本發(fā)明涉及線切割機(jī)領(lǐng)域，具體涉及一種穩(wěn)定型線切割機(jī)。

背景技術(shù)：

線切割機(jī)主要由機(jī)床、數(shù)控系統(tǒng)和高頻電源這三部分組成，機(jī)床由床身、儲(chǔ)絲機(jī)構(gòu)、線架、XY工作臺(tái)、油箱等部件組成。繞在儲(chǔ)絲筒上的鉬絲經(jīng)過線架作高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)。加工工件固定在XY工作臺(tái)上。X、Y兩方向的運(yùn)動(dòng)各由一臺(tái)步進(jìn)電機(jī)控制。數(shù)控系統(tǒng)每發(fā)出一個(gè)信號(hào)，步進(jìn)電機(jī)就走一步，并通過中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)兩方向的絲杠旋轉(zhuǎn)，分別使得X、Y工作臺(tái)進(jìn)給。

其能切割材料，如高強(qiáng)度、高韌性、高硬度、高脆性、磁性材料，以及精密細(xì)小和形狀復(fù)雜的零件。線切割技術(shù)、線切割機(jī)床正在各行各業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。

但是如今的線切割機(jī)在長時(shí)間使用后，其機(jī)床上的掛載部件會(huì)因重量過重而導(dǎo)致零件變形，最終導(dǎo)致切割路徑發(fā)生變化，無法達(dá)到較高的切割精度，并且使用時(shí)容易產(chǎn)生晃動(dòng)，因此掛載處的連接件常常使用高強(qiáng)度金屬，雖然可以有效的避免，但是成本高，長時(shí)間使用后還是存在一定的變形量，不利于量產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題，提供一種穩(wěn)定型線切割機(jī)，本發(fā)明加工精度高，穩(wěn)定性好，使用壽命長，并且成本得到控制。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種穩(wěn)定型線切割機(jī)，包括基準(zhǔn)平臺(tái)，所述基準(zhǔn)平臺(tái)表面設(shè)置有立梁柱，所述立梁柱上設(shè)置有延伸平臺(tái)，所述延伸平臺(tái)頂部的表面上設(shè)置有三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有第一線切割部，所述三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述第一線切割部移動(dòng)，所述第一線切割頭設(shè)置在延伸平臺(tái)的前端一側(cè)，所述第一線切割部下方設(shè)置有第二線切割部，所述第二線切割部設(shè)置在立梁柱上，所述立梁柱一側(cè)面上還設(shè)置有切割線張緊機(jī)構(gòu)，所述延伸平臺(tái)一側(cè)面上還設(shè)置有第一過線通道，所述第二線切割部內(nèi)設(shè)置有第二過線通道，所述第一過線通道、切割線張緊機(jī)構(gòu)和第二過線通道位于同一側(cè)上，所述第二線切割部下方的基準(zhǔn)平臺(tái)上設(shè)置有工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)頂部設(shè)置有工件載具平臺(tái)，所述立梁柱后側(cè)的基準(zhǔn)平臺(tái)上還設(shè)置有切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一轉(zhuǎn)載底板，所述轉(zhuǎn)載底板表面設(shè)置有沿U軸方向運(yùn)動(dòng)的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有箱式固定架并與箱式固定架的底面固定，所述箱式固定架的前端面上設(shè)置有沿V軸方向運(yùn)動(dòng)的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有第二轉(zhuǎn)載底板，所述第二轉(zhuǎn)載底板表面設(shè)置有沿Z軸方向運(yùn)動(dòng)的第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有第一線切割部，所述箱式固定架的底面和前端面之間垂直設(shè)置，所述箱式固定架的前端面與第二轉(zhuǎn)載底板平行設(shè)置，所述箱式固定架的底面與第一轉(zhuǎn)載底板表面平行設(shè)置，所述第一轉(zhuǎn)載底板表面與基準(zhǔn)平臺(tái)表面平行設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)與第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)均包括絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和兩個(gè)直線導(dǎo)軌，兩個(gè)所述直線導(dǎo)軌平行設(shè)置并且分別設(shè)置在絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)兩側(cè)，所述第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)滑臺(tái)。

