真空蒸發(fā)裝置制造方法
【專利摘要】一種真空蒸發(fā)裝置包括：驅(qū)動(dòng)單元；線性移動(dòng)部，連接至所述驅(qū)動(dòng)單元以線性移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部，連接至所述線性移動(dòng)部以旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；以及遮板部，連接至所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部以樞轉(zhuǎn)。
【專利說明】真空蒸發(fā)裝置
[0001]相關(guān)專利申請(qǐng)的交叉引用
[0002]于2013年3月14日向韓國專利局提交的題為“VACUUM EVAPORATING APPARATUS(真空蒸發(fā)裝置)”的第10-2013-0027487號(hào)韓國專利申請(qǐng)的全部內(nèi)容通過引用被并入本文。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本申請(qǐng)涉及真空蒸發(fā)裝置。

【背景技術(shù)】
[0004]基于移動(dòng)性的電子裝置已經(jīng)被廣泛使用。作為移動(dòng)電子裝置，平板型個(gè)人計(jì)算機(jī)(PO和小型電子裝置(諸如，移動(dòng)電話)已經(jīng)被廣泛使用。
[0005]為了支持各種功能，移動(dòng)電子裝置包括用于向用戶提供靜止或移動(dòng)的圖像的視覺信息的顯示器。由于使用于驅(qū)動(dòng)顯示器的部件小型化的趨勢(shì)，更多的注意力被放在電子裝置的顯示器上。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]實(shí)施方式涉及一種真空蒸發(fā)裝置，其包括:驅(qū)動(dòng)單元；線性移動(dòng)部，連接至所述驅(qū)動(dòng)單元以線性移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部，連接至所述線性移動(dòng)部以旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；以及遮板部，連接至所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部以樞轉(zhuǎn)。
[0007]所述驅(qū)動(dòng)單元可為具有可變長度的致動(dòng)器。
[0008]所述真空蒸發(fā)裝置還可包括:固定部，所述遮板部被安裝在所述固定部中以樞轉(zhuǎn)并且所述線性移動(dòng)部連接至所述固定部以滑動(dòng)。
[0009]所述真空蒸發(fā)裝置還可包括:第一引導(dǎo)件，位于所述固定部與所述線性移動(dòng)部之間以引導(dǎo)所述線性移動(dòng)部的滑動(dòng)。
[0010]所述線性移動(dòng)部可包括:移動(dòng)部，與所述驅(qū)動(dòng)單元連接以線性移動(dòng)；傳遞部，與所述移動(dòng)部連接；以及移動(dòng)塊，與所述傳遞部連接。
[0011]所述旋轉(zhuǎn)部可包括正齒輪。所述移動(dòng)塊包括齒條，所述齒條隨同所述旋轉(zhuǎn)部一起操作。
[0012]所述旋轉(zhuǎn)部可包括:第一旋轉(zhuǎn)部，與所述線性移動(dòng)部連接以在所述線性移動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)期間旋轉(zhuǎn)；以及第二旋轉(zhuǎn)部，與所述第一旋轉(zhuǎn)部和所述遮板部連接，所述第二旋轉(zhuǎn)部將所述第一旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)傳遞至所述遮板部。
[0013]所述遮板部的表面可以是絲網(wǎng)形式。
[0014]所述遮板部可包括:第一遮板體部；以及第二遮板體部，從所述第一遮板體部彎曲。
[0015]所述遮板部可包括:加固肋，與所述第一遮板體部和所述第二遮板體部連接。
[0016]所述真空蒸發(fā)裝置還可包括位于所述線性移動(dòng)部中的第一減震部。
[0017]所述第一減震部包括位于所述線性移動(dòng)部中的第一固定支架和固定于所述第一固定支架中的第一減震構(gòu)件。
[0018]所述真空蒸發(fā)裝置還可包括與所述線性移動(dòng)部間隔開的第二減震部。
[0019]所述第二減震部可包括:第二固定支架，固定在所述第二減震部的外部；以及第二減震構(gòu)件，位于所述第二固定支架中。
