專利名稱：有機金屬微氣泡輸出裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型關于一種有機金屬微氣泡輸出裝置，特別是指一種能夠于氣體輸入時，能夠有機金屬溶液轉換為微小且均勻的微氣泡，并能夠抽出使用的有機金屬微氣泡輸出裝置。
背景技術：
一般，于基板上成長半導體薄膜，其中一種方法是有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD )，MOCVD成長薄膜時，主要將載流氣體通過有機金屬反應源的容器時，將反應源的飽和蒸氣帶至反應腔中與其它反應氣體混合，然后在被加熱的基板上面發生化學反應促成薄膜的成長。一般而言，載流氣體通常是氫氣，但是也有些特殊情況下采用氮氣。而MOCVD系統的組件可大致分為反應腔、氣體控制及混合系統、反應源及廢氣處理系統，其中該反應源可以分成兩種，第一種是有機金屬反應源，第二種是氫化物(Hydride)氣體反應源。有機金屬反應源儲藏在一個具有兩個聯外管路的密封不銹鋼罐(cylinder bubbler)內，在使用此金屬反應源時,貝U是將這兩個聯外管路各與MOCVD機臺的管路以VCR接頭緊密接合，載流氣體可以從其中一端流入，并從另外一端流出時將反應源的飽和蒸氣帶出，進而能夠流至反應腔。氫化物氣體則是儲存在氣密鋼瓶內，經由壓力調節器(Regulator)及流量控制器來控制流入反應腔體的氣體流量。由圖1中可知，該密封不銹鋼罐I中具有金屬反應源11，因此將載流氣體由一端的氣體管路2輸入時，將會使金屬反應源11中產生氣泡12，并由另一端的蒸氣管路3將飽和蒸氣抽出，而該密封不銹鋼罐I內部的處理將非常重要，當氣體轉換為蒸氣時，若是內部沒有進行過濾處理，其產生的泡泡非常不均勻，而輸出至反應腔時，將會導致所鍍制的薄膜不均勻的現象發生。
因此，若能夠使用一種有機金屬微氣泡輸出裝置，能夠于載流氣體進入有機金屬溶液(有機金屬反應源)時，進行過濾處理，以將有機金屬溶液與載流氣體混合形成的氣泡轉換為微小且均勻的微氣泡，如此應為一最佳解決方案。
發明內容本實用新型的目的在于，提供一種有機金屬微氣泡輸出裝置，其結構簡單，操作方便，能于有機金屬載具中，當氣體進入有機金屬溶液時，能夠進行過濾處理，以將有機金屬溶液與載流氣體混合形成的氣泡轉換為微小且均勻的微氣泡，由此實現泡泡的均勻，避免制造的缺陷，提聞廣品的優良率。為實現上述目的，本實用新型公開了一種有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于包含有一有機金屬載具，其具有一容置有機金屬溶液的溶液槽，且該有機金屬載具于頂部設有貫穿至該溶液槽的氣體輸入口、溶液輸入口及蒸氣排出口 ；一能將氣泡過濾為微小且均勻的微氣泡的過濾器，其設置于該溶液槽底部；以及[0010]一氣體輸送管體，該氣體輸送管體一端具有一閥口及一氣體輸入端，而該氣體輸送管體的另一端穿過該有機金屬載具的氣體輸入口，并與該過濾器相接觸從而由該氣體輸入端所注入的氣體通過該氣體輸送管體進入該溶液槽中并產生氣泡且氣泡則透過該過濾器過濾為微小且均勻的微氣泡。其中，更包含有一有機金屬溶液輸送管體，該有機金屬溶液輸送管體一端具有一溶液輸入端，而另一端插入該溶液輸入口以使由該溶液輸入端注入的有機金屬溶液流入該溶液槽中。其中，更包含有一蒸氣抽出管體，該蒸氣抽出管體一端具有一閥口及一蒸氣輸出端，而該蒸氣抽出管體的另一端插入該蒸氣排出口從而該蒸氣抽出管體抽出該溶液槽中包含微小且均勻的微氣泡的蒸氣后再由該蒸氣輸出端輸出。其中，該氣體輸送管體另一端與該過濾器表面相接觸。其中，該氣體輸送管體另一端穿入該過濾器中。其中于，該氣體輸送管體另一端穿出該過濾器。通過上述結構，本實用新型的有機金屬微氣泡輸出裝置，能夠于氣體進入有機金屬溶液時，進行過濾處理，以將有機金屬溶液與載流氣體混合形成的氣泡轉換為微小且均勻的微氣泡，因此當具有微小且均勻的微氣泡的蒸氣輸出至反應腔時，將能夠使鍍制的薄膜均勻分布。

