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一種化學拋光液的制造方法與工藝

文檔序號:11664265閱讀:來源:國知局

技術特征:
1.一種化學拋光液,其特征在于,所述化學拋光液包括硫酸、磷酸、緩蝕劑和增稠劑;所述緩蝕劑與增稠劑的重量比為1∶(1-30),所述磷酸為85wt%磷酸,硫酸為98wt%硫酸,無需另外添加水分,所述緩蝕劑的含量為0.5-5g/L,所述增稠劑的含量為3-10g/L,所述磷酸與硫酸的體積比為(2-4)∶1。2.根據權利要求1所述的化學拋光液,其特征在于,所述緩蝕劑與增稠劑的重量比為1∶(2-20)。3.根據權利要求1所述的化學拋光液,其特征在于,所述緩蝕劑為硫脲、二鄰甲苯基硫脲、烯丙基硫脲、六次甲基四銨、鉬酸銨、鉻酸和硫酸鋅中的至少一種。4.根據權利要求1所述的化學拋光液,其特征在于,所述增稠劑為聚乙二醇和糊精中的一種或兩種。
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