用于沉積有機材料的設備的制作方法
【專利摘要】一種用于沉積有機材料的沉積設備包括：具有一表面的支撐輥，所述表面被配置為將柔性基板接納在所述表面上，所述支撐輥被配置為旋轉；與所述支撐輥分隔的沉積源，所述沉積源被配置為將所述有機材料沉積于在所述支撐輥上的所述柔性基板上；和定位在所述支撐輥與所述沉積源之間的掩膜，所述掩膜包括被配置成允許所述有機材料從所述沉積源通向所述支撐輥的開口。
【專利說明】用于沉積有機材料的設備
【技術領域】
[0001 ] 各實施例涉及一種有機材料沉積設備。
【背景技術】
[0002]近來，有機發光二極管(OLED)顯示器作為用于顯示圖像的顯示設備已受到眾多關注。
[0003]OLED顯示器包括發出具有其自身顏色的光的有機發射層。
[0004]在該【背景技術】部分中公開的上述信息僅用于增強對所描述的技術的背景的理解，因此其可能包含不構成在該國家對于本領域普通技術人員來說已知的現有技術的信息。

【發明內容】

[0005]各實施例致力于一種用于沉積有機材料的沉積設備，該設備包括:具有一表面的支撐輥，所述表面被配置為將柔性基板接納在所述表面上，所述支撐輥被配置為旋轉；與所述支撐輥分隔的沉積源，所述沉積源被配置為將所述有機材料沉積于在所述支撐輥上的所述柔性基板上；和定位于所述支撐輥與所述沉積源之間的掩膜，所述掩膜包括被配置成允許所述有機材料從所述沉積源通向所述支撐輥的開口。
[0006]所述有機材料可形成在所述柔性基板上的有機發光二極管顯示器的有機發射層。
[0007]多個沉積源可被提供，所述多個沉積源包括:第一沉積源，所述第一沉積源被定位成在所述支撐輥的第一側面對所`述支撐輥的所述表面；第二沉積源，所述第二沉積源被定位成在所述支撐輥的第二側面對所述支撐輥的所述表面；和第三沉積源，所述第三沉積源被定位成在所述支撐輥的第三側面對所述支撐輥的所述表面；并且多個掩膜可被提供，所述多個掩膜包括:定位于所述第一沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第一掩膜；定位于所述第二沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第二掩膜；和定位于所述第三沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第三掩膜。
[0008]所述第一沉積源、所述第二沉積源和所述第三沉積源可被配置成沉積各自的有機材料，以便形成發出具有不同顏色的光的有機發光二極管顯示器的有機發射層。
[0009]所述沉積源和所述掩膜均可成曲狀。
[0010]所述支撐輥的所述表面可具有預定曲率，并且所述沉積源的表面和所述掩膜的表面均可具有所述預定曲率。
[0011 ] 所述沉積源和所述掩膜均可基本是平坦的。
[0012]所述支撐輥可被配置成圍繞一軸線旋轉并由此在所述沉積源的前面移動所述柔性基板。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]通過參照附圖詳細描述示例實施例，各特征對于本領域技術人員將變得明顯。
[0014]圖1是根據第一示例實施例的有機材料沉積設備的視圖。[0015]圖2是根據第二示例實施例的有機材料沉積設備的視圖。
[0016]圖3是根據第三示例實施例的有機材料沉積設備的視圖。
【具體實施方式】
[0017]現在將在下文中參照附圖更充分地描述各示例實施例。然而，各示例實施例可以不同的形式體現，并且不應被認為限于在此提出的各實施例。相反，這些實施例被提供為使得本公開將是完整和全面的，并將各示例實施例的范圍充分地傳達給本領域技術人員。
[0018]在附圖中，各尺寸為了例示清楚可被夸大。將理解，當一個元件被稱為在另一元件“上”時，其能夠直接在該另一元件上，或者也可存在一個或多個中間元件。還將理解，當一個元件被稱為在另一元件“下”時，其能夠直接在下方，或者也可存在一個或多個中間元件。還將理解，當一個元件被稱為在兩個元件“之間”時，其能夠是這兩個元件之間的唯一元件，或者也可存在一個或多個中間元件。相似的附圖標記始終指代相似的元件。
[0019]而且，對于各示例實施例，參照通過對相同的構成元件使用相同的附圖標記的相關附圖，對第一示例實施例中的構成元件給出詳細描述，而只有與第一示例實施例相關的那些構成元件不同的構成元件可在其它示例實施例中進行描述。
[0020]另外，除非明確相反描述，詞語“包括”及諸如“包含”或“含有”的變型將被理解成意味著包括規定的元件但并不排除任意其它元件。