進(jìn)一步的，所述箱式固定架包括底面、設(shè)置在底面兩側(cè)的前端面和后端面、以及設(shè)置在前端面和后端面之間的均勻設(shè)置的三個(gè)橫板，所述橫板表面開設(shè)有若干通孔，所述底面、前端面、后端面和橫板一體澆筑成型。

進(jìn)一步的，所述第一線切割部包括第一延長臂，所述第一延長臂底部設(shè)置有連接板，所述連接板上設(shè)置有第一切割頭，所述連接板內(nèi)部還設(shè)置有導(dǎo)流通道，所述導(dǎo)流通道與第一切割頭貫通連接并且通過管道接頭與切削液軟管連接，所述第一延長臂內(nèi)設(shè)置有預(yù)留通道，所述切削液軟管設(shè)置在預(yù)留通道內(nèi)并且一端穿過預(yù)留通道與供液裝置連接，所述第一線切割部一側(cè)的三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)上還設(shè)置有第一導(dǎo)輪和第一導(dǎo)電塊。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)流通道一端與第一切割頭貫通，另一端與連接板的側(cè)邊貫通，位于上述側(cè)邊的導(dǎo)流通道內(nèi)設(shè)置有堵頭，所述導(dǎo)流通道還通過支流通道與連接板表面貫通，所述支流通道上設(shè)置有管道接頭。

進(jìn)一步的，所述第一延長臂與三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)之間還設(shè)置有錯(cuò)位板，所述錯(cuò)位板與第一延長臂之間還設(shè)置有加強(qiáng)筋板。

進(jìn)一步的，所述第二線切割部包括第二切割頭，所述第二切割頭設(shè)置在導(dǎo)流座上，所述導(dǎo)流座通過軟管與供液裝置連接，所述導(dǎo)流座固定設(shè)置在第二延長臂上，所述第二延長臂固定設(shè)置在立梁柱上，所述第二延長臂上設(shè)置有第二過線通道，所述第二過線通道貫通所述切割線張緊機(jī)構(gòu)和所述第二切割頭，所述第二切割頭下方的第二過線通道內(nèi)設(shè)置有第二導(dǎo)輪和第二導(dǎo)電塊。

進(jìn)一步的，所述切割線張緊機(jī)構(gòu)包括上張緊部和下張緊部，所述上張緊部和下張緊部均包括入線輪、出線輪以及設(shè)置在入線輪和出線輪之間調(diào)節(jié)張力的張力輪，所述上張緊部和下張緊部的兩個(gè)張力輪分別設(shè)置在連接臂兩端，所述連接臂設(shè)置在導(dǎo)向滑軌上，所述導(dǎo)向滑軌固定設(shè)置在立梁柱上，所述導(dǎo)向滑軌一端還設(shè)置有保持架，所述保持架與連接臂之間設(shè)置有恒張力彈簧。

進(jìn)一步的，所述切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有第四移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明的有益效果是:

1、本裝置的三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在延伸平臺(tái)頂部表面，即立梁柱頂部，因此其重量均由立梁柱支撐承受，而三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)所需要承受的僅僅是第一切割部的重量，重量轉(zhuǎn)移后承載重量的連接部件受力極小，因此使用時(shí)穩(wěn)定性極高，不會(huì)發(fā)生零件變形或者移位等問題，有效保障運(yùn)行精度，并且提高了使用壽命。

2、第一切割部中所引用的切削液采用軟管接入，與接頭配合后供液，因此第一延長臂與連接板之間不存在需要密封的問題，在組裝鎖固時(shí)也無需考慮密封，組裝使用后不會(huì)因密封圈老化而漏液，有效簡化了組裝難度和避免了漏液風(fēng)險(xiǎn)，保證切削液的正常供給。

