晶片的研磨裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶片的研磨裝置，所述研磨裝置包括工作臺；進一步包括：內齒圈，所述內齒圈固定在所述工作臺上；轉軸，所述轉軸設置在內齒圈的中心，外緣套裝齒輪；游輪，所述游輪外緣設有的齒分別與所述內齒圈、齒輪咬合；夾具，所述夾具設置在所述游輪上部，所述夾具進一步包括：第一夾持板，所述第一夾持板設置在底板的一側；第二夾持板，所述第二夾持板設置在所述底板的另一側，與所述第一夾持板相對；連接部件，所述連接部件穿過所述第一夾持板和第二夾持板上的通孔并固定在所述底板上；磨盤，所述磨盤設置在所述游輪的上部，磨盤內設有磨塊。本實用新型具有生產效率高、成本低等優點。
【專利說明】 晶片的研磨裝置
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及晶片，尤其涉及一種晶片的研磨裝置。
【背景技術】
[0002]水晶是一種無色透明的晶體礦物，主要成分為二氧化硅。經過切割后的水晶晶片廣泛地應用與半導體設備制造中。
[0003]在半導體應用領域中，對石英晶片的尺寸有特殊的精度要求。因此，切割好的石英晶片，還需打磨到特定的尺寸。目前，多采用手工打磨，具體為:將石英晶片放置了研磨盤上，使用模塊人工打磨石英晶片。這種打磨方式具有如下不足:
[0004]1、人工打磨，生產效率低；
[0005]2、生產質量和打磨人員素質相關,難以有效控制打磨質量,打磨質量參差不齊。實用新型內容
[0006]為了克服現有技術存在的上述缺陷，本實用新型提供一種生產效率高、成品率高的晶片的研磨裝置。
[0007]本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的:
[0008]一種晶片的研磨裝置，所述研磨裝置包括工作臺；所述晶片的研磨裝置進一步包括:
[0009]內齒圈，所述內齒圈固定在所述工作臺上；
[0010]轉軸，所述轉軸設置在內齒圈的中心，外緣套裝齒輪；
[0011]游輪，所述游輪外緣設有的齒分別與所述內齒圈、齒輪咬合；
[0012]夾具，所述夾具設置在所述游輪上部，所述夾具進一步包括:
[0013]第一夾持板，所述第一夾持板設置在底板的一側；
[0014]第二夾持板，所述第二夾持板設置在所述底板的另一側，與所述第一夾持板相對；
[0015]連接部件，所述連接部件穿過所述第一夾持板和第二夾持板上的通孔并固定在所述底板上；
[0016]磨盤,所述磨盤設置在所述游輪的上部,磨盤內設有磨塊。
[0017]根據上述的晶片的研磨裝置，優選地，所述連接部件為螺栓，具有外螺紋。
[0018]根據上述的晶片的研磨裝置，優選地，所述通孔內具有與所述螺栓的外螺紋匹配的內螺紋。
[0019]根據上述的晶片的研磨裝置，優選地，所述底板上具有盲孔，所述盲孔具有與所述外螺紋匹配的內螺紋。
[0020]與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果:
[0021]1、機械研磨，生產效率高；
[0022]2、研磨的時間、力度統一，研磨質量高度統一,也提高了成品率。【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]參照附圖，本實用新型的公開內容將變得更易理解。本領域技術人員容易理解的是:這些附圖僅僅用于舉例說明本實用新型的技術方案，而并非意在對本實用新型的保護范圍構成限制。圖中:
[0024]圖1為本實用新型實施例的晶片的研磨裝置的基本結構圖；
[0025]圖2為本實用新型實施例的磨盤的基本結構圖；
[0026]圖3為本實用新型實施例的夾具的基本結構圖。
【具體實施方式】
