金屬粉末的制造方法及其設備的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種金屬粉末的制造方法和設備，尤其是降低金屬粉末粒度的方法和設備。通過電極對介電材料和金屬粉末的混合物施加電壓，提高電壓使介電材料被擊穿，降低電壓使介電材料恢復絕緣狀態，利用放電，伴隨著能量和熱傳遞過程，使局部等離子體熔化、氣化；粉末被熔化、氣化，并在介電材料中被冷卻從而快速凝固，產生粒度更小的粉末。通過過濾使小粒度粉末濾出，通過控制過濾篩孔尺寸控制濾出粉末的粒度分布。通過更新介電材料以達到冷卻和維持介電材料絕緣特性的目的。通過震動介電材料和粉末的混合物以提高產出效率。
【專利說明】金屬粉末的制造方法及其設備
【技術領域】
[0001]本發明涉及粉末冶金，特別涉及一種金屬粉末的制造方法及其設備。
【背景技術】
[0002]金屬粉末，無論是高純度的單一金屬的粉末，還是合金粉末，其工業用途越來越多。例如，在航空領域，發動機的材料、飛行器的零件，或者在電力領域的熱交換器件，以及日用品、醫療器械等諸多領域，都有應用。
[0003]目前，金屬粉末的制造方法主要是霧化法、化學法、電解法和機器研磨法。
[0004]中國高溫合金粉末生產的主體工藝是等離子旋轉電極法(Plasma RotatingElectrode Process, PREP),由于該種方法的固有缺點，粉末粒度一般為50?150微米，殘留少數大尺寸的夾雜物，難以滿足高性能粉末高溫合金部件的要求。其他正在研究采用的是IS氣霧化(Argon Gas Atomization,AA)法,但細粉< 53微米收得率低,且霧化時接觸耐火材料造成粉末中夾雜物多的問題難以徹底解決。另外，等離子旋轉電極法要求將原料加工成棒形材料。
[0005]圖1是現有技術中一種金屬粉末制造裝置主要部分的示意圖。其主要包括:水收容槽1、金屬元素電極供應裝置2，高壓高電流放電用電源3、電極震動裝置4、水供給口 5、等離子水中放電后產生的金屬兀素分散液的排出口 6、金屬兀素電極7、以及金屬兀素電極的相對電極即其對極8。
[0006]圖1裝置中，對極8通常為碳電極。金屬元素電極7和其對極8之間使等離子放電，在水中通過等離子放電發生金屬的離子蒸氣，蒸氣和水接觸產生金屬分散液。再經過排出口 6后過濾收集得到金屬粉末。電極震動裝置4可防止溶著，并可控制分散量。
[0007]可以看出，圖1的方法和電解法類似，能夠產出微細的金屬粉末，但所需能耗高，產出效率低；并且很難適用于合金粉末的制造。
[0008]不同的工業用途，對金屬粉末的純度和粒度等指標的要求不同。
[0009]由于成本和技術等原因，在技術落后的地區，較多產出的金屬粉末粒度通常較大，例如從53微米直至10毫米，在此被稱為“粗粉”。而粒度在53微米左右及以下的粉末，在此被稱為“細粉”，則需要進口，或者通過生產成本較高的工藝流程獲得。需要說明的是，粗粉粒度的下限和細粉粒度的上限并非涇渭分明，粗和細是相對而言的，或者說粗和細是統計意義上的概念，即粗粉粒度的均值肯定高于細粉粒度的均值，但并非意味著粗粉中最小顆粒的粒度也一定大于細粉中最大顆粒的粒度。
[0010]此處，粗粉和細粉，統稱為“粉末”。
[0011]生產細粉的原材料，通常來自于被簡單加工的金屬，或者相同金屬的粗粉的再處理，這些材料，被加工或壓制成板形、棒形、或者線形，例如圖1裝置中金屬元素電極的形狀。因此，上述方法沒有發揮出粗粉已經形成的粒度形態的優勢，提高了用粗粉生產細粉的成本。可以看出，找到更高效的降低粉末粒度，使粉末細化，用粗粉制造細粉的方法和裝置，會對產業落后地區的產品和產業升級有益。
【發明內容】

[0012]本發明的目的在于提供一種金屬粉末的制造方法及其設備，在減小金屬粉末粒度時，降低成本提高產出效率。
[0013]為了解決上述技術問題，本發明提供一種金屬粉末的制造方法，包括:
[0014]通過電極對介電材料和金屬粉末的混合物施加電壓；
[0015]提高電極間的電壓，使其大于或者等于介電材料的擊穿電壓；
[0016]降低電極間的電壓，使其小于介電材料的擊穿電壓。
