專利名稱：用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及等離子顯示屏制作領域，具體而言，涉及一種用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置。
背景技術：
通用的交流氣體放電等離子顯示屏均采用表面放電型結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括一個前基板及與之封接在一起的后基板。前基板上配置有透明電極ITO和匯流電極，透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極。放電電極又分為維持放電電極X和掃描放電電極Y，在放電電極的表面覆蓋有一層介質(zhì)層，介質(zhì)層上覆蓋保護層該保護層通常是氧化鎂膜。后基板上配置有與放電電極相互垂直的尋址電極，尋址電極上覆蓋一層介質(zhì)層，介質(zhì)層上配置有與其尋址電極平行的條狀障壁，且在條狀障壁的底部覆蓋有熒光粉層，前后基板用低熔點玻璃粉封接在一起，并且在其間充有放電氣體。目前，為了提高等離子顯示屏的產(chǎn)品質(zhì)量，提高等離子顯示屏的光效，降低其工作電壓，通常在放電電極表面的介質(zhì)層上覆蓋一層氧化鎂保護層。通常的做法是用電子束蒸鍍的方法，在PDP前基板屏介質(zhì)層表面形成的氧化鎂層，其特點是對介質(zhì)層的保護效果好， 而且能產(chǎn)生大量的二次電子，可降低屏的著火電壓，減小放電延遲時間。但是，隨著全高清電視的出現(xiàn)，PDP顯示屏的像素節(jié)距越來越小，造成的直接影響是屏的放電空間減少，降低亮度，又因為行數(shù)增加，需要進一步減少放電延遲時間，僅僅在介質(zhì)層上覆蓋一層氧化鎂保護層所達到的效果已不能滿足全高清PDP顯示屏的質(zhì)量要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置，以實現(xiàn)在同一蒸鍍裝置上能夠蒸鍍兩層不同面積的保護層。為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置。該用于等離子顯示屏保護層形成的蒸鍍裝置包括第一蒸鍍材料盛放部，處于第一位置；第二蒸鍍材料盛放部，處于第二位置，第二蒸鍍材料盛放部與第一蒸鍍材料盛放部的位置能夠互換；電子槍，設置在第一位置的上方，用于發(fā)射電子束濺射蒸鍍材料；以及定向遮擋板，其上設置有定向通孔，可移動的設置在電子槍與待蒸鍍的上基板之間。進一步地，定向遮擋板的定向通孔的位置設置在空間直角坐標系中的B點(XnY1, Z1)，空間直角坐標系包括相互垂直的X軸、Y軸和Z軸，B點的位置通過下列公式求得x-x2/x2-x0 = y-y2/y2-y0 = z-z2/z2-z0 ①Z = Z1②其中，公式①為空間直線方程；公式②為遮擋板(4)所在空間平面的平面方程，其高度為乙；B點(XnY1^1)為所述空間直線和所述空間平面的相交點，且與A點的沿Z軸方向的距離為Z1,其中，A點是電子束打到需要蒸鍍的材料上的濺射點，C點是需要在上基板
4的氧化鎂層上蒸鍍的范圍，B點是遮擋板上定向通孔的位置。進一步地，定向遮擋板的材質(zhì)為不銹鋼，厚度為0. 3 0. 5mm，定向通孔的孔徑為 0.11 0.13mm。在此范圍內(nèi)能夠得到合適的蒸鍍層。進一步地，該蒸鍍裝置包括第一蒸鍍材料盛放部處于第一位置，電子槍濺射第一蒸鍍材料，上基板勻速運動第一次經(jīng)過第一位置上方；第二蒸鍍材料盛放部與第一蒸鍍材料盛放部位置互換，第二蒸鍍材料盛放部處于第一位置，電子槍濺射第二蒸鍍材料，上基板在定向遮擋板的遮擋下勻速運動第二次經(jīng)過第一位置上方，其中，定向遮擋板與上基板以相同的速度經(jīng)過第一位置上方。進一步地，第一蒸鍍材料盛放部是勻速沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的一組坩堝中的每個坩堝的一半，第二蒸鍍材料盛放部是一組坩堝中的每個坩堝的另一半。