一種配套掩模板的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種配套掩模板，包括兩種結構的掩模板，掩模板上設有由多邊形蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，蒸鍍孔貫穿掩模板，兩種結構的掩模板包括第一掩模板和第二掩模板，第一掩模板上蒸鍍孔數量為第二掩模板上蒸鍍孔數量的兩倍,第一掩模板上的蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布；第二掩模板上的蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布，且相鄰兩行的蒸鍍孔之間的距離大于第一掩模板上相鄰兩行的蒸鍍孔之間的距離。配套的第一掩模板、第二掩模板在結構上互補，利用本實用新型所提供的配套掩模板及其蒸鍍方法可以增加OLED顯示屏藍色子像素的面積、提高顯示器的ppi，從而相應的使得藍色子像素的壽命增加、OLED顯示屏的顯示質量提高。
【專利說明】一種配套掩模板

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種配套掩模板及其蒸鍍方法，具體涉及一種用于0LED顯示屏 蒸鍍用的配套掩模板及其蒸鍍方法。

【背景技術】
[0002] 有機發光二極管（Organic Light-Emitting Diode ;0LED)顯示器具有自主發光、 低電壓直流驅動、全固化、視角寬、顏色豐富等一系列的優點，與液晶顯示器相比，0LED顯示 器不需要背光源，視角大，功率低，其響應速度可達到液晶顯示器的1000倍，其制造成本卻 低于同等分辨率的液晶顯示器。因此，0LED顯示器具有廣闊的應用前景，逐漸成為未來20 年成長最快的新型顯示技術。
[0003] 其中，0LED屏體的發光層一般都是通過有機材料利用蒸鍍成膜技術透過金屬掩 膜板在沉積基板上相應的像素位置形成有機發光元器件。0LED屏彩色化效果較好的像素 排列方式是在每個像素單元有紅、綠、藍三個子像素，每個子像素具有獨立的有機發光元器 件。由于紅、綠、藍三種子像素的有機發光材料不同，在制作過程中，需要通過金屬掩模板在 相應的位置上分別對紅、綠、藍三基色發光子像素蒸鍍三種不同的有機材料，然后調節三種 顏色組合的混色比，產生真彩色。如此，紅、綠、藍三色0LED元件獨立發光構成一個像素單 J Li 〇
[0004] 圖1所示為傳統掩模板組件整體平面結構示意圖，掩模板通過激光焊接固定于外 框14,12為激光焊接形成的焊點，掩模板10上包括多個掩模單元11，圖2所示為圖1中13 部分放大結構示意圖，20為貫穿掩模板上10的蒸鍍孔，蒸鍍孔20沿行方向和列方向以矩形 陣列方式排布在掩模板10上，通過圖1?圖2中所示的掩模板蒸鍍后0LED顯示屏的像素 結構如圖3所示，由于三種子像素的結構相同，所以在蒸鍍過程中可以用同一種結構的掩 模板進行蒸鍍，三種有機材料可以用一塊掩模板蒸鍍，每次蒸鍍步驟之后需要清洗，也可以 用三塊掩模板蒸鍍。通過掩模板蒸鍍后的0LED顯示屏的壽命與像素的關聯度很大，即像素 的壽命在很大程度上決定了 0LED顯示屏的壽命，目前行業內用于制作像素的瓶頸在于藍 色子像素，其原因在于藍色子像素在同等的電流下的發光效率明顯低于綠色和紅色子像素 (差距非常大)，為了使得0LED顯示屏可以正常的顯示白色，只能提高藍色子像素的電流，這 樣做雖然平衡了綠色和紅色，但是因為電流提高了，藍色子像素的壽命大大縮短，從而影響 0LED顯示屏的壽命。
[0005] 另外，作為評價0LED顯示屏質量的另一個重要參數一一分辨率，其與像素的排布 結構有直接聯系，制作高ppi (pixel per inch)的0LED顯示屏是業界一直追求的一個重要 目標。
[0006] 本實用新型主要是針對以上問題提出一種掩模板及其蒸鍍方法，以較好的解決以 上所述問題。 實用新型內容
[0007] 有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種配套掩模板及其蒸鍍方法，通過 本實用新型所提供的配套掩模板蒸鍍的有機發光材料可大大增加0LED每個像素單元中藍 色子像素的面積、提高顯示器的ppi，從而相應的使得藍色子像素的壽命增加、0LED顯示屏 的顯不質量提商。