[0020]所述真空蒸發(fā)裝置還可包括第二引導(dǎo)件，所述第二引導(dǎo)件位于所述線性移動(dòng)部中以引導(dǎo)所述線性移動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]通過參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，特征將變得更加顯而易見，在附圖中:
[0022]圖1是示出了根據(jù)實(shí)施方式的真空蒸發(fā)裝置的立體視圖；以及
[0023]圖2是示出了圖1的A部分的局部放大立體視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]參考附圖根據(jù)下面的詳細(xì)描述，實(shí)施方式將變得顯而易見。然而，公開的實(shí)施方式可以各種不同的形式實(shí)現(xiàn)。實(shí)施方式被提供以使公開完整并且允許本領(lǐng)域技術(shù)人員完全理解由權(quán)利要求限定的本發(fā)明范圍。文中所用的詞語僅用于本發(fā)明概念的說明目的并且不應(yīng)該被解釋為限制本發(fā)明的意義和范圍。如在本說明書中所使用的，單數(shù)形式可包括復(fù)數(shù)形式，除非明確根據(jù)上下文指示特殊的情況。而且，本說明書中所使用的表達(dá)“包括(comprise)”和/或“包括(comprising)”既不限定所提到的部件、步驟、操作和/或元件，也不排除一個(gè)或多個(gè)其它部件、步驟、操作和/或元件的存在或附加、或它們的附加。如本文所使用的，諸如“第一”、“第二”等的詞語用于描述各種部件，但是部件不應(yīng)該由這些詞語限定。詞語僅用于區(qū)分一個(gè)部件與其它部件。
[0025]圖1是示出了根據(jù)實(shí)施方式的真空蒸發(fā)裝置100的立體視圖；以及圖2是示出了圖1的A部分的局部放大立體視圖。
[0026]參考圖1和圖2，真空蒸發(fā)裝置100包括腔室(未示出)，腔室的內(nèi)部空間被保持在真空狀態(tài)。真空蒸發(fā)裝置100還可包括用于加熱和噴射蒸發(fā)材料的源單元(未示出)和安裝有源單元的反射器111。
[0027]真空蒸發(fā)裝置100可包括側(cè)單體附接板112，側(cè)單體附接板112與反射器111連接。真空蒸發(fā)裝置100還可包括角度限制板113，角度限制板113安裝在源單元之間以限制從源單元噴射的蒸發(fā)材料的噴射角度。真空蒸發(fā)裝置100還可包括固定框架114，固定框架114被牢固地安裝在腔室內(nèi)。
[0028]真空蒸發(fā)裝置100可包括安裝在腔室內(nèi)的氣箱(未示出)。真空蒸發(fā)裝置100還可包括安裝在氣箱內(nèi)的驅(qū)動(dòng)單元130。氣箱可被保持在大氣壓狀態(tài)，并且驅(qū)動(dòng)單元130可包括具有可變長度的致動(dòng)器(例如，汽缸131)。具體地，驅(qū)動(dòng)單元130可包括在氣壓或液壓下操作的汽缸131和安裝在汽缸131以線性移動(dòng)的軸132。在其它實(shí)現(xiàn)中，驅(qū)動(dòng)單元130可包括具有可變長度且能夠線性移動(dòng)其它裝置或?qū)ο蟮娜魏谓Y(jié)構(gòu)。然而，為了方便起見，基于驅(qū)動(dòng)單元130包括在液壓下操作的汽缸131和軸132的情況進(jìn)行下面的描述。
[0029]真空蒸發(fā)裝置100可包括線性移動(dòng)部140，線性移動(dòng)部140隨同驅(qū)動(dòng)單元130移動(dòng)。真空蒸發(fā)裝置100可包括旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部150，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部150隨同線性移動(dòng)部140旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部150可將線性移動(dòng)部140的線性運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0030]線性移動(dòng)部140可包括移動(dòng)部141，移動(dòng)部141隨同驅(qū)動(dòng)單元130線性移動(dòng)。線性移動(dòng)部140還可包括與移動(dòng)部141連接的傳遞部142和與傳遞部142連接的移動(dòng)塊143。
[0031]移動(dòng)部141可根據(jù)驅(qū)動(dòng)單元130的操作向上和向下線性移動(dòng)。傳遞部142可將移動(dòng)部141的運(yùn)動(dòng)傳遞至移動(dòng)塊143。移動(dòng)塊143可根據(jù)從傳遞部142傳遞的移動(dòng)部141的運(yùn)動(dòng)而與移動(dòng)部141 一起線性移動(dòng)。