進一步地，一組坩堝的排布方向垂直于上基板的運動方向。進一步地，坩堝旋轉(zhuǎn)半周的時間與上基板一次經(jīng)過第一位置上方的時間相等。進一步地，第一蒸鍍材料盛放部是沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的第一組坩堝，第二蒸鍍材料盛放部是沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的第二組坩堝，第一組坩堝和第二組坩堝處于第一位置時的排布方向垂直于上基板的運動方向。進一步地，第一組坩堝與第二組坩堝分別為兩個坩堝，四個坩堝支撐在十字型支撐架的沿水平方向的四個端部，十字型支撐架的中部具有豎直延伸的旋轉(zhuǎn)軸。進一步地，蒸鍍裝置配置為使得上基板第一次經(jīng)過第一位置上方后，十字型支撐架繞其旋轉(zhuǎn)軸運動，互換第一組坩堝和第二組坩堝的位置，然后使上基板第二次經(jīng)過第一位置上。應用本發(fā)明的技術方案，由于定向遮擋板上具有按照一定位置設置的定向通孔， 可以實現(xiàn)在同一蒸鍍裝置上能夠蒸鍍兩層不同面積的保護層，而且保護層的位置可以精確設置。


說明書附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，構(gòu)成本發(fā)明的一部分，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當限定。在附圖中圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的用于等離子顯示屏保護層形成的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出了根據(jù)本發(fā)明又一實施例的用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖3示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的定向遮擋板上定向通孔的位置示意圖。
具體實施例方式需要說明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明的一種典型的實施方式，如圖1，2所示用于等離子顯示屏保護層形成的蒸鍍裝置包括第一蒸鍍材料盛放部11、第二蒸鍍材料盛放部12、電子槍3和定向遮擋板 4，其中，第一蒸鍍材料盛放部11和第二蒸鍍材料盛放部12可以分別處于第一位置以及第二位置，且第二蒸鍍材料盛放部12與第一蒸鍍材料盛放部11的位置能夠互換；電子槍3設置在第一位置的上方，用于發(fā)射電子束濺射蒸鍍材料；定向遮擋板4上設置有定向通孔，可移動的設置在電子槍3與待蒸鍍的上基板2之間。當?shù)谝徽翦儾牧鲜⒎挪?1處于第一位置，電子槍3射擊第一蒸鍍材料盛放部11時，第一蒸鍍材料盛放部11內(nèi)的第一蒸鍍材料將被霧狀顆粒成一定的角度濺射，從而蒸鍍到待蒸鍍PDP上基板2上形成第一保護層。當?shù)诙翦儾牧鲜⒎挪?2與第一蒸鍍材料盛放部11的位置能夠互換，如圖4所示，定向遮擋板 4移動到電子槍3與上基板2之間，電子槍3射擊第二蒸鍍材料盛放部12，蒸鍍出第二蒸鍍材料，由于定向遮擋板4的存在，第二蒸鍍材料只能透過定向遮擋板4上的定向通孔定向的蒸鍍到上基板2上，而不需要蒸鍍的位置則由于定向遮擋板4的遮擋而不會被蒸鍍。優(yōu)選地，根據(jù)圖3所示的實施例，定向遮擋板4上定向通孔的位置設置在空間直角坐標系中的B點(X1, Y1, Z1)，空間直角坐標系包括相互垂直的X軸、Y軸和Z軸，定向遮擋板上的定向通孔的位置設置在B點(X1, Y1, Z1)，B點的位置通過下列公式求得X-X2/X2-X0 = Y-Y2/Y2-Y0 = Z-Z2/Z2-Z0①Z = Z1②其中，公式①為空間直線方程；公式②為遮擋板(4)所在空間平面的平面方程，其高度為乙；B點(XnY1^1)為所述空間直線和所述空間平面的相交點，且與A點的沿Z軸方向的距離為Z1,其中，A點是電子束打到需要蒸鍍的材料上的濺射點，C點是需要在上基板的氧化鎂層上蒸鍍的范圍，B點是遮擋板上定向通孔的位置。