[0008] 本實用新型提供一種配套掩模板，包括兩種結構的掩模板，所述掩模板上設有由 蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，所述蒸鍍孔貫穿所述掩模板，其特征在于：所述蒸鍍孔形 狀為多邊形，所述兩種結構的掩模板包括第一掩模板和第二掩模板，所述第一掩模板上所 述蒸鍍孔數量為所述第二掩模板上所述蒸鍍孔數量的兩倍，其中，
[0009] 所述第一掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布；
[0010] 所述第二掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布，且相鄰 兩行的所述蒸鍍孔之間的距離大于所述第一掩模板上相鄰兩行的所述蒸鍍孔之間的距離， 相鄰兩列的所述蒸鍍孔之間的距離等于所述第一掩模板上相鄰兩列的所述蒸鍍孔之間的 距離。
[0011] 下面詳細描述本實用新型所提供的配套掩模板。
[0012] 進一步地，所述蒸鍍孔的形狀為四邊形或六邊形或八邊形。
[0013] 進一步地，所述兩種結構的所述掩模板上所述蒸鍍孔的形狀為八邊形，所述八邊 形具有四組平行的對邊，所述八邊形的四組對邊的邊長尺寸分別為al、a2、a3、a4,其尺 寸范圍分另1J 為：10 U m < al < 35 μ m; 10 μ m ^ a2 ^ 35 μ m; 5um^a3^25um; a3=a4 ； 所述尺寸為al的邊所在直線垂直于尺寸為a2的邊所在直線。
[0014] 進一步地，所述邊長為al的一組對邊的距離為bl，所述bl的尺寸范圍為 30μπι< bl < 60μπι;所述邊長為a2的一組對邊的距離為b2,所述b2的尺寸范圍為 30 μ m < b2 < 60 μ m。
[0015] 進一步地，所述第一掩模板中相鄰兩行所述蒸鍍孔之間的距離為L2，所述a2與 所述L2的關系為：a2 < L2 ;所述第一掩模板中相鄰兩列所述蒸鍍孔之間的距離為L1，所述 al與所述L1的關系為：al彡L1。
[0016] 進一步地，所述第二掩模板中相鄰兩行所述蒸鍍孔的行間距為L3,所述L2、所述 bl、所述L3三者的關系為：L3=2L2+2bl。
[0017] 進一步地，所述第一掩模板上彼此相鄰的四個所述蒸鍍孔圍成一個虛擬蒸鍍孔， 所述虛擬蒸鍍孔的面積大于或等于一個所述蒸鍍孔的面積，所述虛擬蒸鍍孔的形狀與所述 蒸鍍孔的形狀相同。
[0018] 進一步地，所述掩模板為一體成型結構或由分立的掩模單元組合而成，所述掩模 板固定于外框上。
[0019] 本實用新型還提供了一種蒸鍍方法，包括使用權利要求1?8任意一項權利要求 所述的配套掩模板通過真空蒸鍍步驟制作0LED顯示屏的有機發光層，其特征在于：0LED顯 示屏的藍色子像素通過所述第一掩模板蒸鍍形成，0LED顯示屏的紅色子像素和綠色子像素 通過所述第二掩模板蒸鍍形成。
[0020] 進一步地，所述蒸鍍步驟包括所述紅色子像素蒸鍍步驟、所述綠色子像素蒸鍍步 驟、所述藍色子像素蒸鍍步驟，在每次所述子像素蒸鍍步驟之前還包括對位步驟，所述對位 步驟為將所述掩模板與沉積基板對位，使所述掩模板上的所述蒸鍍孔與所述沉積基板的相 應子像素區域相對應。
[0021] 本實用新型的有益效果在于，通過本實用新型所提供的配套掩模板蒸鍍的有機發 光材料可大大增加0LED每個像素單元中藍色子像素的面積，使得在平衡紅色子像素和綠 色子像素時，無需對藍色子像素提供過大的電流，即可正常的顯示白色，從而相應的增加了 藍色子像素的壽命，間接的延長了 0LED顯示屏的整體壽命；另外，由于掩模板的特殊結構 設置，通過本實用新型所提供的配套掩模板蒸鍍制作的0LED顯示屏可以具有較高的ppi， 提高了顯示屏的顯示質量。
[0022] 本實用新型附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述 中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023] 本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中 將變得明顯和容易理解，其中：
[0024] 圖1所示為本實用新型一種掩模組板件的平面結構示意圖；
[0025] 圖2所示為圖1中13部分結構放大示意圖；
[0026] 圖3所示本實用新型像素結構排布示意圖；
[0027] 圖4所示為本實用新型一種掩模板組件的平面結構示意圖；
[0028] 圖5所示為圖4中41部分結構放大示意圖；
[0029] 圖6所示為圖5中掩模板蒸鍍孔進一步放大結構示意圖；
[0030] 圖7所示為圖4中41部分另一種結構放大示意圖；
[0031] 圖8所示為像素結構排布示意圖；