[0021]接下來，參見圖1，將描述根據第一示例實施例的有機材料沉積設備。
[0022]圖1是根據第一示例實施例的有機材料沉積設備的視圖。
[0023]在圖1所示的示例實施例中，根據第一示例實施例的有機材料沉積設備1000將用于有機發射層的有機材料沉積到`為沉積靶的柔性基板10上，并包括支撐輥100、沉積源200和掩膜300。
[0024]在此，柔性基板10可包括諸如金屬、玻璃和/或聚合物的材料，并可包括為柔性的任意合適材料。而且，柔性基板10可包括包含多個薄膜晶體管、一個或多個電容器的像素電路以及連接到該像素電路的第一電極。有機材料可被沉積在第一電極上。在有機材料通過有機材料沉積設備1000被沉積在第一電極上以在第一電極上形成有機發射層之后，在有機發射層上可形成第二電極，并且在第二電極上可進一步形成密封像素電路和有機發光元件(包括第一電極、有機發射層和第二電極)的封裝部，從而制造有機發光二極管(OLED)顯示器。
[0025]在本示例實施例中，支撐輥100為圓柱形，并且柔性基板10被卷繞在支撐輥100的表面110處。柔性基板10可完全圍繞支撐輥100纏繞或者部分圍繞支撐輥100纏繞。支撐輥100自身旋轉，并且通過旋轉支撐輥100，從沉積源200蒸發的有機材料通過掩膜300被沉積在柔性基板10的整個表面上。諸如軸承的對支撐輥100進行支撐并同時使支撐輥100旋轉的機構可定位于支撐輥100的兩端。
[0026]沉積源200被定位成與支撐輥100分隔預定間隔。沉積源200可使有機材料沿著支撐輥100的方向蒸發，以便將有機材料沉積于在支撐輥100的表面上的柔性基板10上。從沉積源200蒸發的有機材料形成包括柔性基板10的有機發光二極管(OLED)顯示器的有機發射層。
[0027]沉積源200可具有坩堝形狀，并且位于沉積源200內的有機材料可通過施加在沉積源200內的熱沿著支撐輥100的方向蒸發(例如，通過可形成在沉積源200上的開口)。在沉積源200上可形成一個以上的開口。
[0028]掩膜300定位于支撐輥100與沉積源200之間，并包括用于使有機材料通過掩膜300的一個或多個開口 310。包括在掩膜300中的開口 310例如可為對應于有機發射層或形成有機發光二極管(OLED)顯示器的布線的敞開圖案。掩膜300可包括多個單元掩膜和接納并固定多個單元掩膜的框架。掩膜300可由具有剛性的金屬材料(例如，不銹鋼)形成。
[0029]根據第一示例實施例的有機材料沉積設備1000可使支撐輥100 (柔性基板10附接于此)自身旋轉，同時有機材料從沉積源200通過掩膜300的開口 310朝向柔性基板10蒸發，從而在柔性基板10上形成有機發光二極管(OLED)顯示器的有機發射層。在一實施方式中，沉積源200和掩膜300均是平坦的。在一實施方式中，支撐棍100被配置為圍繞一軸線旋轉并由此在沉積源200前面移動柔性基板10。
[0030]如上所述，在根據第一示例實施例的有機材料沉積設備1000中，柔性基板10可被纏繞在支撐輥100上。在一實施方式中，即使柔性基板10具有大尺寸，也不必增大支撐大尺寸的柔性基板10的支撐輥100的尺寸。因而，可提供緊湊的有機材料沉積設備1000。[0031 ] 在根據第一示例實施例的有機材料沉積設備1000中，支撐輥100可在柔性基板10被卷繞到支撐輥100的狀態下自身旋轉，并且在所述旋轉期間，從沉積源200蒸發的有機材料可通過掩膜300沉積在柔性基板10上。因此，能夠避免定位于支撐輥100與沉積源200之間的掩膜300的尺寸的增大。因而，掩膜300的中心部分不會向下松弛，從而可改進柔性基板10的有機材料的沉積可靠性。
[0032]在根據第一示例實`施例的有機材料沉積設備1000中，支撐輥100可在柔性基板10被卷繞到支撐輥100并且從沉積源200蒸發的有機材料通過掩膜300沉積在柔性基板10的狀態下自身旋轉。因而，即使柔性基板10具有大尺寸，從沉積源200蒸發的有機材料的蒸發角度不會在掩膜300的端部處下降。因而，有機材料可均勻地沉積在柔性基板10的整個表面上，從而改進了柔性基板10的有機材料的沉積可靠性。
[0033]因而，盡管柔性基板10具有大尺寸，有機材料沉積設備1000可對纖薄和柔性的基板10提供有機材料的改進的沉積可靠性。
[0034]接下來，參見圖2，將描述根據第二示例實施例的有機材料沉積設備。
