專利名稱：真空鍍膜機多級行星式工件架的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及機械技術領域，具體地涉及真空鍍膜機的一種工件架。
背景技術：
太陽能熱水器，因具有節(jié)能、環(huán)保及使用安全等優(yōu)良性能，故而在民間及工業(yè)化應用中顯示出越來越寬廣的前景。太陽能熱水器的集熱裝置主要由多根真空集熱管組合構成。該真空集熱管的鍍膜層對太陽的光熱具有高的吸收性和低的發(fā)射性，可使管內(nèi)液體介質(zhì)的溫度迅速上升，完成太陽能熱水器的集熱功能。目前，真空集熱管的鍍膜均是采用“磁控濺射鍍膜”工藝完成的。鍍膜機的腔室內(nèi)主要包括有行星式工件架和圓柱形靶材，該工件架安裝在真空腔室內(nèi)，可相對于真空腔室中心的靶材作勻速圓周運動，待鍍膜的多根玻璃管則各自直立地置于工件架上、并套在呈圓周狀排列的行星軸上。當鍍膜機處在工件狀態(tài)，腔室內(nèi)為高真空，工件架轉動時，各玻璃管既可隨工件架作“公轉”，又可隨行星軸作“自轉”。鍍膜機腔室內(nèi)中心放置細圓柱形的靶材，通過某種工作氣體，將靶材濺射并均勻沉積在待鍍工件的表面，從而完成玻璃管的鍍膜工藝。現(xiàn)行鍍膜機的工件架為一級行星式工件架，因而相對來說產(chǎn)量較低，遠不能滿足太陽能熱水器行業(yè)發(fā)展的要求。
發(fā)明目的本實用新型針對上述問題，提出了一種真空鍍膜機多級行星式工件架，目的在于充分利用鍍膜機真空腔室的空間，在保證鍍膜質(zhì)量的前提下，努力提高真空鍍膜機的產(chǎn)量，同時減少能耗，降低生產(chǎn)成本。
本實用新型的技術解決方案它是在一級行星式工件架的基礎上設置多級行星式工件架，即在前一級的行星架上設置后一級行星輪系的定輪，將前一級行星軸的上端制作成為以該行星軸為中心的圓盤面作為后一級行星輪系的行星架，并在后一級行星架上設置后一級的行星軸，該行星軸下端的齒輪與本級行星輪系的定輪在相應位置處嚙合構成齒輪副。
有益效果本實用新型將一級行星式工件架改進成為多級行星式工件架，可充分利用鍍膜機真空腔室內(nèi)的空間，大大增加了既可繞真空腔室中心作“公轉”，又可以作“自轉”的行星軸的數(shù)量，也即增加了待鍍膜玻璃管的數(shù)量，提高了鍍膜機單機、單次的產(chǎn)出率，也提高了靶材的利用率，相應減少了能耗，降低了生產(chǎn)成本。以某廠生產(chǎn)的SCS700-A型鍍膜機為例，原工件架僅可安裝30支待鍍膜玻璃管，工件周期以30分鐘計，日產(chǎn)為1440支真空鍍膜集熱管。而采用本實用新型的二級行星軸為十字對稱的二級行星式工件架，便可裝52支工件(待鍍膜玻璃管)，工件周期確定為35分鐘，則日產(chǎn)可達到2130支。經(jīng)檢驗，產(chǎn)品質(zhì)量完全可以達到國家標準(GB/T17049-1997)的要求。
現(xiàn)列表比較如下



附圖1為真空鍍膜機一級行星式工件架的傳動系統(tǒng)簡圖。
附圖2為附圖1的一級行星式工件架裝有工件(玻璃管)的俯視簡圖。
附圖3為本實用新型實施例的二級行星式傳動系統(tǒng)(齒輪副為外齒輪嚙合)簡圖。
附圖4為本實用新型實施例的二級行星式傳動系統(tǒng)(齒輪副為內(nèi)齒輪嚙合)簡圖。
附圖5為附圖3、4二級行星式工件架裝有工件(玻璃管)的俯視簡圖。
具體實施方式
