專利名稱：噴頭可拆式特氣管的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種特氣管，具體地說是一種可拆噴頭的特氣管，屬于PECVD鍍膜技術領域。
背景技術：
隨著光伏行業的迅猛發展，各電池片廠商面臨著越來越大的競爭壓力，而設備的維護時間和維護成本占了很了很大一部分，特氣管是PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)鍍膜上面的重要零部件，由于其在反應腔式里工作，反應生成的氮化硅會沉積在特氣管的出氣口處而堵塞氣管。PECVD設備領域以R0TH&RAU為代表的特氣管一般由一根氨氣管，兩根左、右硅烷管組成(統稱特氣管)。特氣管在工藝腔中負責向腔體內提供氨氣和硅烷，然后在微波的激發下生成等離子體，沉積在太陽能電池片上，然而隨著使用時間的加長，生成的沉積物會附著在氣管噴氣孔，這樣噴氣孔便逐漸變小，甚至將噴氣孔堵住。這樣腔室將不能獲得較均勻的等離子體而影響電池片鍍膜的均勻性。為了保正反應的正常進行，必須定期對特氣管進行拆洗維護，而反應生成的氮化硅也會沉積在安裝螺釘處，使得特氣管的拆洗、更換異常繁瑣，甚至有可能在拆洗更換中損壞設備，傳統的硅烷管采用整體式，管體與安裝板焊接在一起，再用螺釘將安裝板固定在設備上，為保證硅烷管牢固可靠，固定板采用8個螺釘固定，當硅烷管需要拆洗時，需要將硅烷管上的特氣管8個螺釘都同時拆下，而沉積在安裝螺釘上的氮化硅也會增加拆卸的難度，工作量非常大；而隨著使用，硅烷管管體損壞時候，則硅烷管的管體部分連同安裝板都需要做報廢處理，非常浪費。

發明內容
本發明的目的在于克服上述不足之處，提供一種噴頭可拆式特氣管，當特氣管在使用過程中被沉積的氮化硅堵住時候，在不需要從設備上拆除特氣管的基礎上通過更換被堵住的噴頭便實現設備的維護，降低了設備的維護難度和采購特氣管的成本。按照本發明提供的技術方案，所述噴頭可拆式特氣管，包括管體，其特征是管體上焊接有導套，導套上有一可拆卸的通氣套。所述可拆卸的通氣套上設置有第二通氣孔。所述導套帶外螺紋，導套上有一個與設置于管體的第一通氣孔同心的通孔。所述可拆卸的通氣套通過導套上的外螺紋與導套連接。本發明具有如下優點
該發明可在設備維護時候不需要完全拆除特氣管，便可以解決噴頭堵塞的問題； S該發明噴頭與特氣管采用螺紋連接，密封性好，更換方便；
③由于本發明的應用，特氣管堵塞的時候不需要拆除清洗，因此不會因用酸清洗腐蝕特氣管而影響壽命；設備維護時只需更換該發明的可拆噴頭即可，所以大大降低了特氣管的采購成本。


圖1是本發明使用狀態圖。圖2是本管體結構圖。圖3是管體安裝導套后的結構圖。圖4是通氣套結構圖。
具體實施例方式如圖1-2所示，在管體1上焊接有導套3，導套3上有一可拆卸的通氣套4。所述可拆卸的通氣套4上設置有第二通氣孔5。所述導套3帶外螺紋，導套3上有一個與設置于管體1的第一通氣孔2同心的通孔。所述可拆卸的通氣套4通過導套3上的外螺紋與導套3連接。目前市場上所使用的特氣管在拆除、清洗的時候十分不便，而本發明在使用過程中或者設備維護過程中若可拆通氣套4被沉積的氮化硅堵塞，只需卸下該通氣套4，而不需要完全更換掉整個特氣管，縮短了設備維護成本與時間。
權利要求
1.噴頭可拆式特氣管，包括管體(1)，其特征是管體(1)上焊接有導套(3)，導套(3) 上有一可拆卸的通氣套(4)。
2.根據權利要求1所述噴頭可拆式特氣管，其特征是所述可拆卸的通氣套(4)上設置有第二通氣孔(5)。
3.根據權利要求1或2所述的噴頭可拆式特氣管，其特征是所述導套(3)帶外螺紋， 導套(3)上有一個與設置于管體(1)的第一通氣孔(2)同心的通孔。
4.根據權利要求3所述噴頭可拆式特氣管，其特征是所述可拆卸的通氣套(4)通過導套(3)上的外螺紋與導套(3)連接。
全文摘要
本發明涉及一種特氣管，具體地說是一種可拆噴頭的特氣管，屬于PECVD鍍膜技術領域。按照本發明提供的技術方案，所述噴頭可拆式特氣管，包括管體，其特征是管體上焊接有導套，導套上有一可拆卸的通氣套。所述可拆卸的通氣套上設置有第二通氣孔。本發明可在設備維護時候不需要完全拆除特氣管，便可以解決噴頭堵塞的問題；其噴頭與特氣管采用螺紋連接，密封性好，更換方便；特氣管堵塞的時候不需要拆除清洗，因此不會因用酸清洗腐蝕特氣管而影響壽命。設備維護時只需更換該發明的可拆噴頭即可，大大降低了特氣管的采購成本。
文檔編號C23C16/455GK102345113SQ20111033752
公開日2012年2月8日 申請日期2011年10月31日 優先權日2011年10月31日
發明者代寧, 尤耀明, 李文虎 申請人:無錫綠波新能源設備有限公司