[0035]在下文中，僅詳細描述不同于第一示例實施例的特征部分，不再重復細節的其它部分依照第一示例實施例的描述。在第二示例實施例中，為了更好理解以及便于描述，與根據第一示例實施例的那些組成元件等同或對應的組成元件由相同的附圖標記表示。
[0036]圖2是根據第二示例實施例的有機材料沉積設備的視圖。
[0037]在圖2所示的示例實施例中,根據第二示例實施例的有機材料沉積設備1002包括支撐輥100、多個沉積源和多個掩膜。多個沉積源包括第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203，并且多個掩膜包括第一掩膜301、第二掩膜302和第三掩膜303。
[0038]第一沉積源201定位在支撐輥100的第一側(例如，左側)，第二沉積源202定位在支撐輥100的第二側(例如，下側)，第三沉積源203定位在支撐輥100的第三側(例如，右側)。而且，第一掩膜301定位在第一沉積源201與支撐輥100之間，第二掩膜302定位在第二沉積源202與支撐輥100之間，第三掩膜303定位在第三沉積源203與支撐輥100之間。[0039]分別從第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203沉積到柔性基板10的有機材料可形成有機發光二極管(OLED)顯示器的發出不同顏色的光的有機發射層。例如，從第一沉積源201沉積到柔性基板10的有機材料可形成發出紅光的有機發射層，從第二沉積源202沉積到柔性基板10的有機材料可形成發出綠光的有機發射層，從第三沉積源203沉積到柔性基板10的有機材料可形成發出藍光的有機發射層。而且，第一掩膜301、第二掩膜302和第三掩膜303可分別包括形成有敞開圖案的開口 310，該敞開圖案對應于具有紅色有機發射層、綠色有機發射層和藍色有機發射層的像素。
[0040]根據第二示例實施例的有機材料沉積設備1002使支撐輥100 (柔性基板10卷繞于此)自身旋轉，同時有機材料從第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203通過第一掩膜301、第二掩膜302和第三掩膜303各自的開口沉積到柔性基板10以在柔性基板10上形成有機發光二極管(OLED)顯示器的有機發射層。
[0041]如上所述，根據第二示例實施例的有機材料沉積設備1002通過使用第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203同時執行豎向沉積和水平沉積，由此以各個角度將有機材料沉積在柔性基板10上。因而，即使柔性基板10可具有大尺寸，有機材料沉積設備1002仍可對柔性基板10提供有機材料的改進的沉積可靠性。
[0042]接下來，參見圖3，將描述根據第三示例實施例的有機材料沉積設備。
[0043]在下文中，僅描述不同于第一示例實施例的特征部分，省略描述的部分依照第一示例實施例的描述。在第三示例實施例中，為了更好理解以及便于描述，與根據第一示例實施例的那些組成元件等同或對應的組成元件由相同的附圖標記表示。
[0044]圖3是根據第三示例實施例的有機材料沉積設備的視圖。
[0045]在圖3所示的示例實施例中，根據第三示例實施例的有機材料沉積設備1003包括支撐輥100、沉積源200和掩膜300。
[0046]沉積源200和掩膜300分別對應于支撐輥100的表面110彎曲或成曲狀。詳細地，支撐輥100的表面110具有預定曲率，并且沉積源200的表面210和掩膜300的表面320分別與支撐輥100的表面110具有相同的預定曲率。
[0047]因而，掩膜300的中心區域和外部區域相對于柔性基板10具有相同的第一距離SI，沉積源200的中心區域和外部區域相對于掩膜300具有相同的第二距離S2。因而，在沉積源200的整個區域中始終形成與柔性基板10相同的距離。
[0048]如上所述，掩膜300的整個區域相對于柔性基板10具有相同的距離SI，沉積源200的整個區域相對于掩膜300具有相同的第二距離S2，并且沉積源200的整個區域相對于柔性基板10具有相同的距離。因而，從沉積源200蒸發的有機材料可通過掩膜300在柔性基板10的整個表面均勻沉積。
[0049]這樣，在根據第三示例實施例的有機材料沉積設備1003中，通過考慮將柔性基板10卷繞在支撐輥100的具有預定曲率的表面110上由此以預定曲率彎曲，掩膜300和沉積源200分別以預定曲率彎曲，因而，從沉積源200蒸發的有機材料通過掩膜300在柔性基板10的整個表面上均勻沉積。