[0032]旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部150可包括第一旋轉(zhuǎn)部151，第一旋轉(zhuǎn)部151與線性移動(dòng)部140連接以隨著線性移動(dòng)部140的運(yùn)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部150還可包括第二旋轉(zhuǎn)部152，第二旋轉(zhuǎn)部152與第一旋轉(zhuǎn)部151和遮板部160連接以將第一旋轉(zhuǎn)部151的旋轉(zhuǎn)傳遞至遮板部160。
[0033]第一旋轉(zhuǎn)部151和第二旋轉(zhuǎn)部152可具有齒輪形式的外表面。第一旋轉(zhuǎn)部151和第二旋轉(zhuǎn)部152可具有正齒輪。移動(dòng)塊143可具有與正齒輪形狀匹配的齒條。
[0034]真空蒸發(fā)裝置100可包括遮板部160，遮板部160與旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部150連接以樞轉(zhuǎn)。遮板部160的表面可形成為絲網(wǎng)形。遮板部160的絲網(wǎng)形表面可方便位于其上的如下所述蒸發(fā)材料的蒸發(fā)，因此防止遮板部160的表面上的蒸發(fā)材料掉至源單元。
[0035]遮板部160可包括第一遮板體部161和第二遮板體部162。遮板部160還可包括加固肋163，加固肋163連接第一遮板體部161與第二遮板體部162。
[0036]第一遮板體部161和第二遮板體部162之間可形成預(yù)定角度。具體地,第二遮板體部162可垂直于第一遮板體部161以使在遮板部160旋轉(zhuǎn)時(shí)對(duì)外部設(shè)備的干擾最小化。
[0037]加固肋163可以是多個(gè)，并且多個(gè)加固肋163可彼此間隔開。加固肋163可形成于第一遮板體部161和第二遮板體部162彼此相交的部分，由此維持形成于第一遮板體部161與第二遮板體部162之間的角度和形狀而不管外部環(huán)境如何。
[0038]真空蒸發(fā)裝置100可包括固定部170，遮板部160被安裝在固定部170內(nèi)以樞轉(zhuǎn)并且線性移動(dòng)部140與固定部170連接以滑動(dòng)。第一引導(dǎo)件181可被安裝在固定部170與線性移動(dòng)部140之間用于引導(dǎo)線性移動(dòng)部140的運(yùn)動(dòng)。第一引導(dǎo)件181可以是線性運(yùn)動(dòng)(LM)引導(dǎo)件。第一引導(dǎo)件181可以是多個(gè)，多個(gè)第一引導(dǎo)件181可連接固定部170與移動(dòng)塊143以防止移動(dòng)塊143偏離移動(dòng)路徑。
[0039]真空蒸發(fā)裝置100可包括安裝在線性移動(dòng)部140內(nèi)的第一減震部191和被安裝為與線性移動(dòng)部140間隔開的第二減震部192。第一減震部191和第二減震部192可降低根據(jù)遮板部160的旋轉(zhuǎn)施加至線性移動(dòng)部140的震動(dòng)。具體地，第一減震部191和第二減震部192可減少與遮板部160的操作對(duì)應(yīng)的傳遞部142的運(yùn)動(dòng)。
[0040]第一減震部191可包括安裝在線性移動(dòng)部140內(nèi)的第一固定支架191a。第一固定支架191a可被安裝以固定在傳遞部142上。第一減震部191可包括安裝在第一固定支架191a內(nèi)的第一減震構(gòu)件191b。第一減震構(gòu)件191b可以各種形式形成。例如，第一減震構(gòu)件191b可包括球形護(hù)圈，并且還可包括橡膠、彈簧等。
[0041]第二減震部192可包括第二固定支架192a，第二固定支架192a被安裝為固定在第二減震部192的外部。具體地，第二固定支架192a可被安裝為固定在固定框架114中。第二減震部192可包括安裝在第二固定支架192a內(nèi)的第二減震構(gòu)件192b。第二減震構(gòu)件192b以與第一減震構(gòu)件191b相同的方式或類似的方式形成，因此不再重復(fù)其詳細(xì)描述。
[0042]第一減震構(gòu)件191b可防止線性移動(dòng)部140在遮板部160的旋轉(zhuǎn)時(shí)過度地移動(dòng)。例如，當(dāng)遮板部160打開時(shí)，第一減震構(gòu)件191b可與固定框架114接觸以防止線性移動(dòng)部140因遮板部160的負(fù)載而偏離移運(yùn)動(dòng)范圍。當(dāng)遮板部160關(guān)閉時(shí)，第二減震構(gòu)件192b可與傳遞部142接觸以防止線性移動(dòng)部140因遮板部160的負(fù)載而偏離運(yùn)動(dòng)范圍。