3、切割線張緊機(jī)構(gòu)中上張緊部和下張緊部的張力輪采用同步運(yùn)行方式設(shè)置，同步后使得上張緊部和下張緊部的張力一致，因此能夠保證上張緊部和下張緊部之間的切割線始終保持繃緊狀態(tài)，避免兩者不同步而導(dǎo)致兩者之間的切割線出現(xiàn)松弛問題，有效保障切割精度，切割良率極高。

4、切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有第四移動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證切割線的出線和收線的位置始終保持一致，穩(wěn)定運(yùn)行。

上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。本發(fā)明的具體實(shí)施方式由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)與第一線切割部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明第一線切割部的正視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明第一線切割部的截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明的第二線切割部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明的切割線張緊機(jī)構(gòu)部分結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

參照?qǐng)D1與圖2所示，一種穩(wěn)定型線切割機(jī)，包括基準(zhǔn)平臺(tái)1，基準(zhǔn)平臺(tái)表面設(shè)置有立梁柱2，立梁柱上設(shè)置有延伸平臺(tái)21，延伸平臺(tái)頂部的表面上設(shè)置有三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3，三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的重量完全由延伸平臺(tái)承載，而延伸平臺(tái)與立梁柱為一體結(jié)構(gòu)，即將所有重量都轉(zhuǎn)移到了立梁柱上，三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有第一線切割部4，三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)第一線切割部移動(dòng)，完成U、V、Z三軸的空間運(yùn)動(dòng)，第一線切割頭設(shè)置在延伸平臺(tái)的前端一側(cè)，第一線切割頭的重量均掛載在三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，而三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在延伸平臺(tái)頂部，因此只有第一線切割頭的重量會(huì)對(duì)整體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生垂直方向上的作用力，三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的重量產(chǎn)生的垂直方向的作用力均被立梁柱支撐抵消，移動(dòng)機(jī)構(gòu)的重量不會(huì)對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)與立梁柱之間的連接部件產(chǎn)生水平向上的掛載受力，在運(yùn)行時(shí)，各個(gè)部分的移動(dòng)機(jī)構(gòu)所承載的重量也極大的減少，因此各部件的連接出所承受的重量也減少，大大降低了運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的磨損而導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)間隙，能夠有效且持久的的保證運(yùn)動(dòng)精度，特別是掛載處的組件，由于支撐重量的降低，正對(duì)材料強(qiáng)度的要求大大降低，并且長時(shí)間運(yùn)行也不會(huì)出現(xiàn)磨損或變形等問題，有效降低了使用成本，第一線切割部下方設(shè)置有第二線切割部5，第二切割部與第一切割部配合實(shí)現(xiàn)對(duì)零件的切割，第二線切割部設(shè)置在立梁柱上，立梁柱一側(cè)面上還設(shè)置有切割線張緊機(jī)構(gòu)6，通過切割線張緊機(jī)構(gòu)以保證第二切割部與第一切割部之間的切割線的張緊度，以提供優(yōu)質(zhì)的切割環(huán)境，延伸平臺(tái)一側(cè)面上還設(shè)置有第一過線通道22，第二線切割部內(nèi)設(shè)置有第二過線通道51，以滿足切割線穿設(shè)安裝的需要，第一過線通道、切割線張緊機(jī)構(gòu)和第二過線通道位于同一側(cè)上，第二線切割部下方的基準(zhǔn)平臺(tái)上設(shè)置有工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)7，與三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)配合形成多維切割效果，工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)頂部設(shè)置有工件載具平臺(tái)71，方便安裝工件，工件載具平臺(tái)由C型架搭設(shè)而成，C型架表面開設(shè)有若干鎖固孔，便于鎖固載具，立梁柱后側(cè)的基準(zhǔn)平臺(tái)上還設(shè)置有切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8，以提供切割絲移動(dòng)動(dòng)力。其第一過線通道和切割線張緊機(jī)構(gòu)所對(duì)應(yīng)的立梁柱和延伸平臺(tái)側(cè)表面上設(shè)置有容置凹槽，容置凹槽有效容納上述兩個(gè)部分，起到有效的保護(hù)作用，容置凹槽位于切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一側(cè)的槽壁上還設(shè)置有上切割線避讓口和下切割線避讓口，便于設(shè)置。切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有第四移動(dòng)機(jī)構(gòu)81，通過實(shí)時(shí)移動(dòng)使得切割線放線的位置始終在上切割線避讓口和下切割線避讓口處。