[0027]圖1-3和以下說明描述了本實用新型的可選實施方式以教導本領域技術人員如何實施和再現本實用新型。為了教導本實用新型技術方案，已簡化或省略了一些常規方面。本領域技術人員應該理解源自這些實施方式的變型或替換將在本實用新型的范圍內。本領域技術人員應該理解下述特征能夠以各種方式組合以形成本實用新型的多個變型。由此，本實用新型并不局限于下述可選實施方式，而僅由權利要求和它們的等同物限定。
[0028]實施例1:
[0029]圖1示意性地給出了本實用新型實施例的晶片的研磨裝置的基本結構圖，如圖1所示，所述晶片的研磨裝置包括:
[0030]工作臺；
[0031]內齒圈1，所述內齒圈I固定在所述工作臺上；
[0032]轉軸2，所述轉軸2設置在內齒圈I的中心，外緣套裝齒輪；
[0033]游輪3，所述游輪3外緣設有的齒分別與所述內齒圈1、齒輪咬合；
[0034]圖2示意性地給出了本實施例的磨盤4的基本結構圖，如圖2所示，所述磨盤4設置在所述游輪3上，磨盤4內設有磨塊41。可選地，所述磨塊的一側設有拋光膜層42 ；
[0035]圖3示意性地給出了本實施例的夾具的基本結構圖，如圖3所示，所述夾具9設置在所述游輪3上部，所述夾具9進一步包括:
[0036]第一夾持板92,所述第一夾持板92設置在底板91的一側；
[0037]第二夾持板93，所述第二夾持板93設置在所述底板91的另一側，與所述第一夾持板92相對；
[0038]連接部件94，所述連接部件94穿過所述第一夾持板92和第二夾持板93上的通孔并固定在所述底板91上；
[0039]根據上述的晶片的研磨裝置，優選地，所述連接部件為螺栓，具有外螺紋。
[0040]根據上述的晶片的研磨裝置，優選地，所述通孔內具有與所述螺栓的外螺紋匹配的內螺紋。
[0041]根據上述的晶片的研磨裝置，優選地，所述底板上具有盲孔，所述盲孔具有與所述外螺紋匹配的內螺紋。
[0042]實施例2:
[0043]根據本實用新型實施例1的晶片的拋磨裝置在石英晶片研磨中的應用例。
[0044]在該應用例中，采用5個游輪。游輪上設置夾具，具體為:第一夾持板和第二夾持板分別設置在底板的兩側，所述第一夾持板和第二夾持板上分別設置二個通孔，通孔內具有內螺紋。連接部件采用有外螺紋的螺栓，所述螺栓穿過所述通孔后旋進所述底板上的盲孔，所述盲孔內具有內螺紋。這樣，所述夾持板和底板之間的距離可調節，從而適應不同大小的石英晶片。
[0045]上述線切割裝置的工作過程為:
[0046]調節螺栓，從而調節第一夾持板、第二夾持板的間距，從而將石英晶片固定在所述游輪上
[0047]電機驅動轉軸轉動，轉軸外緣的齒輪帶動游輪在內齒圈和齒輪之間公轉和自轉，從而使磨盤內的模塊打磨所述石英晶片。
【權利要求】
1.一種晶片的研磨裝置，所述研磨裝置包括工作臺；其特征在于:所述晶片的研磨裝置進一步包括: 內齒圈，所述內齒圈固定在所述工作臺上； 轉軸，所述轉軸設置在內齒圈的中心，外緣套裝齒輪； 游輪，所述游輪外緣設有的齒分別與所述內齒圈、齒輪咬合； 夾具，所述夾具設置在所述游輪上部，所述夾具進一步包括: 第一夾持板，所述第一夾持板設置在底板的一側； 第二夾持板，所述第二夾持板設置在所述底板的另一側，與所述第一夾持板相對； 連接部件，所述連接部件穿過所述第一夾持板和第二夾持板上的通孔并固定在所述底板上； 磨盤，所述磨盤設置在所述游輪的上部，磨盤內設有磨塊。
2.根據權利要求1所述的晶片的研磨裝置，其特征在于:所述連接部件為螺栓，具有外螺紋。
3.根據權利要求2所述的晶片的研磨裝置，其特征在于:所述通孔內具有與所述螺栓的外螺紋匹配的內螺紋。
4.根據權利要求2所述的晶片的研磨裝置，其特征在于:所述底板上具有盲孔，所述盲孔具有與所述外螺紋匹配的內螺紋。
【文檔編號】B24B37/16GK203527227SQ201320678233
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月31日 優先權日:2013年10月31日
【發明者】袁廷波, 胡曉洪 申請人:蕪湖市三晶新能源股份有限公司