圖1 :為習用有機金屬微氣泡輸出裝置的結構示意圖2 :為本實用新型有機金屬微氣泡輸出裝置的結構示意圖；圖3 :為本實用新型有機金屬微氣泡輸出裝置的氣泡產生實施例圖；圖4:為本實用新型有機金屬微氣泡輸出裝置的氣體輸送管體另一結構示意圖；以及圖5 :為本實用新型有機金屬微氣泡輸出裝置的氣體輸送管體另一結構示意圖。
具體實施方式
有關于本實用新型的前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。請參閱圖2及圖3，為本實用新型有機金屬微氣泡輸出裝置的結構示意圖及氣泡產生實施例圖，由圖中可知，該有機金屬微氣泡輸出裝置4包含有一有機金屬載具41、一過濾器42、一氣體輸送管體43、一蒸氣抽出管體44及一有機金屬溶液輸送管體45，其中該有機金屬載具41具有一容置有機金屬溶液的溶液槽411，而該有機金屬載具41于頂部設有貫穿至該溶液槽的氣體輸入口 412、溶液輸入口 413及蒸氣排出口 414，其中該過濾器42設置于該溶液槽411底部，用以將氣泡4112過濾為微小且均勻的微氣泡4113 ；而該有機金屬載具41的氣體輸入口 412連接有一氣體輸送管體43，該氣體輸送管體43 —端具有一閥口 431及一氣體輸入端432,而該氣體輸送管體43另一端穿過該氣體輸入口 412，并由端部433與該過濾器42相接觸，而由該氣體輸入端432所注入的氣體，能夠通過該氣體輸送管體43，進入該溶液槽411中，并于該溶液槽411的有機金屬溶液4111中產生氣泡4112，由于氣泡4112系于過濾器42底部或中間出現，因此能夠藉由該過濾器42將氣泡4112過濾為微小且均勻的微氣泡4113 ；而當要停止氣體輸入時，則能夠轉動關上該氣體輸送管體43的閥口 431，以禁止該氣體輸入端432所注入的氣體進入該溶液槽411中，而再度轉開該閥口 431時，則能夠使該氣體輸入端432所注入的氣體能夠繼續輸入該溶液槽411中。經過氣體輸入后，溶液槽411中將會產生蒸氣，且蒸氣中將會包含了被過濾的微小且均勻的微氣泡4113，該有機金屬載具41的蒸氣排出口 414連接有一蒸氣抽出管體44，該蒸氣抽出管體44 一端具有一閥口 441及一蒸氣輸出端442，而該蒸氣抽出管體44另一端插入該蒸氣排出孔414，并由該蒸氣抽出管體44抽出該溶液槽411中包含微小且均勻的微氣泡4113的蒸氣后，再由該蒸氣輸出端442輸出；而當要停止抽取蒸氣時，則能夠轉動關上該蒸氣抽出管體44的閥口 441，以禁止該蒸氣抽出管體44繼續抽取蒸氣，反之，當再度轉開該閥口 441時，則能夠使繼續抽取蒸氣。另外，該有機金屬載具41的溶液輸入口 413系連接有該有機金屬溶液輸送管體45，該有機金屬溶液輸送管體45 —端具有一溶液輸入端451，而另一端插入該溶液輸入口413，因此當要補充該有機金屬載具41中的有機金屬溶液4111時，則能夠由該溶液輸入端451注入的有機金屬溶液4111，并透過該有機金屬溶液輸送管體45將有機金屬溶液4111流入該溶液槽411中。另外，如圖2所示，該氣體輸送管體43另一端與該過濾器42表面相接觸，除此之夕卜，亦能夠如圖4所示,將該氣體輸送管體43另一端穿入該過濾器42中，并使該氣體輸送管體43另一端位于該過濾器42中，如圖5所示，亦或能夠將氣體輸送管體43另一端穿出該過濾器42，亦可達到過濾氣泡的效果。