如圖3所示，三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一轉(zhuǎn)載底板31，第一轉(zhuǎn)載底板是將整個(gè)三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)與延伸平臺(tái)連接的重要部件，轉(zhuǎn)載底板表面設(shè)置有沿U軸方向運(yùn)動(dòng)的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)32，第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有箱式固定架33并與箱式固定架的底面固定，第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作帶動(dòng)箱式固定架沿U軸方向移動(dòng)，箱式固定架的前端面上設(shè)置有沿V軸方向運(yùn)動(dòng)的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)34，第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有第二轉(zhuǎn)載底板35，第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作帶動(dòng)第二轉(zhuǎn)載底板沿V軸方向移動(dòng)，第二轉(zhuǎn)載底板表面設(shè)置有沿Z軸方向運(yùn)動(dòng)的第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)36，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有第一線切割部，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作帶動(dòng)第一線切割部沿V軸方向移動(dòng)，三個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)即能夠保證第一線切割部能夠沿U、V、Z三軸方向?qū)崿F(xiàn)空間任意點(diǎn)位移動(dòng)，箱式固定架的底面和前端面之間垂直設(shè)置，箱式固定架的前端面與第二轉(zhuǎn)載底板平行設(shè)置，箱式固定架的底面與第一轉(zhuǎn)載底板表面平行設(shè)置，第一轉(zhuǎn)載底板表面與基準(zhǔn)平臺(tái)表面平行設(shè)置，通過上述限定以保證相互之間的垂直度，以便于實(shí)現(xiàn)位置移動(dòng)的機(jī)械性定位，在制備時(shí)，先對(duì)箱式固定架的底面與前端面的垂直度進(jìn)行切割校對(duì)，以保證兩個(gè)面的垂直角度，然后安裝第二轉(zhuǎn)載底板，通過第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)整第二轉(zhuǎn)載底板與箱式固定架前端面的平行度，調(diào)整結(jié)束后將箱式固定架固定在第一轉(zhuǎn)載底板上并調(diào)整第一轉(zhuǎn)載底板表面與箱式固定架底面之間的平行度，最后即可安裝在延伸平臺(tái)上，安裝好后通過儀器校準(zhǔn)，檢測(cè)第一轉(zhuǎn)載底板表面與基準(zhǔn)平臺(tái)之間的平行度，當(dāng)出現(xiàn)角度片偏差時(shí)，對(duì)第一轉(zhuǎn)載底板再次加工直至校對(duì)合格。

其中，第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)與第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)均包括絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和兩個(gè)直線導(dǎo)軌，兩個(gè)直線導(dǎo)軌平行設(shè)置并且分別設(shè)置在絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)兩側(cè)，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)滑臺(tái)，以充分滿足移動(dòng)需要，并且也有效保證移動(dòng)定位的順暢度和精準(zhǔn)度。

而箱式固定架包括底面331、設(shè)置在底面兩側(cè)的前端面332和后端面333、以及設(shè)置在前端面和后端面之間的均勻設(shè)置的三個(gè)橫板334，橫板表面開設(shè)有若干通孔335，底面、前端面、后端面和橫板一體澆筑成型，整體結(jié)構(gòu)形成后具有優(yōu)越的剛性強(qiáng)度，并且移動(dòng)時(shí)承載的重量小，不會(huì)發(fā)生抖動(dòng)情況，提高了移動(dòng)精度。