[0043]真空蒸發(fā)裝置100可包括第二引導(dǎo)件182，第二引導(dǎo)件182被安裝在線性移動(dòng)部140內(nèi)以引導(dǎo)線性移動(dòng)部140的運(yùn)動(dòng)。第二引導(dǎo)件182可被安裝在固定框架114與傳遞部142之間，并且傳遞部142可沿第二引導(dǎo)件182線性移動(dòng)。
[0044]對(duì)于真空蒸發(fā)裝置100的操作，首先，在大氣壓下形成腔室的內(nèi)部空間，裝載襯底。然后，可將腔室的內(nèi)部空間保持在真空狀態(tài)。
[0045]當(dāng)腔室的內(nèi)部空間被保持在真空狀態(tài)時(shí)，驅(qū)動(dòng)源單元以蒸發(fā)材料并且向襯底(未示出)提供蒸發(fā)材料。源單元可以是多個(gè)，并且蒸發(fā)材料的主材料和輔助材料可存儲(chǔ)在多個(gè)源單元中。可同時(shí)加熱多個(gè)源單元。一旦完成源單元的加熱，遮板部160打開源單元以向襯底供應(yīng)蒸發(fā)材料。
[0046]在前面的情況中，驅(qū)動(dòng)單元130可根據(jù)預(yù)設(shè)的控制信號(hào)而操作。驅(qū)動(dòng)單元130可操作以線性移動(dòng)線性移動(dòng)部140。具體地，驅(qū)動(dòng)單元130可操作以向上和向下移動(dòng)線性移動(dòng)部140。為了方便起見，基于當(dāng)線性移動(dòng)部140向下移動(dòng)時(shí)遮板部160打開的情況進(jìn)行下面的描述。
[0047]例如，當(dāng)驅(qū)動(dòng)單元130的長度減小時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元130可向下移動(dòng)移動(dòng)部141。隨著移動(dòng)部141向下移動(dòng) ，移動(dòng)部141向下移動(dòng)傳遞部142并且傳遞部142向下移動(dòng)移動(dòng)塊143。具體地，移動(dòng)塊143可使用如上描述的第一引導(dǎo)件181沿固定部170滑動(dòng)。
[0048]當(dāng)移動(dòng)塊143以這種方式向下移動(dòng)時(shí)，移動(dòng)塊143可使第一旋轉(zhuǎn)部151沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。第一旋轉(zhuǎn)部151可使第二旋轉(zhuǎn)部152沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
[0049]當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)部152沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，連接至第二旋轉(zhuǎn)部152的遮板部160可樞轉(zhuǎn)以打開源單元。遮板部160可以預(yù)定的速度打開源單元。
[0050]當(dāng)遮板部160以這種方式旋轉(zhuǎn)時(shí)，如果遮板部160旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度或更大，則遮板部160的旋轉(zhuǎn)速度可因遮板部160的載重而增加。在這種情況下，第二旋轉(zhuǎn)部152的旋轉(zhuǎn)速度也可因遮板部160的旋轉(zhuǎn)速度而增加。第二旋轉(zhuǎn)部152的旋轉(zhuǎn)速度的增加可導(dǎo)致第一旋轉(zhuǎn)部151的旋轉(zhuǎn)速度的增加，從而向移動(dòng)部143施加力。
[0051]當(dāng)力被施加至移動(dòng)塊143時(shí)，連接至移動(dòng)塊143的傳遞部142和移動(dòng)部141的下降速度可增加。當(dāng)?shù)谝粶p震構(gòu)件191b與固定框架114接觸時(shí),第一減震構(gòu)件191b可吸收線性移動(dòng)部140的下降力的一部分。而且，第一減震構(gòu)件191b可通過降低線性移動(dòng)部140的下降速度防止遮板部160的旋轉(zhuǎn)速度增加。
[0052]通過將蒸發(fā)材料從源單元提供給襯底，可將蒸發(fā)材料蒸發(fā)至襯底上。在蒸發(fā)材料被完全蒸發(fā)至襯底時(shí)，遮板部160可保持打開。
[0053]在上述過程完成之后，可檢查蒸發(fā)到襯底的蒸發(fā)材料的狀態(tài)。具體地，在檢查襯底上的蒸發(fā)材料的狀態(tài)之后，必要時(shí)可再次向襯底提供蒸發(fā)材料。在這種情況下，可測(cè)量蒸發(fā)材料的主材料或輔助材料的厚度以關(guān)閉或打開供應(yīng)主材料或輔助材料的源單元，從而校正襯底的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)水平。