[0050]作為總結和回顧，通過使用有機材料沉積設備可形成有機發射層。普通的有機材料沉積設備可包括支撐作為沉積靶的基板的支撐構件、將用于有機發射層的有機材料蒸發到基板上的蒸發(沉積)源以及定位于基板與沉積 源之間的掩膜。近來，由于想得到具有大面積的OLED顯示器，用于大尺寸的OLED顯示器的基板被形成有大面積，以使支撐大尺寸基板的支撐構件的尺寸增大，由此造成整個有機材料沉積設備的尺寸的增大。而且，由于定位于基板與沉積源之間的掩膜的尺寸因大尺寸的基板而增大，因而掩膜的中心區域可能向下低垂，以使用于基板的有機材料的沉積可靠性下降。而且，由于掩膜的尺寸因大尺寸的基板而增大，從沉積源蒸發的有機材料的蒸發角度在掩膜的端部處減小，以使對于沉積在基板的端部處的有機材料產生陰影。這種情形可能在基板的端部處產生有機材料的不均勻沉積，因而用于基板的有機材料的沉積可靠性可能下降。
[0051]如上所述，各實施例涉及一種用于形成有機發光二極管(OLED)顯示器的有機發射層的有機材料沉積設備。即使有機材料沉積在形成大尺寸的有機發光二極管(OLED)顯示器的大尺寸基板上，各實施例也可提供一種緊湊的有機材料沉積設備。即使有機材料被沉積在形成大尺寸的有機發光二極管(OLED)顯示器的大尺寸的基板上，示例實施例也可提供具有改進的沉積可靠性的有機材料沉積設備。而且，即使有機材料被沉積在形成大尺寸的OLED顯示器的大尺寸的基板上，也可提供改進的沉積可靠性。
[0052]這里已經公開了各示例實施例，盡管采用了特定術語，但它們僅在一般和描述性意義上被使用和將被解釋，而不用于限制的目的。在一些情況下，從遞交本申請時起，將對本領域普通技術人員明顯的是，除非另外特別指明，結合特定實施例描述的特征、特性和/或元件可單獨使用或與結合其它實施例描述的特征、特性和/或元件組合使用。因此，本領域技術人員將理解，在不脫離所附權利要求中所闡述的本發明的精神和范圍的情況下，可以進行形式上和細節上的各種改變。
【權利要求】
1.一種用于沉積有機材料的沉積設備，所述設備包括: 具有一表面的支撐輥，所述表面被配置為將柔性基板接納在所述表面上，所述支撐輥被配置為旋轉； 與所述支撐輥分隔的沉積源，所述沉積源被配置為將所述有機材料沉積于在所述支撐輥上的所述柔性基板上；和 定位于所述支撐輥與所述沉積源之間的掩膜，所述掩膜包括被配置成允許所述有機材料從所述沉積源通向所述支撐輥的開口。
2.如權利要求1所述的設備，其中所述有機材料形成在所述柔性基板上的有機發光二極管顯示器的有機發射層。
3.如權利要求1所述的設備，其中: 多個沉積源被提供，所述多個沉積源包括: 第一沉積源，所述第一沉積源被定位成在所述支撐輥的第一側面對所述支撐輥的所述表面； 第二沉積源，所述第二沉積源被定位成在所述支撐輥的第二側面對所述支撐輥的所述表面；和 第三沉積源，所述第三沉積源被定位成在所述支撐輥的第三側面對所述支撐輥的所述表面；并且 多個掩膜被提供，所述多個掩膜包括: 定位于所述第一沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第一掩膜； 定位于所述第二沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第二掩膜；和 定位于所述第三沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第三掩膜。
4.如權利要求3所述的設備，其中所述第一沉積源、所述第二沉積源和所述第三沉積源被配置成沉積各自的有機材料，以便形成發出具有不同顏色的光的有機發光二極管顯示器的有機發射層。
5.如權利要求1所述的設備，其中所述沉積源和所述掩膜均成曲狀。
6.如權利要求5所述的設備，其中: 所述支撐輥的所述表面具有預定曲率，并且 所述沉積源的表面和所述掩膜的表面均具有所述預定曲率。
7.如權利要求1所述的設備，其中所述沉積源和所述掩膜均是平坦的。
8.如權利要求1所述的設備，其中所述支撐輥被配置成圍繞一軸線旋轉并由此在所述沉積源前面移動所述柔性基板。
【文檔編號】C23C14/56GK103805957SQ201310571206
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年11月13日 優先權日:2012年11月14日
【發明者】林亨澤, 樸鎮佑 申請人:三星顯示有限公司