專利名稱:一種晶體加工平磨料臺的制作方法
技術領域:
本發明屬于晶體加工技術領域,特別是涉及晶體平面磨裝置。
背景技術:
晶體平面磨時,易出現崩邊、裂紋等多種問題,現有技術的平面磨只能夠一次磨一錠晶體,且加工粗糙,工作效率和質量都很難提高。
發明內容
本發明要解決的技術問題是克服現有平磨效率低、質量差的缺陷,提供了一種簡單、使用方便的平磨料臺。為了解決上述技術問題,本發明提供了如下的技術方案
一種晶體加工平磨料臺,在所述平磨料臺上設有多個圓柱形的、與晶體大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的側壁和/或底部上設有緩沖層,側壁上設頂緊裝置。進一步地,所述緩沖層為橡膠墊,所述頂緊裝置為頂緊螺絲。晶體平磨是加工晶體時最重要的一步,在平磨晶體開始時,首先將此平磨料臺平放到固定面上,晶體放置在料臺上的凹槽內,根據晶體直徑大小調節頂緊料臺的頂緊裝置至夾緊晶體,即可進行平磨加工。凹槽的側壁和底部上設有緩沖層可以起到減震效果,側壁的緩沖層還可以防止頂緊裝置劃損晶體,從而減少晶體破裂的可能。通過此料臺的加工,可以得到平整、完整的單晶,晶體的角度可以是0°到8°。
附圖用來提供對本發明的進一步理解,并且構成說明書的一部分,與本發明的實施例一起用于解釋本發明,并不構成對本發明的限制。在附圖中
圖I是本發明平磨料臺的主視圖2是圖I的料臺的俯視圖3是圖I的料臺的左視圖4是圖I的凹槽的剖面圖。
具體實施例方式以下結合附圖對本發明的優選實施例進行說明,應當理解,此處所描述的優選實施例僅用于說明和解釋本發明,并不用于限定本發明。如圖1-4所示,一種晶體加工平磨料臺,在所述平磨料臺I上設有多個圓柱形、與晶體大小匹配的凹槽2,所述凹槽的側壁和底部上設有緩沖層橡膠墊(圖未示)和頂緊螺絲 3。實施例I :
所述凹槽為3個,將相應大小的、未加工的碳化硅晶體放到本發明的凹槽內,根據晶體大小調整緩沖層和頂緊螺絲,直至晶體平整和牢固,然后上平面磨床待磨,待加工完畢后, 便會得到三塊平整度極好的完整晶體。實施例2:
所述凹槽為3個,將相應大小的、未加工的藍寶石晶體放到本發明的凹槽內,根據晶體大小調整緩沖層和頂緊螺絲,直至晶體平整和牢固,然后上平面磨床待磨,待加工完畢后, 便會得到三塊平整度極好的完整晶體。最后應說明的是以上所述僅為本發明的優選實施例而已,并不用于限制本發明, 盡管參照前述實施例對本發明進行了詳細的說明,對于本領域的技術人員來說,其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改,或者對其中部分技術特征進行等同替換。 凡在本發明的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發明的保護范圍之內。
權利要求
1.一種晶體加工平磨料臺,其特征在于在所述平磨料臺上設有多個圓柱形的、與晶體大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的側壁和/或底部上設有緩沖層,側壁上設頂緊裝置。
2.根據權利要求I所述的晶體加工平磨料臺,其特征在于所述緩沖層為橡膠墊。
3.根據權利要求I所述的晶體加工平磨料臺,其特征在于所述頂緊裝置為頂緊螺絲。
4.根據權利要求I或2或3所述的晶體加工平磨料臺,其特征在于所述晶體為碳化硅、藍寶石、磷化銦或氮化鎵。
全文摘要
一種晶體加工平磨料臺,屬于晶體加工技術領域,特別是涉及晶體平面磨裝置。在所述平磨料臺上設有多個圓柱形的、與晶體大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的側壁和/或底部上設有緩沖層,側壁上設頂緊裝置。在平磨晶體開始時,首先將此平磨料臺平放到固定面上,晶體放置在料臺上的凹槽內,再調節緩沖層和頂緊裝置至晶體牢固,即可進行平磨加工。通過此料臺的加工,可以得到平整、完整的單晶。
文檔編號B24B41/06GK102581762SQ20121009428
公開日2012年7月18日 申請日期2012年4月1日 優先權日2012年4月1日
發明者倪代秦, 吳星, 張世杰, 李旭明, 李闖, 賈海濤, 高鵬成 申請人:北京華進創威電子有限公司