[0017]可選的，震動、攪動或吹動介電材料和金屬粉末的混合物。
[0018]進一步的，介電材料為液體、氣體、或液體與氣體的混合。
[0019]進一步的,介電材料是去離子水、液態惰性氣體或者其他絕緣液體；所述其他絕緣液體包括有機物液體，所述有機物液體包括酒精或汽油。
[0020]進一步的,持續更新介電材料。
[0021 ] 進一步的，過濾介電材料和金屬粉末的混合物，金屬粉末中其粒度小于等于過濾所允許的粒度的金屬粉末可以通過過濾。
[0022]進一步的，調節可以通過過濾得以濾出的粒度大小，控制濾出金屬粉末的粒度分布。
[0023]進一步的，所述過濾使用過濾材料包括聚四氟乙烯或其他絕緣材料。
[0024]進一步的，所述電壓為脈沖電壓。
[0025]所述脈沖電壓包括矩形脈沖、梯形脈沖、方波脈沖、尖脈沖、三角脈沖、鋸齒脈沖、階梯脈沖、或間歇正弦脈沖，或上述脈沖全部或部分的組合。
[0026]本發明所述脈沖，包括具有如下特征的任意波形，無論其是否連續，所述特征為，對于一設定值V，其波形包括從小于V到大于等于V的變化，以及從大于等于V到小于V的變化。
[0027]對于所述脈沖電壓，設定所述設定值V，其特征包括設定V為擊穿介電材料所需的電壓值，即擊穿電壓。
[0028]進一步的，所述脈沖電壓的峰值范圍在50伏特至10000伏特之間，脈沖頻率范圍在100赫茲至100000赫茲之間。
[0029]進一步的，所述電極為金屬或碳，或其他任何可作為電極的材料構成。
[0030]進一步的，所述電極為板形、線形、曲面形、點形、網形、或短接的多點形，或上述形狀的組合。
[0031]進一步的，所述金屬為由一種金屬構成、和/或為多種金屬的混合、和/或為上述金屬或多種金屬的合金。
[0032]進一步的，所述金屬其元素包括鈦、鋯、鍺、錫、金、銀、鉬、鎳、鈷、鐵等，或上述金屬的全部或部分，或包含上述金屬元素的合金。
[0033]根據本發明的另一方面，提供了一種制造金屬粉末的設備，包括:
[0034]電源模塊、電極及其對極、過濾裝置、反應容器、濾出容器、震動裝置、介電材料更新裝置、填料裝置；
[0035]所述電源模塊分別與電極及其對極相連，并提供脈沖電壓，所述提供的電壓的峰值高于所使用介電材料的擊穿電壓；
[0036]所述電極與電源模塊相連，屬于反應容器的一部分，或者位于反應容器的內部；
[0037]所述對極與電源模塊相連，屬于反應容器的一部分，或者位于反應容器的內部；
[0038]過濾裝置，屬于反應容器的一部分，介電材料和小于過濾裝置所允許粒度的金屬粉末可以通過過濾裝置從反應容器到達濾出容器，而大于過濾裝置所允許粒度的金屬粉末則無法通過過濾裝置；
[0039]反應容器，包含有過濾裝置，或進一步包含電極和/或對極的容器，用于收納介電材料和金屬粉末的混合物；
[0040]濾出容器，為介電材料和金屬粉末從反應容器通過過濾裝置所到達的容器，其內部收納了介電材料和粒度可以通過過濾裝置的金屬粉末的混合物；
[0041]震動裝置，與反應容器相連或者位于反應容器內部,用于震動、攪動、和/或吹動介電材料和金屬粉末的混合物；所述震動，為震動裝置直接與反應容器相連，使反應容器震動；所述攪動或吹動為震動裝置位于反應容器內部，直接攪動或吹動介電材料和粉末的混合物；震動裝置可以進一步同時提供震動、攪動或吹動中的多種方式；
[0042]介電材料更新裝置用于更新或者循環介電材料，進而使反應容器和/或濾出容器中的介電材料被更換；
[0043]填料裝置用于向反應容器中添加金屬粉末；所述金屬粉末為生產低粒度金屬粉末的原料，或者說是粗粉。
[0044]進一步的，電源模塊所提供的脈沖電壓包括矩形脈沖、梯形脈沖、方波脈沖、尖脈沖、鋸齒脈沖、階梯脈沖、或間歇正弦脈沖，或上述脈沖全部或部分的組合。
[0045]進一步的，電源模塊所提供脈沖電壓的峰值范圍在50伏特至10000伏特之間，脈沖頻率范圍在100赫茲至100000赫茲之間。
[0046]進一步的，所述電極和其對極為金屬或碳，或其他任何可作為電極的材料構成。
[0047]進一步的，所述電極和其對極為板形、線形、曲面形、點形、網形、或短接的多點形。