[0054]當(dāng)襯底上的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)水平被校正時(shí)，可由遮板部160關(guān)閉多個(gè)源單元中的至少一個(gè)。在這種情況下，驅(qū)動(dòng)單元130可被操作為操作線性移動(dòng)部140，并且遮板部160可由線性移動(dòng)部140關(guān)閉。
[0055]當(dāng)驅(qū)動(dòng)單元130的長度增加時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元130可使移動(dòng)部141上升。隨著移動(dòng)部141向上移動(dòng)，傳遞部142可向上移動(dòng)。傳遞部142可將移動(dòng)部141的運(yùn)動(dòng)傳遞至移動(dòng)塊143，從而向上移動(dòng)移動(dòng)塊143。移動(dòng)塊143可通過如上所述的第一引導(dǎo)件181滑動(dòng)固定部170。
[0056]如此，當(dāng)移動(dòng)塊143向上移動(dòng)時(shí)，移動(dòng)塊143可使第一旋轉(zhuǎn)部151沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。根據(jù)第一旋轉(zhuǎn)部151的旋轉(zhuǎn)，第二旋轉(zhuǎn)部152可沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
[0057]隨著第二旋轉(zhuǎn)部152旋轉(zhuǎn)，連接至第二旋轉(zhuǎn)部152的遮板部160可沿特定方向樞轉(zhuǎn)。遮板部160可旋轉(zhuǎn)以關(guān)閉源單元。
[0058]如果遮板部160以這種方式操作，則當(dāng)遮板部160在旋轉(zhuǎn)時(shí)經(jīng)過特定點(diǎn)時(shí)，遮板部160的下降速度可增加。當(dāng)遮板部160的下降速度增加時(shí)，遮板部160可增加第二旋轉(zhuǎn)部152的旋轉(zhuǎn)速度。第二旋轉(zhuǎn)部152可增加第一旋轉(zhuǎn)部151的旋轉(zhuǎn)速度，并且第一旋轉(zhuǎn)部151可增加移動(dòng)塊143的上升速度。
[0059]如果移動(dòng)塊143的上升速度增加，則線性移動(dòng)部140可偏離移動(dòng)路徑或向所連接的其它部件施加震動(dòng)。在這種狀態(tài)下，如果傳遞部142上升至特定水平，則第二減震構(gòu)件192b與傳遞部142接觸，因此降低傳遞部142的上升速度并且減少施加至其它部件的震動(dòng)。而且，第二引導(dǎo)件182在傳遞部142的下降或上升過程中引導(dǎo)傳遞部142的下降或上升路徑，由此防止傳遞部142歪曲或偏離下降或上升路徑。
[0060]在真空蒸發(fā)裝置100中，如果遮板部160樞轉(zhuǎn)，則在遮板部160蒸發(fā)至源單元的蒸發(fā)材料可能偏離。具體地，如果遮板部160關(guān)閉源單元或過快地旋轉(zhuǎn)，蒸發(fā)材料可從遮板部160的表面偏離。當(dāng)蒸發(fā)材料從遮板部160的表面偏離并且被引入源單元時(shí)，可能干擾源單元的操作。然而，根據(jù)實(shí)施方式形成于遮板部160的表面上的絲網(wǎng)結(jié)構(gòu)提高蒸發(fā)材料與遮板部160的表面之間的吸附力，由此防止或減少發(fā)生這種干擾的可能性。
[0061]因此，真空蒸發(fā)裝置100通過遮板部160同時(shí)加熱蒸發(fā)材料的主材料的源單元和蒸發(fā)材料的輔助材料的源單元，因此提高了工作效率。而且，在真空蒸發(fā)裝置100中，當(dāng)遮板部160完全打開時(shí)，不干擾從源單元噴射的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)角度，從而確保蒸發(fā)角度穩(wěn)定并且具有較大范圍。
[0062]通過概括和回顧，顯示器可包括有機(jī)發(fā)光二極管，使得有機(jī)發(fā)光層通過從外部施加的電流發(fā)出光，因此實(shí)現(xiàn)各種圖像和文字。有機(jī)發(fā)光二極管可以各種方式形成。例如，發(fā)光二極管可使用有機(jī)蒸發(fā)、激光熱傳遞和絲網(wǎng)印刷形成，其中有機(jī)蒸發(fā)被頻繁使用，因?yàn)橐院唵蔚捻樞蚝偷统杀拘纬捎袡C(jī)發(fā)光二極管。
[0063]實(shí)施方式提供了一種能夠控制單獨(dú)的膜的厚度的真空蒸發(fā)裝置。
