專利名稱：太陽能電池板式pecvd設備用基片的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池生產設備技術領域，特別是涉及一種太陽能電池板式PECVD設備用基片。
背景技術：
眾所周知，在多晶硅太陽能電池表面采用PEV⑶法鍍上一層氮化硅減反射膜，能夠減少太陽光的反射，增加電池對光線的吸收。減反射膜提高了對太陽光的利用率，有助于提高光生電流密度，起到提高電流進而提高轉化效率的作用。PEVCD (等離子體增強化學氣相沉積)是利用等離子體的特性來控制或影響氣相反應和材料表面的化學反應過程，并在適當的溫度(從室溫到500°C )下沉積薄膜。而現有太陽能電池板式PECVD設備用基片由于形狀復雜不規則，不具有一定規律性，制造加工難度也增大，互換性也差，進而導致該設備在鍍膜的過程中鍍膜均勻性差，影響電池片的光電轉換效率。 發明內容本實用新型要解決的技術問題就是克服上述現有技術的不足，而提供一種形狀規則，有規律性，外觀美觀，便于制造加工，降低生產成本，互換性強，同時能夠提高鍍膜均勻性，提高電池片光電轉換效率的太陽能電池板式PECVD設備用基片。為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為—種太陽能電池板式PECVD設備用基片，所述基片為長方體薄板,基片橫向一側邊部沿縱向設有一列上部為矩形下部為半圓形的組合凹槽，基片橫向的另一側靠近邊部沿縱向與組合凹槽相對應設有一列通孔，所述組合凹槽的寬度為al，通孔的直徑為a2，則al=a2，基片縱向的一側中部沿橫向依次設有矩形凹槽、等腰梯形凹槽、等腰三角形凹槽和直角梯形凹槽，所述矩形凹槽的深度為hl，等腰梯形凹槽的深度為h2，等腰三角形凹槽的深度為h3，直角梯形凹槽的深度為h4，則hi > h2 = h4 > h3。所述基片采用不銹鋼316制成。本實用新型技術方案的有益效果是I、在結構上，本實用新型太陽能電池板式PECVD設備用基片為長方體薄板，基片橫向一側邊部設有一列組合凹槽，另一側靠近邊部相應設有一列通孔，所述組合凹槽的寬度為al，通孔的直徑為a2，則al = a2，基片縱向的一側中部依次設有矩形凹槽、等腰梯形凹槽、等腰三角形凹槽和直角梯形凹槽，所述矩形凹槽的深度為hl，等腰梯形凹槽的深度為h2,等腰三角形凹槽的深度為h3，直角梯形凹槽的深度為h4，則hi > h2 = h4 > h3，整體和局部形狀均規則，有規律性，外觀美觀，容易加工制造，降低生產成本，而且互換性強。2、本實用新型由于形狀規則，有一定規律性，所以有助于鍍膜的均勻性，進而有利于提高電池片的光電轉換效率，非常適于推廣實施。附圖
及說明
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細的說明，其中[0013]圖I為現有技術太陽能電池板式PECVD設備用基片的結構示意圖；圖2為本實用新型太陽能電池板式PECVD設備用基片的結構示意圖；圖中序號1、組合凹槽，2、通孔，3、矩形凹槽，4、等腰梯形凹槽，5、等腰三角形凹槽，6、直角梯形凹槽。
具體實施方式
實施例參見圖I至圖6，圖中，本實用新型太陽能電池板式PECVD設備用基片，所述基片為長方體薄板，基片橫向一側邊部沿縱向設有一列上部為矩形下部為半圓形的組合凹槽1，基片橫向的另一側靠近邊部沿縱向與組合凹槽I相對應設有一列通孔2，所述組合凹槽I的寬度為al，通孔2的直徑為a2，則al = a2，基片縱向的一側中部沿橫向依次設有矩形凹槽3、 等腰梯形凹槽4、等腰三角形凹槽5和直角梯形凹槽6，所述矩形凹槽3的深度為hi，等腰梯形凹槽4的深度為h2，等腰三角形凹槽5的深度為h3，直角梯形凹槽6的深度為h4，則hi> h2 = h4 > h3 ;所述基片采用不銹鋼316制成。以上所述僅為本實用新型示意性的具體實施方式
，并非用以限定本實用新型的范圍，任何本領域的技術人員在不脫離本實用新型構思和原則的前提下所做出的等同變化與修改，均應屬于本實用新型保護的范圍。
權利要求1.一種太陽能電池板式PECVD設備用基片，其特征是所述基片為長方體薄板，基片橫向一側邊部沿縱向設有一列上部為矩形下部為半圓形的組合凹槽，基片橫向的另ー側靠近邊部沿縱向與組合凹槽相對應設有一列通孔，所述組合凹槽的寬度為al，通孔的直徑為a2，則al = a2，基片縱向的ー側中部沿橫向依次設有矩形凹槽、等腰梯形凹槽、等腰三角形凹槽和直角梯形凹槽，所述矩形凹槽的深度為hl，等腰梯形凹槽的深度為h2，等腰三角形凹槽的深度為h3，直角梯形凹槽的深度為h4，則hi > h2 = h4 > h3。
2.根據權利要求I所述的太陽能電池板式PECVD設備用基片，其特征是所述基片采用不銹鋼316制成。
專利摘要本實用新型涉及太陽能電池生產設備技術領域，特別是涉及一種太陽能電池板式PECVD設備用基片，所述基片為長方體薄板，基片橫向一側邊部沿縱向設有一列上部為矩形下部為半圓形的組合凹槽，基片橫向的另一側靠近邊部沿縱向與組合凹槽相對應設有一列通孔，所述組合凹槽的寬度為a1，通孔的直徑為a2，則a1＝a2，基片縱向的一側中部沿橫向依次設有矩形凹槽、等腰梯形凹槽、等腰三角形凹槽和直角梯形凹槽，所述矩形凹槽的深度為h1，等腰梯形凹槽的深度為h2，等腰三角形凹槽的深度為h3，直角梯形凹槽的深度為h4，則h1＞h2＝h4＞h3；所述基片采用不銹鋼316制成。本實用新型由于形狀規則，有一定規律性，所以有助于鍍膜的均勻性，進而有利于提高電池片的光電轉換效率，非常適于推廣實施。
文檔編號C23C16/458GK202643840SQ20122029503
公開日2013年1月2日 申請日期2012年6月21日 優先權日2012年6月21日
發明者蘇偉, 孫曉亮, 郭忠瑞, 劉長虹 申請人:河南義鑫威新能源科技有限公司