[0048]與現有技術相比，本發明技術方案具有以下優點:
[0049]不同于現有技術，需要先將粗粉壓制成其他形狀后再進行生產的方法，本發明可以直接使用粗粉產生出細粉，節省成本；
[0050]與傳統工藝，如氬氣霧化、等離子旋轉電極霧化不同，本方案不改變最終粉末的化學組成，不降低產品的純度；
[0051 ] 與傳統工藝，如電解法，只是在電極的表面進行氣化或熔化不同，本方案中原料被熔化時是分散在一個立體空間內，這提高了反應效率，進而提高了生產率，降低了能耗和成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0052]圖1是現有技術中一種制造金屬粉末的裝置主要部分的示意圖。
[0053]圖2是本發明提供的一種制造金屬粉末的制造方法的流程示意圖。
[0054]圖3是本發明提供的一種制造金屬粉末的制造設備主要部分的示意圖。
【具體實施方式】[0055]下面參照附圖對本發明進行更全面的描述，其中說明本發明的示例性實施例。本發明的示例性實施例及其說明用于解釋本發明，但并不構成對本發明的不當限定。
[0056]以下對至少一個示例性實施例的描述實際上僅僅是說明性的，決不作為對本發明及其應用或使用的任何限制。
[0057]本發明解決的問題是減小金屬粉末粒度時，例如直接用金屬粗粉生產細粉，降低成本提高產出效率的問題。
[0058]實施例一
[0059]參見圖2，其是本發明提供的一種制造金屬粉末的制造方法的流程示意圖。
[0060]—種制造金屬粉末的生產方法,包括:
[0061]通過電極對介電材料和金屬粉末的混合物施加電壓；
[0062]提高電極間的電壓，使介電材料被擊穿；以及
[0063]降低電極間的電壓到介電材料擊穿電壓以下。
[0064]介電材料是電介質，當外電場不強時，電介質只被極化，不影響其絕緣性能。當其處于很強的外電場中時，電介質變為導電材料。當施加在電介質上的電壓增加到一定值時，使電介質失去絕緣性的現象被稱為擊穿。被擊穿的瞬間會發生類似于雪崩的效應，電流瞬時變大。電介質所能承受的不被擊穿的最大場強是擊穿場強，擊穿時兩極間的電壓被稱為擊穿電壓。不同的介電材料的擊穿電壓是不同的，可以通過實驗方法獲得。
[0065]與氣體和液體電介質相比，固體電介質擊穿后在材料中留下不可恢復的痕跡，如熔化的通道。擊穿的形式包括熱擊穿、電擊穿、不均勻介質局部放電引起的電化學擊穿。
[0066]在本發明的方法中，當介電材料被擊穿，會在介電材料和金屬粉末的混合物中形成放電通道，伴隨著能量和熱傳遞過程，使局部等離子體熔化、氣化；粉末被熔化、氣化產出細粉，并在介電材料中被冷卻從而快速凝固。
[0067]在介電材料首次被擊穿之前，與介電材料混合金屬粉末為金屬粗粉，隨著持續的介電材料被擊穿與恢復，粗粉逐漸變成細粉。
[0068]可以看出，電極的形態能夠影響到粗粉到細粉的產出效率，即降低金屬粉末粒度的轉換效率。如果電極及其對極都只是一個點，那么一次可能只是形成一條擊穿通路，在此通路上的金屬粗粉被細粉化，這時效率很低。因此，面、線、甚至是多點的電極形態的效率會與單一的點電極的效率不同。
[0069]通過實驗的方法，嘗試不同形態的電極，能夠找出更優的電極形態提高生產效率。
[0070]另外，介電材料有多種選擇，不同的材料的擊穿電壓不同，而且其與金屬粉末分離的工藝也可能不同，并且介電材料還會殘留到最終產出的金屬粉末中，對最終產品的化學成分帶來輕微的影響，這些都可以作為介電材料選擇的考慮因素。
[0071]所述金屬其元素包括鈦、鋯、鍺、錫、金、銀、鉬、鎳、鈷、鐵等，或上述金屬的全部或部分，或包含上述金屬元素的合金。即本發明所提供金屬粉末的制造方法，可以以單一元素的金屬為原料，也可以以多種金屬材料的混合為原料，也可以以合金或者多種合金的混合為原料。
[0072]實施例二
[0073]實施例二與實施例一的不同之處在于，在電極間施加脈沖電壓。脈沖電壓包括矩形脈沖、梯形脈沖、方波脈沖、尖脈沖、鋸齒脈沖、階梯脈沖、或間歇正弦脈沖，或上述脈沖全部或部分的組合。