如圖3至圖5所示，第一線切割部包括第一延長臂41，第一延長臂底部設(shè)置有連接板42，連接板上設(shè)置有第一切割頭43，以帶動(dòng)切割線移動(dòng)切割工件，連接板內(nèi)部還設(shè)置有導(dǎo)流通道44，導(dǎo)流通道與第一切割頭貫通連接并且通過管道接頭與切削液軟管連接，第一延長臂內(nèi)設(shè)置有預(yù)留通道45，切削液軟管設(shè)置在預(yù)留通道內(nèi)并且一端穿過預(yù)留通道與供液裝置連接，在可供液的前提下，將軟管隱藏，避免軟管受到傷害而破裂，此處軟管與導(dǎo)流通道的結(jié)合設(shè)計(jì)使得連接板與第一延長臂組合連接時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)漏液的情況，兩者之間也無需采用密封手段，生產(chǎn)組裝更加便利，有效解決了切削液的漏液問題，第一線切割部一側(cè)的三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)上還設(shè)置有第一導(dǎo)輪37和第一導(dǎo)電塊38，保證切割的正常進(jìn)行。

導(dǎo)流通道一端與第一切割頭貫通，另一端與連接板的側(cè)邊貫通，位于上述側(cè)邊的導(dǎo)流通道內(nèi)設(shè)置有堵頭46，導(dǎo)流通道還通過支流通道441與連接板表面貫通，支流通道上設(shè)置有管道接頭，通過上述設(shè)計(jì)，在生產(chǎn)時(shí)，只需要在連接板側(cè)邊一次打孔成型導(dǎo)流通道，然后在連接板表面打孔貫通導(dǎo)流通道而成型支流通道即可，加工簡單可靠，無難度，便于批量生產(chǎn)。

第一延長臂與三軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)之間還設(shè)置有錯(cuò)位板411，錯(cuò)位板將第一延長臂朝向立梁柱的側(cè)邊設(shè)置，便于配合切割線的位置設(shè)置，錯(cuò)位板與第一延長臂之間還設(shè)置有加強(qiáng)筋板412，提高連接強(qiáng)度。

如圖6所示，第二線切割部包括第二切割頭52，第二切割頭設(shè)置在導(dǎo)流座53上，導(dǎo)流座通過軟管與供液裝置連接，導(dǎo)流座提供第二切割頭使用的切削液，導(dǎo)流座固定設(shè)置在第二延長臂54上，第二延長臂57固定設(shè)置在立梁柱上，第二延長臂以延長配合第一切割頭切割，第二延長臂上設(shè)置有第二過線通道，第二過線通道貫通切割線張緊機(jī)構(gòu)和第二切割頭，第二切割頭下方的第二過線通道內(nèi)設(shè)置有第二導(dǎo)輪55和第二導(dǎo)電塊56，保證切割線的穿入使用。

如圖7所示，切割線張緊機(jī)構(gòu)包括上張緊部61和下張緊部62，上張緊部和下張緊部均包括入線輪63、出線輪64以及設(shè)置在入線輪和出線輪之間調(diào)節(jié)張力的張力輪65，入線輪和出線輪以保證切割線從切割線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中順利導(dǎo)入，然后再順利導(dǎo)出至第一切割頭和第二切割頭出，上張緊部和下張緊部的兩個(gè)張力輪分別設(shè)置在連接臂66兩端，連接臂設(shè)置在導(dǎo)向滑軌67上，導(dǎo)向滑軌固定設(shè)置在立梁柱上，導(dǎo)向滑軌一端還設(shè)置有保持架，保持架與連接臂之間設(shè)置有恒張力彈簧68，通過將切割線的上下兩部分實(shí)行同步張力輸出的方式，保證第一線切割部和第二線切割部兩處的切割線張力始終能夠保持一致，避免了兩處切割線張力不一致而導(dǎo)致第一線切割部和第二線切割部之間的切割線松弛的問題，也有效解決了切割穩(wěn)定性差的問題，提高切割精度和良率。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。