[0032] 圖9所示為像素結構排布示意圖。
[0033] 圖1中，10為掩模板，11為掩模圖案區域，12為焊點，13為待放大觀測部分，14為 外框；
[0034] 圖2中，20為掩模板10上的蒸鍍孔；
[0035] 圖3中，30為沉積基板，31為像素單元；
[0036] 圖4中，40為掩模單元，41為待放大觀測部分；
[0037] 圖5中，50為蒸鍍孔，51為虛擬蒸鍍孔；
[0038] 圖6中，al、a2、a3、a4分別為八邊形蒸鍍孔四組對邊的邊長尺寸，L1為相鄰兩列 蒸鍍孔之間的距離，L2為相鄰兩行蒸鍍孔之間的距離；
[0039] 圖7中，L3為相鄰行蒸鍍孔的行間距；
[0040] 圖8中，80為沉積基板，R、G、B分別代表紅色子像素、綠色子像素、藍色子像素。

【具體實施方式】
[0041] 下面將參照附圖來描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出， 其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下 面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能解釋為對本實 用新型的限制。
[0042] 根據本實用新型的實施例，參考圖1、圖4?圖8所示，本實用新型提供一種配套掩 模板，包括兩種結構的掩模板，掩模板10上設有由蒸鍍孔50陣列而成的掩模圖案區域11， 所述蒸鍍孔50貫穿所述掩模板10,蒸鍍孔50形狀為多邊形，兩種結構的掩模板包括第一掩 模板和第二掩模板，第一掩模板上蒸鍍孔數量為第二掩模板上所述蒸鍍孔數量的兩倍，其 中，
[0043] 第一掩模板上的蒸鍍孔50沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布，如圖5、圖6所 示；
[0044] 第二掩模板上的蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布，且相鄰兩行的蒸 鍍孔之間的距離大于第一掩模板上相鄰兩行的蒸鍍孔之間的距離，相鄰兩列的蒸鍍孔之間 的距離等于第一掩模板上相鄰兩列的蒸鍍孔之間的距離，如圖7所示。
[0045] 下面將參照附圖詳細描述本實用新型的配套掩模板。
[0046] 根據本實用新型的實施例，蒸鍍孔50的形狀為四邊形或六邊形或八邊形，如圖Γ 圖7所示的蒸鍍孔50的形狀為八邊形。
[0047] 根據本實用新型的實施例，如圖5~圖6所示，兩種結構的掩模板上蒸鍍孔50 的形狀為八邊形，八邊形具有四組平行的對邊，八邊形的四組對邊的邊長尺寸為al、 a2、a3、a4,其尺寸范圍及相互關系為：10 μ m < al < 35 μ m; 10 μ m ^ a2 ^ 35 μ m; 5 μ m彡a3彡25 μ m; a3=a4 ;尺寸為al的邊所在直線垂直于尺寸為a2的邊所在直線。
[0048] 如圖6所不邊長尺寸為al的邊的延長線與邊長尺寸為a2的邊的延長線相交后垂 直，即邊長尺寸分別為al和a2的兩組對邊的延長線（圖中虛線所示）兩兩相交形成矩形。 邊長尺寸為al的一組對邊所在的直線與行方向平行。
[0049] 在本實用新型中，所述行方向即圖中所示的X方向，所述列方向即圖中所示的Y方 向。
[0050] 根據本實用新型的一些實施例，如圖6所示，邊長為al的一組對邊的距離為bl， bl的尺寸范圍為：30 μ m彡bl彡60 μ m;邊長為a2的一組對邊的距離為b2,、b2的尺寸范 圍為：30 μ m < b2 < 60 μ m。
[0051] 根據本實用新型的一些實施例，如圖6所示，第一掩模板中相鄰兩行蒸鍍孔50之 間的距離為L2，a2與L2的關系為：a2彡L2;第一掩模板中相鄰兩列蒸鍍孔之間的距離 為Ll，al與L1的關系為：al< L1。
[0052] 根據本實用新型的一些實施例，如圖7所示，第二掩模板中相鄰兩行蒸鍍孔的行 間距為L3, L2、bl、L3三者的關系為：L3=2L2+2bl ((圖中沿X方向加黑的虛線為蒸鍍孔中 心的連線）。
[0053] 如圖6~圖7所示，第二掩模板相鄰兩列的間距為L1，即第二掩模板相鄰兩列之間 的距離與第一掩模板相鄰兩列之間的距離相等。
[0054] 根據本實用新型的一些實施例，如圖5所示，第一掩模板上彼此相鄰的四個蒸鍍 孔圍成一個虛擬蒸鍍孔51，如圖5中所示，虛線連接形成的虛擬蒸鍍孔51，虛擬蒸鍍孔的面 積大于或等于一個蒸鍍孔50的面積，虛擬蒸鍍孔51的形狀與蒸鍍孔50的形狀相同。