[0074]適當的脈沖電壓波形具備從低到高再從高到低的變化，則在脈沖變化的瞬間，完成了介電材料被擊穿，粗粉被熔化，介電材料從擊穿恢復到絕緣狀態，氣化或熔化的金屬粉末被冷卻并凝固成細粉等過程。
[0075]周期性的脈沖電壓則持續產出細粉。
[0076]可以看出，不同形狀、峰值、頻率的脈沖電壓，其效果是不同的。例如，超過擊穿電壓的梯形脈沖的峰值會持續一段時間，而超過擊穿電壓的尖脈沖的峰值持續時間則更短，兩者的生產效果會不同。前者的擊穿通路持續時間長于后者，則金屬被熔化、氣化的程度會不同。脈沖電壓的頻率，這里是指一秒鐘，脈沖波形出現的次數。
[0077]通過實驗的方法，可以對比找出更優的脈沖電壓的波形、電壓峰值、脈沖頻率等參數。
[0078]本發明所述脈沖，包括具有如下特征的任意波形，無論其是否連續，所述特征為，對于一設定值V，其波形包括從小于V到大于等于V的變化，以及從大于等于V到小于V的變化。這一點和通常數學所理解的脈沖有所不同。
[0079]假設，所使用的介電材料的擊穿電壓為100伏特，那么任意電壓波形，只要包括一次從小于100到大于等于100的變化，以及一次從大于等于100到小于100的變化這兩個特征，即可認為是一次脈沖，而無論所述電壓波形其他部分的形狀如何。例如，一個電壓，其波形為周期進行如下變化，從10伏特到90伏特，再到20伏特，再到110伏特，再到105伏特，再到120伏特，再返回10伏特，那么，在本發明中，雖然這是一個連續電壓的波形，但依然可以認為這是一次脈沖。
[0080]實施例三
[0081 ] 實施例三與實施例一至實施例二的區別在于，過濾介電材料和金屬粉末的混合物，濾出金屬粉末中其粒度能夠通過過濾的金屬粉末，濾出的金屬粉末粒度相對于原料的粒度減小，細化后的金屬粉末與原料分離，從而獲得細粉；而粗粉則無法被濾出。通過調節過濾參數，例如可以濾過的粉末粒度的尺寸，可以控制產出粉末的粒度分布。
[0082]實施例四
[0083]實施例四與實施例一至實施例三的區別在于，持續更新介電材料。
[0084]由于介電材料被不斷的擊穿和恢復，混合與其中的金屬粉末被熔化、氣化。則介電材料的溫度會提高，不利于金屬材料的冷卻和凝固；另外，金屬細粉所占比重越來越大，金屬之間分布越來越密，并且被介電材料擊穿的次數越來越多，最終會降低介電材料的絕緣特性，提高了功耗。因此，伴隨著粗粉變成細粉，需要持續的更新替換介電材料，以降低介電材料的溫度，保持其未被擊穿時的絕緣特性，并且利于金屬粉末和介電材料的混合均勻，以及細粉的濾出。
[0085]實施例五
[0086]實施例五與實施例一至實施例四的區別在于,震動、攪動或吹動介電材料和金屬粉末的混合物。
[0087]上述操作的目的是時金屬粉末和介電材料的混合更加均勻，以及避免或減少被熔化后氣化的金屬元素重新粘到其他金屬粉末上；并且利于金屬細粉的冷卻、凝固，以及濾出。[0088]實施例六
[0089]實施例六提供了 一種實施上述金屬粉末制作方法的設備。
[0090]參見圖3，其為所述制造金屬粉末的制造設備主要部分的示意圖，所述設備包括:電源模塊21、電極22及其對極23、過濾裝置24、反應容器25、濾出容器26、震動裝置27、介電材料更新裝置28、填料裝置29。
[0091]所述電源模塊21分別與電極22及其對極23相連，并提供脈沖電壓，所述提供的電壓的峰值高于所使用介電材料的擊穿電壓。
[0092]所述電極22與電源模塊21相連，屬于反應容器25的一部分，或者位于反應容器25的內部。
[0093]所述對極23與電源模塊21相連,屬于反應容器25的一部分,或者位于反應容器25的內部。
[0094]所述過濾裝置24，屬于反應容器25的一部分，介電材料和細粉可以通過過濾裝置24從反應容器25到達濾出容器26，而粗粉則無法通過過濾裝置24。
[0095]所述反應容器25，包含有過濾裝置24，或進一步包含電極22和/或對極23的容器，用于收納介電材料和金屬粉末的混合物。
[0096]所述濾出容器26，為介電材料和細粉從反應容器25通過過濾裝置24所到達的容器，其內部收納了介電材料和細粉的混合物。
