耐磨銑刀的制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種耐磨銑刀的制備方法，包括如下步驟：1）將銑刀刀頭外壁放入壓力為7帕的真空室的轉(zhuǎn)盤(pán)上；2）通入100～120sccm的氬氣；3）關(guān)閉負(fù)偏壓電源和氬氣，抽真空至4帕；4）通入250～260sccm的氬氣；5）通入300～320sccm的氮?dú)猓?）通入230～240sccm氬氣；7）關(guān)閉所有氣體，負(fù)偏壓電源、鈦靶磁控電源以及二硫化鉬磁控電源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50～60分鐘，得到耐磨銑刀。本發(fā)明制備的銑刀耐磨性強(qiáng)、硬度高、自潤(rùn)滑、摩擦系數(shù)低、表面光潔度高、耐干切削、耐氧化溫度高。
【專利說(shuō)明】耐磨銑刀的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及耐磨銑刀的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]銑刀，是用于銑削加工的、具有一個(gè)或多個(gè)刀齒的旋轉(zhuǎn)刀具，現(xiàn)有銑刀雖然能夠進(jìn)行銑削工作，但硬度差、摩擦系數(shù)高、使用壽命短，并且不可修磨，因此在使用中大幅度提高了加工生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種耐磨銑刀的制備方法，其制備的銑刀耐磨性強(qiáng)、硬度高、自潤(rùn)滑、摩擦系數(shù)低、表面光潔度高、耐干切削、耐氧化溫度高。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種耐磨銑刀的制備方法，包括如下步驟:
1)將銑刀刀頭外壁放入壓力為7帕的真空室的轉(zhuǎn)盤(pán)上，升溫至250~260°C，繼續(xù)抽真空至4帕，啟動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速8轉(zhuǎn)/分鐘；
2)通入100~120標(biāo)況毫升每分(sccm)的氬氣，控制真空度在4~5帕，對(duì)銑刀施加負(fù)偏壓-850伏30~35分鐘；
3)關(guān)閉負(fù)偏壓電源和氬氣，抽真空至4帕；
4)通入250~260sccm的氬 氣，控制真空度在2~3帕，施加負(fù)偏壓-400~-600伏，開(kāi)啟鈦靶磁控電源，電流20~25安，30~40分鐘后負(fù)偏壓調(diào)整為-100~-110V，沉積40~50分鐘，形成鈦的擴(kuò)散過(guò)渡層；
4)通入300~320sccm的氮?dú)?，關(guān)閉氬氣，控制真空度在2~3帕，沉積15~20分鐘，形成氮化鈦支持層；
6)通入230~240sccmIS氣,控制真空度在3~4帕，開(kāi)啟二硫化鑰磁控電源,磁控電流12~14安，沉積30~40分鐘，形成二硫化鑰氮化鈦復(fù)合層；
7)關(guān)閉所有氣體，負(fù)偏壓電源、鈦靶磁控電源以及二硫化鑰磁控電源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50~60分鐘，得到耐磨銑刀。
[0005]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:提供一種耐磨銑刀的制備方法，其制備的銑刀耐磨性強(qiáng)、硬度高、自潤(rùn)滑、摩擦系數(shù)低、表面光潔度高、耐干切削、耐氧化溫度高。
【具體實(shí)施方式】
[0006]下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0007]本發(fā)明具體實(shí)施的技術(shù)方案是:
實(shí)施例1
一種耐磨銑刀的制備方法，包括如下步驟:1)將銑刀刀頭外壁放入壓力為7帕的真空室的轉(zhuǎn)盤(pán)上，升溫至260°C，繼續(xù)抽真空至4帕，啟動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速8轉(zhuǎn)/分鐘；
2)通入120sCCm的氬氣，控制真空度在5帕，對(duì)銑刀施加負(fù)偏壓-850伏35分鐘；
3)關(guān)閉負(fù)偏壓電源和氬氣，抽真空至4帕；
4)通入260sCCm的氬氣，控制真空度在3帕，施加負(fù)偏壓-600伏，開(kāi)啟鈦靶磁控電源，電流25安，40分鐘后負(fù)偏壓調(diào)整為-110V，沉積50分鐘，形成鈦的擴(kuò)散過(guò)渡層；
4)通入320sccm的氮?dú)猓P(guān)閉氬氣，控制真空度在3帕，沉積20分鐘，形成氮化鈦支持
層；
6)通入240SCCm氬氣，控制真空度在4帕，開(kāi)啟二硫化鑰磁控電源，磁控電流14安，沉積40分鐘，形成二硫化鑰氮化鈦復(fù)合層；