[0064]盡管已經(jīng)參考本發(fā)明的示例性實(shí)施方式具體地顯示和描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，可進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)的各種改變而不背離由權(quán)利要求及其等同限定的本發(fā)明的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種真空蒸發(fā)裝置，包括: 驅(qū)動(dòng)單元； 線性移動(dòng)部，連接至所述驅(qū)動(dòng)單元以線性移動(dòng)； 旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部，連接至所述線性移動(dòng)部以旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；以及 遮板部，連接至所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)部以樞轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)單元為具有可變長度的致動(dòng)器。
3.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，還包括: 固定部，所述遮板部被安裝在所述固定部中以樞轉(zhuǎn)并且所述線性移動(dòng)部連接至所述固定部以滑動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的真空蒸發(fā)裝置，還包括: 第一引導(dǎo)件，位于所述固定部與所述線性移動(dòng)部之間以引導(dǎo)所述線性移動(dòng)部的滑動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述線性移動(dòng)部包括: 移動(dòng)部，與所述驅(qū)動(dòng)單元連接以線性移動(dòng)； 傳遞部，與所述移動(dòng)部連接；以及 移動(dòng)塊，與所述傳遞部 連接。
6.如權(quán)利要求5所述的真空蒸發(fā)裝置，其中: 所述旋轉(zhuǎn)部包括正齒輪；以及 所述移動(dòng)塊包括齒條，所述齒條隨同所述旋轉(zhuǎn)部操作。
7.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述旋轉(zhuǎn)部包括: 第一旋轉(zhuǎn)部，與所述線性移動(dòng)部連接以在所述線性移動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)期間旋轉(zhuǎn)；以及第二旋轉(zhuǎn)部，與所述第一旋轉(zhuǎn)部和所述遮板部連接，所述第二旋轉(zhuǎn)部將所述第一旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)傳遞至所述遮板部。
8.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述遮板部的表面是絲網(wǎng)形式。
9.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述遮板部包括: 第一遮板體部；以及 第二遮板體部，從所述第一遮板體部彎曲。
10.如權(quán)利要求9所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述遮板部包括: 加固肋，與所述第一遮板體部和所述第二遮板體部連接。
11.如權(quán)利要求1所述的真空蒸發(fā)裝置，還包括: 第一減震部，位于所述線性移動(dòng)部中。
12.如權(quán)利要求11所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述第一減震部包括: 第一固定支架，固定于所述線性移動(dòng)部中；以及 第一減震構(gòu)件，位于所述第一固定支架中。
13.如權(quán)利要求12所述的真空蒸發(fā)裝置，還包括: 第二減震部，與所述線性移動(dòng)部隔開。
14.如權(quán)利要求13所述的真空蒸發(fā)裝置，其中所述第二減震部包括: 第二固定支架，固定在所述第二減震部的外部；以及 第二減震構(gòu)件，位于所述第二固定支架中。
15.如權(quán)利要求4所述的真空蒸發(fā)裝置，還包括第二引導(dǎo)件，所述第二引導(dǎo)件位于所述線性移 動(dòng)部中以引導(dǎo)所述線性移動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104046944SQ201310463790
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2013年10月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月14日
【發(fā)明者】李英昱, 韓政洹 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司