[0097]所述震動裝置27,與反應容器25相連或者位于反應容器25內部,用于震動、攪動或吹動介電材料和金屬粉末的混合物；所述震動，為震動裝置直接與反應容器25相連，使反應容器25震動；所述攪動或吹動為震動裝置位于反應容器25內部,直接攪動或吹動介電材料和粉末的混合物；震動裝置27可以進一步同時提供震動、攪動或吹動中的多種方式。
[0098]所述介電材料更新裝置28用于更新或者循環介電材料，進而使反應容器25中的介電材料被更換，因此介電材料更新裝置28與濾出容器26和/或反應容器25相連。另外，顯而易見，介電材料更新裝置28還應該與外部介電材料源，尤其是經過介電材料和細粉分離冷卻后，循環回來的介電材料源相連，使介電材料被循環使用。
[0099]所述填料裝置29用于向反應容器中添加金屬粉末，即用于生產金屬細粉的粗粉。
[0100]所述反應容器25和/或濾出容器26可以是球體、箱體或槽體。電極22和其對極23，可以構成反應容器25其中的兩個區域，例如箱體或槽體中兩個相對面，或者放置于反應容器25的內部。
[0101]所述反應容器25與濾出容器26之間通過過濾裝置24相連，因此，可以認為過濾裝置24是反應容器25的一部分；甚至可以認為是反應容器25和濾出容器26的共同部分。
[0102]所述反應區域30位于反應容器25內部，是介電材料被擊穿等反應的空間區域；濾出區域31位于濾出容器26內部，是反應區域30內的細粉通過過濾裝置24后到達的區域。
[0103]當然，介電材料和細粉可以由反應區域30到達濾出區域31，也可能由濾出區域31通過過濾裝置24到達反應區域30。因此，過濾裝置24可以位于反應容器25的底部，以便金屬粉末受到重力作用，更多地從反應區域30到達濾出區域31，而非反向。而介電材料則可以通過過濾裝置24，從濾出區域31到達反應區域30，實現介電材料的更新，也可以由介電材料更新裝置28于反應容器25相連，直接向反應容器25內灌送介電材料。
[0104]通過調節過濾裝置24的過濾參數，例如過濾篩孔的尺寸，可以控制產出細粉的粒度分布。例如，使用篩孔尺寸為53微米的篩網，則獲得的金屬細粉的粒度小于等于53微米；如果更換篩網，其篩孔尺寸為40微米，則獲得的細粉粒度小于等于40微米。
[0105]顯而易見，若要獲得最終的細粉產品，還需要從濾出容器26內的介電材料和細粉混合物中將細粉分離出來。這可以采用現有技術，例如類似于圖1的排出口 6，將介電材料和細粉混合物傳輸到相應的分離設備。
[0106]而對于球體、箱體這樣相對封閉的反應容器25，填料裝置29可以與反應容器25相連，通過管道投放粗粉。
[0107]金屬粗粉在反應區域30，通過介電材料擊穿，等離子放電，冷卻凝固等過程，逐漸變成細粉；因此，反應容器25內的混合物，由介電材料和粗粉的混合,變成了介電材料和粗粉以及細粉的混合。反應區域30內細粉濃度越來越高，在震動、介電材料流動更新、和重力等輔助下，擴散到濾出區域31。
[0108]濾出區域的介電材料和細粉混合物被排出到分離裝置，使細粉與介電材料分離，介電材料被冷卻后通過介電材料更新裝置28的作用，循環投放到濾出容器26和反應容器25中。
[0109]采用本發明的方法和設備制造的金屬粉末，能夠有效減低粉末的粒度，細粉收得率高，粉粒球形度高，表面光滑，粒度分布窄，粒度分布可控。
[0110]雖然已經通過示例對本發明的一些特定實施例進行了詳細說明，但是本領域的技術人員應該理解，以上示例僅是為了進行說明，而不是為了限制本發明的范圍。本領域的技術人員應該理解，可在不脫離本發明的范圍和精神的情況下，對以上實施例進行修改。本發明的范圍由所附權利要求來限定。
【權利要求】
1.一種金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述方法包括: 通過電極對介電材料和金屬粉末的混合物施加電壓； 提高電極間的電壓，使其大于或者等于介電材料的擊穿電壓；以及 降低電極間的電壓，使其小于介電材料的擊穿電壓。
2.根據權利要求1所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述電壓為脈沖電壓。