7)關(guān)閉所有氣體，負(fù)偏壓電源、鈦靶磁控電源以及二硫化鑰磁控電源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，60分鐘，得到耐磨銑刀。
[0008]實(shí)施例2
一種耐磨銑刀的制備方法，包括如下步驟:
1)將銑刀刀頭外 壁放入壓力為7帕的真空室的轉(zhuǎn)盤(pán)上，升溫至250°C，繼續(xù)抽真空至4帕，啟動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速8轉(zhuǎn)/分鐘；
2)通入IOOsccm的氬氣，控制真空度在4帕，對(duì)銑刀施加負(fù)偏壓-850伏30分鐘；
3)關(guān)閉負(fù)偏壓電源和氬氣，抽真空至4帕；
4)通入250sCCm的氬氣，控制真空度在3帕，施加負(fù)偏壓-400伏，開(kāi)啟鈦靶磁控電源，電流20安，30分鐘后負(fù)偏壓調(diào)整為-100V，沉積40分鐘，形成鈦的擴(kuò)散過(guò)渡層；
4)通入300sccm的氮?dú)?，關(guān)閉氬氣，控制真空度在2帕，沉積15分鐘，形成氮化鈦支持
層；
6)通入230SCCm氬氣，控制真空度在3帕，開(kāi)啟二硫化鑰磁控電源，磁控電流12安，沉積3分鐘，形成二硫化鑰氮化鈦復(fù)合層；
7)關(guān)閉所有氣體，負(fù)偏壓電源、鈦靶磁控電源以及二硫化鑰磁控電源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50分鐘，得到耐磨銑刀。
[0009]實(shí)施例3
一種耐磨銑刀的制備方法，包括如下步驟:
1)將銑刀刀頭外壁放入壓力為7帕的真空室的轉(zhuǎn)盤(pán)上，升溫至254°C，繼續(xù)抽真空至4帕，啟動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速8轉(zhuǎn)/分鐘；
2)通入IlOsccm的氬氣，控制真空度在4.5帕，對(duì)銑刀施加負(fù)偏壓-850伏34分鐘；
3)關(guān)閉負(fù)偏壓電源和氬氣，抽真空至4帕；
4)通入253sCCm的氬氣，控制真空度在2.3帕，施加負(fù)偏壓-500伏，開(kāi)啟鈦靶磁控電源，電流23安，35分鐘后負(fù)偏壓調(diào)整為-105V，沉積45分鐘，形成鈦的擴(kuò)散過(guò)渡層；
4)通入3IOsccm的氮?dú)猓P(guān)閉氬氣，控制真空度在2.3帕，沉積16分鐘，形成氮化鈦支
持層;
6)通入237SCCm氬氣，控制真空度在3.4帕，開(kāi)啟二硫化鑰磁控電源，磁控電流13安，沉積36分鐘，形成二硫化鑰氮化鈦復(fù)合層；
7)關(guān)閉所有氣體，負(fù)偏壓電源、鈦靶磁控電源以及二硫化鑰磁控電源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，55分鐘，得到耐磨銑刀。
[0010]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù) 范圍。
【權(quán)利要求】
1.耐磨銑刀的制備方法，其特征在于，包括如下步驟: 1)將銑刀刀頭外壁放入壓力為7帕的真空室的轉(zhuǎn)盤(pán)上，升溫至250~260°C，繼續(xù)抽真空至4帕，啟動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速8轉(zhuǎn)/分鐘； 2)通入100~120sccm的氬氣，控制真空度在4~5帕，對(duì)銑刀施加負(fù)偏壓-850伏30~35分鐘； 3)關(guān)閉負(fù)偏壓電源和氬氣，抽真空至4帕； 4)通入250~260sccm的氬氣，控制真空度在2~3帕，施加負(fù)偏壓-400~-600伏，開(kāi)啟鈦靶磁控電源，電流20~25安，30~40分鐘后負(fù)偏壓調(diào)整為-100~-110V，沉積40~50分鐘，形成鈦的擴(kuò)散過(guò)渡層； 4)通入300~320sccm的氮?dú)?，關(guān)閉氬氣，控制真空度在2~3帕，沉積15~20分鐘，形成氮化鈦支持層； 6)通入230~240sccmIS氣,控制真空度在3~4帕，開(kāi)啟二硫化鑰磁控電源,磁控電流12~14安，沉積30~40分鐘，形成二硫化鑰氮化鈦復(fù)合層； 7)關(guān)閉所有氣體，負(fù)偏壓電源、鈦靶磁控電源以及二硫化鑰磁控電源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕 ，50~60分鐘，得到耐磨銑刀。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK103628033SQ201310610243
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年11月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月27日
【發(fā)明者】金建華 申請(qǐng)人:常熟市勁力工具有限公司