成本很高，并且存在一定炸燈風(fēng)險(xiǎn)，汞燈曝光機(jī)存在能耗高、易損壞、不安全等缺陷。紫外LED具有效率高、壽命長(zhǎng)和譜線窄等優(yōu)點(diǎn)，是替換汞燈的理想光源。

然而，單顆紫外LED燈珠光功率很低，要達(dá)到與汞燈相當(dāng)?shù)墓β拭芏?，需要多顆燈珠同時(shí)進(jìn)行工作，而多個(gè)燈珠排布的面光源的發(fā)散角很大，能量損耗大，很難均勻有效的利用。目前市場(chǎng)上也有少量使用紫外LED光源的散射光曝光機(jī)，大陣列的LED排布方式，存在的缺陷是，如果中間某顆燈珠損壞，或者每顆燈珠的光源功率衰減不一，曝光的均勻度便將受到影響，曝光效果很難保證。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型旨在提供一種紫外LED曝光模組，其至少具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好、均勻度高、利用率高等優(yōu)點(diǎn)。

具體實(shí)用新型內(nèi)容如下：

一種紫外LED曝光模組，它包括照射在目標(biāo)面上的至少兩個(gè)紫外LED照射模塊，所述紫外LED照射模塊包括由紫外LED燈珠陣列組成的紫外LED光源模組和復(fù)眼透鏡模組，所述復(fù)眼透鏡模組沿紫外LED光源模組照射的方向平行設(shè)在紫外LED光源模組的前方，所述紫外LED燈珠陣列的每個(gè)單元包括設(shè)在一基板上的紫外LED燈珠、緊密貼合并罩在設(shè)有紫外LED燈珠的基板上的預(yù)準(zhǔn)直透鏡。

作為一優(yōu)選實(shí)施方案，所述照射在目標(biāo)面上的所有紫外LED照射模塊在各行各列等間距排布，所述所有紫外LED照射模塊的在行X、列Y方向上的數(shù)量分別為N_X和N_Y，所有紫外LED照射模塊的最大曝光面積總面積為S_X和S_Y，所述單個(gè)紫外LED照射模塊的照明面積為a_x，a_y，N_X、N_Y滿足：

作為一優(yōu)選實(shí)施方案，所述紫外LED燈珠的中心波長(zhǎng)為365nm-405nm。

作為一優(yōu)選實(shí)施方案，所述復(fù)眼透鏡模組至少包括一個(gè)復(fù)眼透鏡，每個(gè)復(fù)眼透鏡包括若干個(gè)微透鏡，所述若干個(gè)微透鏡以正六邊形或平方點(diǎn)陣方式排布。

作為一優(yōu)選實(shí)施方案，所述紫外LED光源模組周圍設(shè)有水冷或風(fēng)冷式散熱裝置。

有益效果：

本實(shí)用新型采用多個(gè)紫外LED燈珠陣列作為光源，采用預(yù)準(zhǔn)直透鏡對(duì)紫外LED燈珠陣列中每個(gè)LED單元發(fā)出的光線進(jìn)行初步準(zhǔn)直，再采用復(fù)眼透鏡對(duì)光束進(jìn)行勻化，實(shí)現(xiàn)小發(fā)散角和高均勻度的光線出射，解決了紫外LED光源模組發(fā)散角大的問題。由于LED具有效率高、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)，因而，解決了現(xiàn)有技術(shù)中汞燈曝光機(jī)存在的能耗高、易損壞、不安全等問題，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低的特點(diǎn)。采用模塊化設(shè)計(jì)，通過多個(gè)紫外LED照射模塊拼接照明的方式實(shí)現(xiàn)大面積曝光，即使曝光模組中損壞壞一顆或幾顆燈珠，只是單個(gè)照射模塊的總能量會(huì)減少1/N(假設(shè)單個(gè)照射模塊中LED的數(shù)量為N)，對(duì)系統(tǒng)輸出功率密度及強(qiáng)度均勻性影響也不明顯，系統(tǒng)穩(wěn)定性好。因此，本實(shí)用新型至少具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好、均勻度高、利用率高等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)立體示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型紫外LED照射模塊的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型的紫外LED燈珠陣列的單元結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型的復(fù)眼透鏡結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

1、紫外LED照射模塊；2、紫外LED燈珠陣列；3、紫外LED光源模組；4、復(fù)眼透鏡模組；5、基板；6、紫外LED燈珠；7、預(yù)準(zhǔn)直透鏡；8、目標(biāo)面。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體的實(shí)施方式來對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說明：

如圖1所示，一種紫外LED曝光模組，它包括照射在目標(biāo)面8(即掩模)上的至少兩個(gè)紫外LED照射模塊1，如圖3，所述紫外LED照射模塊1包括由紫外LED燈珠陣列2組成的紫外LED光源模組3和復(fù)眼透鏡模組4，所述復(fù)眼透鏡模組4沿紫外LED光源模組3照射的方向平行設(shè)在紫外LED光源模組3的前方，如圖3，所述紫外LED燈珠陣列2的每個(gè)單元包括設(shè)在一基板5上的紫外LED燈珠6、緊密貼合并罩在設(shè)有紫外LED燈珠6的基板5上的預(yù)準(zhǔn)直透鏡7。

紫外LED光源模組3用于發(fā)射預(yù)準(zhǔn)直的紫外光束，復(fù)眼透鏡模組4用于光束勻化。

作為優(yōu)選實(shí)施例之一，所述照射在目標(biāo)面8上的所有紫外LED照射模塊1在各行各列等間距排布，所述所有紫外LED照射模塊1的在行X、列Y方向上的數(shù)量分別為N_X和N_Y，所有紫外LED照射模塊1的最大曝光面積總面積為S_X和S_Y，所述單個(gè)紫外LED照射模塊1的照明面積為a_x，a_y，N_X、N_Y滿足：

作為優(yōu)選實(shí)施例之一，所述紫外LED燈珠6的中心波長(zhǎng)為365nm-405nm。

作為優(yōu)選實(shí)施例之一，所述復(fù)眼透鏡模組4至少包括一個(gè)復(fù)眼透鏡，每個(gè)復(fù)眼透鏡包括若干個(gè)微透鏡，所述若干個(gè)微透鏡以正六邊形或平方點(diǎn)陣方式排布，如圖5。

作為一優(yōu)選實(shí)施例，所述紫外LED光源模組3周圍設(shè)有水冷或風(fēng)冷式散熱裝置。

以上內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。