本實用新型是將鍍膜機現(xiàn)有的一級行星式工件架改進為多級行星式工件架。從圖1與2可見，現(xiàn)有技術真空鍍膜機的工件架包括有一級行星架11、一級行星輪系定輪12、一級行星軸13、及對架體限位的壓輪6，一級行星軸13的下端設有與一級行星輪系定輪12相嚙合的齒輪14。工作時，電機及減速裝置將傳動力通過齒輪3輸入給一級行星架11，工件架上的工件5(玻璃管)則相對于定輪12的中心作可稱為“公轉”的圓周運動。齒輪14使一級行星軸13又作“自轉”。圖3、4、5是本實用新型作為二級行星式工件架實施例示圖，它是將一級行星軸13的上平面設置為以一級行星軸13的軸心為圓心的圓盤面——即二級行星架21，圓盤面上設置有可十字對稱、左右對稱或前后對稱的二級行星軸，圖中給出十字對稱式二級行星軸231、232、233、234，該二級行星軸的下端設置有齒輪24、并與安裝在一級行星架上的二級行星輪系定輪22上的齒輪相嚙合。以上結構使二級行星軸不僅依然保持繞機腔中心的“公轉”，且每一組行星軸(如圖5中的A組)也可作繞該組行星架中心的“公轉”，其中每一個行星軸(如圖中231、232、233、234又可以各自軸心作“自轉”。因而，本實施例的工件架上所有工件5(玻璃管)都能充分而均勻的接受鍍膜機真空室中心的靶材濺射沉積達到原有的鍍膜工藝要求。同理，作為本實用新型的多級行星式工件架的實施，只要鍍膜機真空室內(nèi)的空間允許就可將后一級行星架下端的齒輪與設置在前一級行星輪系的定齒輪作嚙合構成齒輪副，該齒輪副可為外齒輪嚙合，也可為內(nèi)齒輪嚙合。所述的齒輪副都能驅動后一級行星架“自轉”且又能實現(xiàn)相對于中心靶材作“公轉”，從而達到預期的發(fā)明目的。
權利要求1.真空鍍膜機多級行星式工件架，包括有一級行星架(11)、一級行星輪系定輪(12)、一級行星軸(13)、及對架體限為的壓輪(6)，一級行星軸(13)的下端設有與一級行星輪系定輪(12)相嚙合的齒輪(14)，其特征在于它在一級行星式工件架的基礎上設置多級行星式工件架，即是在前一級的行星架(11)上設置后一級行星輪系的定輪(22)，將前一級行星軸(13)的上端制作成為以該行星軸為中心的圓盤面作為后一級行星輪系的行星架(21)，并在后一級行星架上設置后一級的行星軸(231、232、233、234)，該行星軸下端的齒輪(24)與本級行星輪系的定輪(22)在相應位置處嚙合構成齒輪副。
2.根據(jù)權利要求1所述真空鍍膜機多級行星式工件架，其特征在于每一級行星架上行星軸組(A)可以由多個行星軸組成。
3.根據(jù)權利要求2所述的真空鍍膜機多級行星式工件架，其特征在于構成行星軸組(A)的多個行星軸可以為十字對稱的四個行星軸，也可為左右、前后對稱的兩個行星軸。
4.根據(jù)權利要求1所述真空鍍膜機多級行星式工件架，其特征在于行星軸的下端與本級定輪在相應位置處設有的齒輪副，該齒輪副可為外齒輪嚙合，也可為內(nèi)齒輪嚙合。
專利摘要本實用新型涉及一種真空鍍膜機多級行星式工件架。現(xiàn)行鍍膜機的工件架為一級行星式工件架，完成對太陽能集熱管的鍍膜工藝相對來說效率較低。本實用新型是在一級行星式工件架的基礎上設置多級行星式工件架，即在前一級的行星架上設置后一級行星輪系的行星架、定輪、行星軸，充分利用了鍍膜機真空腔室內(nèi)的空間，大大增加既可繞鍍膜機真空腔室中心作“公轉”，又可以作“自轉”的行星軸——待鍍膜玻璃管的數(shù)量，從而提高了真空鍍膜機單機、單次的產(chǎn)出率，也提高了靶材的利用率，相應減少了能耗，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C23C14/34GK2890078SQ200620068928
公開日2007年4月18日 申請日期2006年1月25日 優(yōu)先權日2006年1月25日
發(fā)明者吳俊雷 申請人:吳俊雷