一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及電鍍【技術領域】，尤其是指一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置，該裝置具有多個并列設置的蒸發腔，多個蒸發腔的抽氣端并聯接到一羅茨泵上，且多個蒸發腔的抽氣端設有各自管控的抽氣閥門；所述多個蒸發腔的蒸發端各自對應連接有裂解室，裂解室的輸出端經過蒸汽閥門連通沉積室。由此可根據不同類型的聚對二甲基苯設定蒸發腔的汽化溫度以及對應的裂解溫度，這樣就可以同時鍍兩種以上的聚對二甲基苯膜，或做層狀復合結構的膜。本實用新型結構簡單，科學合理，制作容易，投資成本低，使用簡便，符合產業利用，適用面廣。
【專利說明】一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電鍍【技術領域】，尤其是指一種聚對二甲苯防水膜沉積裝置。
【背景技術】
[0002]對于目前的制程來說，形成聚對二甲苯薄膜的方法一般為化學氣相沉積法。首先，將粉末狀的聚對二甲苯置于蒸發室中，并加熱到150°C以使粉末狀的聚對二甲苯汽化。然后，將聚對二甲苯氣體傳送至裂解室，并加熱到650°C以進行裂解。之后，將聚對二甲苯單體傳送沉積室，并沉積在基板上。
[0003]如上所述，傳統高分子聚對二甲基苯沉積系統只有一個蒸發腔體，不能同時設定不同的蒸發溫度來蒸發不同分子結構的聚對二甲基苯粉體；而據分子結構的不同，聚對二甲基苯可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型，所以傳統沉積系統一般只能沉積一種分子結構的聚對二甲基苯膜，不能沉積復合聚對二甲基苯防水膜。
[0004]為此，本 申請人:秉持著研究創新、精益求精之精神，利用其專業眼光和專業知識，研究出一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置。

【發明內容】

[0005]本實用新型的目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種結構簡單，易操作，可實現同時沉積兩種以上分子結構的聚對二甲基苯膜，獲得復合式聚對二甲苯防水膜的沉積裝置。
[0006]為達到上述目的，本實用新型采用如下技術方案:
[0007]—種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置，該裝置具有多個并列設置的蒸發腔，多個蒸發腔的抽氣端并聯接到一羅茨泵上，且多個蒸發腔的抽氣端設有各自管控的抽氣閥門；所述多個蒸發腔的蒸發端各自對應連接有裂解室，裂解室的輸出端經過蒸汽閥門連通沉積室。
[0008]上述方案進一步是:于所述的蒸汽閥門和沉積室之間還設有純化腔，純化腔并接多個蒸汽閥門的輸出口。
[0009]本實用新型并列設計多個獨立蒸發腔及對應的裂解室，由此可根據不同類型的聚對二甲基苯設定蒸發腔的汽化溫度以及對應的裂解溫度，這樣就可以同時鍍兩種以上的聚對二甲基苯膜，或做層狀復合結構的膜。本實用新型結構簡單，科學合理，制作容易，投資成本低，使用簡便，符合產業利用，適用面廣。
[0010]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0011]附圖1為本實用新型較佳實施例結構示意圖。
[0012]【具體實施方式】:
[0013]以下結合附圖對本實用新型進一步說明:
[0014]參閱圖1所示，本實用新型有關一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置，該裝置具有多個并列設置的蒸發腔I (圖中以三個蒸發腔I為例)，多個蒸發腔I的抽氣端并聯接到一羅茨泵2上，且多個蒸發腔I的抽氣端設有各自管控的抽氣閥門3，實現各自控制抽真空，利于加熱汽化蒸發；所述多個蒸發腔I的蒸發端各自對應連接有裂解室4，裂解室4的輸出端經過對應的蒸汽閥門5連通沉積室6。在本實施例中，于所述的蒸汽閥門5和沉積室6之間還設有純化腔7，純化腔7并接多個蒸汽閥門5的輸出口，純化腔7起到過濾、純化作用，提升沉積質量，并可適當混合蒸汽閥門5輸出的氣體。
[0015]工作時，不同聚對二甲基苯結構，其具有不同的特性，如N型是對二甲苯的高聚物，具有最強的滲透能力，能夠有效地在各種細縫或針孔表面形成薄膜；它的介電常數極低(2.65)及耗散因子小，且隨外界頻率的增加變化不大；同時極低摩擦系數使其有優異的潤滑效果。C型是在於其芳香基中之一氫分子被氯所取代，具有極低的水分子和腐蝕性氣體的穿透率，沉積速率比N型快。D型是在於其芳香基中之二個氫原子被二個氯原子所取代，因而在更高溫度下具有相對更好的物理及電性能，同時與N、C型相比，具有更好的熱穩定性；其沉積與聚合速度非常快，但鍵結壓力卻十分慢。F型將二甲基上的H原子替換為F原子，F-C鍵是已知最強的共價鍵，鍵能高達445KJ / mol，僅次于C-H鍵，但是鍵能卻比C一H鍵強得多，因而能抵抗紫外線對它的破壞，改善抗紫外線能力；氟原子取代亞甲基上的氫原子也極大地改變化學鍵的極性，進而提高了其熱穩定性和抗老化性能，使其在航空及半導體領域將有可觀的應用前景。通過本實用新型，將不同分子結構的聚對二甲基苯粉體分別放入不同的蒸發腔I，然后設定不同蒸發腔的汽化溫度以及對應裂解室4的裂解溫度，由抽氣閥門3及蒸汽閥門5控制，實現單獨或復合沉積聚對二甲基苯防水膜，從而可在沉積室6內同時鍍兩種以上的聚對二甲基苯膜，或做層狀復合結構的膜。多元復合結構設計，可以連續蒸發不同分子結構的聚對二甲苯防水膜，通過工藝設計可以做出各種復合結構的聚對二甲基苯膜，使復合膜具有各單層膜的優點，而避免單層膜的缺點；因此層狀復合聚對二甲基苯膜，將具有更好的優點，也擴寬了產品的設計加工，適用面更廣，可操作性更強。
[0016]當然，以上結合實施方式對本實用新型做了詳細說明，只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人了解本實用新型的內容并加以實施，并不能以此限定本實用新型的保護范圍，凡根據本實用新型精神實質所做的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置，其特征在于:該裝置具有多個并列設置的蒸發腔(I )，多個蒸發腔(I)的抽氣端并聯接到一羅茨泵(2)上，且多個蒸發腔(I)的抽氣端設有各自管控的抽氣閥門(3);所述多個蒸發腔(I)的蒸發端各自對應連接有裂解室(4)，裂解室(4 )的輸出端經過蒸汽閥門(5 )連通沉積室(6 )。
2.根據權利要求1所述的一種復合式聚對二甲苯防水膜沉積裝置，其特征在于:于所述的蒸汽閥門(5)和沉積室(6)之間還設有純化腔(7)，純化腔(7)并接多個蒸汽閥門(5)的輸出口。
【文檔編號】C23C16/448GK203569184SQ201320607540
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年9月30日 優先權日:2013年9月30日
【發明者】侯光輝 申請人:侯光輝