3.根據權利要求2所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述脈沖電壓的峰值范圍在50伏特至10000伏特之間，脈沖頻率范圍在100赫茲至100000赫茲之間。
4.根據權利要求1所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述方法還包括: 震動、攪動或吹動介電材料和金屬粉末的混合物。
5.根據權利要求1或者4所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述方法還包括: 持續更新介電材料。
6.根據權利要求1、4或者5所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述介電材料是去離子水、液態惰性氣體或者其他絕緣液體；所述其他絕緣液體包括有機物液體；所述有機物液體包括酒精或汽油。
7.根據權利要求1或者4所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述方法還包括: 過濾介電材料和金屬粉末的混合物，金屬粉末中其粒度小于等于過濾所允許的粒度的金屬粉末通過過濾。
8.根據權利要求7所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，調節通過過濾得以濾出的粒度大小，控制濾出金屬粉末的粒度分布。
9.根據權利要求1、4、7或者8所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述金屬為由一種金屬構成、和/或為多種金屬的混合、和/或為上述金屬或多種金屬的合金。
10.根據權利要求9所述金屬粉末的制造方法，其特征在于，所述金屬其元素包括鈦、鋯、鍺、錫、金、銀、鉬、鎳、鈷、鐵等，或上述金屬的全部或部分，或包含上述金屬元素的合金。
11.一種制造金屬粉末的制造設備，其特征在于，包括: 電源模塊、電極及其對極、過濾裝置、反應容器、濾出容器、震動裝置、介電材料更新裝置、填料裝置； 所述電源模塊分別與電極及其對極相連，能夠提供的電壓的峰值高于所使用介電材料的擊穿電壓； 所述電極與電源模塊相連，屬于反應容器的一部分，或者位于反應容器的內部； 所述對極與電源模塊相連，屬于反應容器的一部分，或者位于反應容器的內部； 所述過濾裝置，屬于反應容器的一部分，介電材料和小于過濾裝置所允許粒度的金屬粉末通過過濾裝置從反應容器到達濾出容器，而大于過濾裝置所允許粒度的金屬粉末則無法通過過濾裝置； 所述反應容器，包含有過濾裝置，或進一步包含電極和/或對極的容器，用于收納介電材料和金屬粉末的混合物； 所述濾出容器，為介電材料和金屬粉末從反應容器通過過濾裝置所到達的容器，其內部收納了介電材料和粒度通過過濾裝置的金屬粉末的混合物； 所述震動裝置，與反應容器相連或者位于反應容器內部，用于震動、攪動、和/或吹動介電材料和金屬粉末的混合物；所述介電材料更新裝置用于更新或者循環介電材料，進而使反應容器和/或濾出容器中的介電材料被更換； 所述填料裝置用于向反應容器中添加金屬粉末。
12.根據權利要求11所述金屬粉末的制造設備，其特征在于，電源模塊所提供的電壓為脈沖電壓，所述脈沖電壓的峰值范圍在50伏特至10000伏特之間，脈沖頻率范圍在100赫茲至100000赫茲之間。
13.根據權利要求11所述金屬粉末的制造設備，其特征在于，所述金屬為由一種金屬構成、和/或為多種金屬的混合、和/或為上述金屬或多種金屬的合金。
14.根據權利要求13所述金屬粉末的制造設備，其特征在于，所述金屬其元素包括鈦、鋯、鍺、錫、金、銀、鉬、鎳 、鈷、鐵等，或上述金屬的全部或部分，或包含上述金屬元素的合金。
【文檔編號】B22F9/14GK103567455SQ201210269711
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年7月31日 優先權日:2012年7月31日
【發明者】于軍 申請人:蘇州魯信新材料科技有限公司