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一種薄膜組件切割方法及裝置與流程

文檔序號(hào):11793620閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種薄膜組件切割方法及裝置。所述薄膜組件包括層疊設(shè)置的第一膜層、第二膜層和第三膜層,其中,所述第二膜層在高于預(yù)設(shè)溫度的環(huán)境中能夠被碳化,所述方法包括:采用第一激光對(duì)第一膜層進(jìn)行部分切割;將部分切割的第一膜層部分進(jìn)行剝離,使得所述第二膜層的待切割部位裸露;采用第二激光對(duì)所述第二膜層進(jìn)行切割,其中,所述第二激光為采用非燒融方式進(jìn)行切割的激光。所述裝置包括第一切割器、剝離機(jī)構(gòu)、第二切割器、控制器。本發(fā)明提供的方法及裝置,能夠防止膜層碳化。

技術(shù)研發(fā)人員:姜成才;吳小平;李楠
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
文檔號(hào)碼:201610585906
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.22
技術(shù)公布日:2016.11.23

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