定向遮擋板4的材質(zhì)優(yōu)選不銹鋼，厚度為0.3 0.5mm，定向通孔的孔徑為0. 11 013mm，在此范圍內(nèi)能夠得到合適的蒸鍍層。根據(jù)本發(fā)明的一種典型的實施方式，該蒸鍍裝置包括如下運行過程第一蒸鍍材料盛放部11處于第一位置，電子槍3濺射第一蒸鍍材料，上基板2勻速運動第一次經(jīng)過第一位置上方；第二蒸鍍材料盛放部12與第一蒸鍍材料盛放部11位置互換，第二蒸鍍材料盛放部處于第一位置，電子槍3濺射第二蒸鍍材料，上基板2在定向遮擋板4的遮擋下勻速運動第二次經(jīng)過第一位置上方，其中，定向遮擋板4與上基板2以相同的速度經(jīng)過第一位置上方。這樣就可以在上基板兩次運行的過程中將第一保護層和第二保護層精確蒸鍍好，工藝簡單，方便操作。如圖1所示，第一蒸鍍材料盛放部11可以是勻速沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的一組坩堝中的每個坩堝的一半，第二蒸鍍材料盛放部12是一組坩堝中的每個坩堝的另一半。優(yōu)選地，一組坩堝的排布方向垂直于上基板2的運動方向，這樣便于蒸鍍材料均勻地蒸鍍在上基板2 上。坩堝旋轉(zhuǎn)半周的時間可以與上基板2 —次經(jīng)過第一位置上方的時間相等，這樣可以保證坩堝旋轉(zhuǎn)半周即上基板運行第一次就可以將第一保護層蒸鍍好，當坩堝旋轉(zhuǎn)另半周時， 上基板運行第二次完成第二保護層的蒸鍍。當然，如圖2所示第一蒸鍍材料盛放部11也可以是沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的第一組坩堝，第二蒸鍍材料盛放部12是沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的第二組坩堝，第一組坩堝和第二組坩堝處于第一位置時的排布方向垂直于上基板的運動方向。同樣也可以便于蒸鍍材料均勻地蒸鍍在上基板上。根據(jù)需要蒸鍍的上基板的大小可以調(diào)整一組干鍋的數(shù)量，優(yōu)選的，根據(jù)圖2所示的實施例，第一組坩堝與第二組坩堝分別有兩個坩堝，支撐在十字型支撐架的沿水平方向的四個端部，十字型支撐架的中部具有豎直延伸的旋轉(zhuǎn)軸，這樣既能使坩堝可以繞自身軸心旋轉(zhuǎn)又能夠繞十字形支撐架的軸心旋轉(zhuǎn)，保證了蒸鍍的均勻性。蒸鍍裝置配置為使得上基板第一次經(jīng)過第一位置上方后，十字型支撐架繞其旋轉(zhuǎn)軸運動，互換第一組坩堝和第二組坩堝的位置，然后使上基板第二次經(jīng)過第一位置上。此結(jié)構(gòu)加工方便，操作簡便，且蒸鍍效果好。 以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領域的技術人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置，其特征在于，包括第一蒸鍍材料盛放部(11)，處于第一位置；第二蒸鍍材料盛放部(12)，處于第二位置，所述第二蒸鍍材料盛放部(1 與所述第一蒸鍍材料盛放部(11)的位置能夠互換；電子槍(3)，設置在所述第一位置的上方，用于發(fā)射電子束濺射蒸鍍材料；以及定向遮擋板G)，其上設置有定向通孔，可移動地設置在所述電子槍C3)與待蒸鍍的上基板(2)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述定向遮擋板(4)的定向通孔的位置設置在空間直角坐標系中的B點(X1, Y1, Z1)，所述空間直角坐標系包括相互垂直的X軸、 Y軸和Z軸，所述B點的位置通過下列公式求得X-VX2-X0 = Y-VY2-Y0 = z-z2/z2-z0 ①Z = Z1②其中，公式①為空間直線方程；公式②為遮擋板(4)所在空間平面的平面方程，其高度為21 ；B點(XnYpZ1)為所述空間直線和所述空間平面的相交點，且與A點的沿Z軸方向的距離為Z1,其中，A點是電子束打到需要蒸鍍的材料上的濺射點，C點是需要在上基板的氧化鎂層上蒸鍍的范圍，B點是遮擋板上定向通孔的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述定向遮擋板的材質(zhì)為不銹鋼，厚度為0. 