本實用新型所提供的`有機金屬微氣泡輸出裝置，與其他習用技術相互比較時，更具備下列優點本實用新型使用一種有機金屬微氣泡輸出裝置，能夠于氣體進入有機金屬溶液時，進行過濾處理，以將有機金屬溶液與載流氣體混合形成的氣泡轉換為微小且均勻的微氣泡，因此當具有微小且均勻的微氣泡的蒸氣輸出至反應腔時，將能夠使鍍制的薄膜均勻分布。藉由以上較佳具體實施例的詳述，系希望能更加清楚描述本實用新型的特征與精神，而并非以上述所揭露的較佳具體實施例來對本實用新型的范疇加以限制。相反地，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排于本實用新型所欲申請的專利范圍的范疇內。
權利要求1.一種有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于，包含有 一有機金屬載具，其具有一容置有機金屬溶液的溶液槽，且該有機金屬載具于頂部設有貫穿至該溶液槽的氣體輸入口、溶液輸入口及蒸氣排出口 ； 一能將氣泡過濾為微小且均勻的微氣泡的過濾器，其設置于該溶液槽底部；以及 一氣體輸送管體,該氣體輸送管體一端具有一閥口及一氣體輸入端,而該氣體輸送管體的另一端穿過該有機金屬載具的氣體輸入口，并與該過濾器相接觸從而由該氣體輸入端所注入的氣體通過該氣體輸送管體進入該溶液槽中并產生氣泡且氣泡則透過該過濾器過濾為微小且均勻的微氣泡。
2.如權利要求1所述的有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于，更包含有一有機金屬溶液輸送管體,該有機金屬溶液輸送管體一端具有一溶液輸入端,而另一端插入該溶液輸入口以使由該溶液輸入端注入的有機金屬溶液流入該溶液槽中。
3.如權利要求1所述的有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于，更包含有一蒸氣抽出管體，該蒸氣抽出管體一端具有一閥口及一蒸氣輸出端，而該蒸氣抽出管體的另一端插入該蒸氣排出口從而該蒸氣抽出管體抽出該溶液槽中包含微小且均勻的微氣泡的蒸氣后再由該蒸氣輸出端輸出。
4.如權利要求1所述的有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于，該氣體輸送管體另一端與該過濾器表面相接觸。
5.如權利要求1所述的有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于，該氣體輸送管體另一端穿入該過濾器中。
6.如權利要求1所述的有機金屬微氣泡輸出裝置，其特征在于，該氣體輸送管體另一端穿出該過濾器。
專利摘要一種有機金屬微氣泡輸出裝置，至少包含一具有氣體輸入口、溶液輸入口及蒸氣排出口的有機金屬載具、一過濾器及一穿過該氣體輸入口并與該過濾器相接觸的氣體輸送管體，其中該有機金屬載具具有一容置有機金屬溶液的溶液槽，該有機金屬載具于頂部設有貫穿至該溶液槽的氣體輸入口、溶液輸入口及蒸氣排出口，而該過濾器設置于該溶液槽底部，因此當由該氣體輸送管體注入氣體時，氣體能夠進入該溶液槽中，并產生氣泡，而氣泡則透過該過濾器過濾為微小且均勻的微氣泡，最后再由該蒸氣排出口將微小且均勻的微氣泡抽出。
文檔編號C23C16/448GK202898533SQ201220622078
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月21日 優先權日2012年11月21日
發明者王瑞恭 申請人:王瑞恭