3-0. 5mm，所述定向通孔的孔徑為0. 11 0. 13mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于所述第一蒸鍍材料盛放部(11)處于所述第一位置時，所述電子槍(1 濺射所述第一蒸鍍材料，并且所述上基板( 勻速運動第一次經(jīng)過所述第一位置上方；所述第二蒸鍍材料盛放部(1 與所述第一蒸鍍材料盛放部(11)位置互換，使得所述第二蒸鍍材料盛放部(1 處于所述第一位置后，所述電子槍濺射所述第二蒸鍍材料，所述上基板( 在所述定向遮擋板的遮擋下勻速運動第二次經(jīng)過所述第一位置上方，其中，所述定向遮擋板(4)與所述上基板O)以相同的速度經(jīng)過所述第一位置上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一蒸鍍材料盛放部(11)是勻速沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的一組坩堝中的每個所述坩堝的一半，所述第二蒸鍍材料盛放部(12) 是所述一組坩堝中的每個所述坩堝的另一半。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述一組坩堝的排布方向垂直于所述上基板O)的運動方向。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述坩堝旋轉(zhuǎn)半周的時間與所述上基板( 一次經(jīng)過所述第一位置上方的時間相等。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一蒸鍍材料盛放部(11)是沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的第一組坩堝，所述第二蒸鍍材料盛放部(1 是沿自身軸心旋轉(zhuǎn)的第二組坩堝，所述第一組坩堝或所述第二組坩堝處于所述第一位置時的排布方向垂直于所述上基板的運動方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一組坩堝與所述第二組坩堝分別為兩個坩堝，四個坩堝支撐在十字型支撐架的沿水平方向的四個端部，所述十字型支撐架的中部具有豎直延伸的旋轉(zhuǎn)軸。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置配置為使得在所述上基板( 第一次經(jīng)過所述第一位置上方后，使所述十字型支撐架繞其旋轉(zhuǎn)軸運動，互換所述第一組坩堝和所述第二組坩堝的位置，然后使所述上基板( 第二次經(jīng)過所述第一位置上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置。該用于形成等離子顯示屏保護層的蒸鍍裝置包括第一蒸鍍材料盛放部，處于第一位置；第二蒸鍍材料盛放部，處于第二位置，第二蒸鍍材料盛放部與第一蒸鍍材料盛放部的位置能夠互換；電子槍，設置在第一位置的上方，用于發(fā)射電子束濺射蒸鍍材料；以及定向遮擋板，其上設置有定向通孔，可移動地設置在電子槍與待蒸鍍的上基板之間。應用本發(fā)明的技術方案，由于定向遮擋板的設計，可以實現(xiàn)在同一蒸鍍裝置上能夠蒸鍍兩層不同面積的保護層，而且保護層的位置可以精確設置。
文檔編號H01J9/20GK102392220SQ20111029487
公開日2012年3月28日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者曹瑞林 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司