[0055] 虛擬蒸鍍孔51并不是真實的蒸鍍孔，只是假設的一個蒸鍍孔的位置，而蒸鍍孔50 為貫穿掩模板10的通孔。
[0056] 根據本實用新型的一些實施例，如圖1、圖4所示，掩模板10為一體成型結構或由 分立的掩模單元組合而成，所述掩模板固定于外框上。
[0057] 圖1所示，掩模板10為一體成型結構，圖4所示掩模板10由分立的掩模單元40組 合而成。如圖1和圖4所示，掩模板10或掩模單元40通過激光焊接固定于掩模框14,其 中12為焊點。
[0058] 根據本實用新型的一個實施例，如圖5~圖7所示，邊長尺寸分別為al、a2、a3、a4 的四組對邊的尺寸為：al=24ym、a2=28ym、a3= a4=10ym。
[0059] 根據本實用新型的一個實施例，如圖5~圖7所示，邊長尺寸分別為al、a2、a3、a4 的四組對邊的尺寸為：al=20ym、a2=20ym、a3= a4=14. 14μηι。
[0060] 本實用新型還提供了一種蒸鍍方法，包括使用上述所述的配套掩模板通過真空蒸 鍍步驟制作0LED顯示屏的有機發光層，0LED顯示屏的藍色子像素通過第一掩模板蒸鍍形 成，0LED顯示屏的紅色子像素和綠色子像素通過第二掩模板蒸鍍形成。
[0061] 根據本實用新型的實施例，蒸鍍步驟包括紅色子像素蒸鍍步驟、綠色子像素蒸鍍 步驟、藍色子像素蒸鍍步驟，在每次子像素蒸鍍步驟之前還包括對位步驟，對位步驟為將掩 模板與沉積基板對位，使掩模板上的蒸鍍孔50與沉積基板的相應子像素區域相對應。
[0062] 使用本實用新型提供的配套掩模板及其蒸鍍方法制作的像素結構如圖8~圖9所 示，B(Blue)代表藍色子像素、R (Red)代表紅色子像素、G (Green)代表綠色子像素。藍色 子像素通過圖5所示的第一掩模板蒸鍍形成，綠色子像素、紅色子像素通過圖7所示的第二 掩模板蒸鍍形成。紅色子像素和藍色子像素使用兩塊第二掩模板制作，也可以使用同一塊 第二掩模板制作。使用同一塊第二掩模板制作紅色和綠色子像素，在每次蒸鍍步驟之后需 要清洗，將掩模板清洗干凈，避免混色。
[0063] 如圖8、圖9所示，藍色子像素B區域的面積為紅色子像素R區域的面積和綠色子 像素G區域的面積的兩倍，藍色子像素的面積增加可有效提高0LED顯示屏的壽命。同時圖 8所示的像素排布方式也提高了 0LED顯示屏的ppi。
[0064] 通過本實用新型所提供的配套掩模板蒸鍍的有機發光材料可大大增加0LED每個 像素單元中藍色子像素的面積，使得在平衡紅色子像素和綠色子像素時，無需對藍色子像 素提供過大的電流，即可正常的顯示白色，從而相應的增加了藍色子像素的壽命，間接的延 長了 0LED顯示屏的整體壽命；另外，由于掩模板的特殊結構設置，通過本實用新型所提供 的配套掩模板蒸鍍制作的0LED顯示屏可以具有較高的ppi，提高了顯示屏的顯示質量。。 [〇〇65] 盡管參照本實用新型的多個示意性實施例對本實用新型的【具體實施方式】進行了 詳細的描述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改 進和實施例將落在本實用新型原理的精神和范圍之內。具體而言，在前述公開、附圖以及權 利要求的范圍之內，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改 進，而不會脫離本實用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所 附權利要求及其等同物限定。
【權利要求】
1. 一種配套掩模板，包括兩種結構的掩模板，所述掩模板上設有由蒸鍍孔陣列而成的 掩模圖案區域，所述蒸鍍孔貫穿所述掩模板，其特征在于：所述蒸鍍孔形狀為多邊形，所述 兩種結構的掩模板包括第一掩模板和第二掩模板，所述第一掩模板上所述蒸鍍孔數量為所 述第二掩模板上所述蒸鍍孔數量的兩倍，其中， 所述第一掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布； 所述第二掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布，且相鄰兩行 的所述蒸鍍孔之間的距離大于所述第一掩模板上相鄰兩行的所述蒸鍍孔之間的距離，相鄰 兩列的所述蒸鍍孔之間的距離等于所述第一掩模板上相鄰兩列的所述蒸鍍孔之間的距離。
2. 根據權利要求1所述的配套掩模板，其特征在于，所述蒸鍍孔的形狀為四邊形或六 邊形或八邊形。
3. 根據權利要求2所述的配套掩模板，其特征在于，所述兩種結構的所述掩模板上 所述蒸鍍孔的形狀為八邊形，所述八邊形具有四組平行的對邊，所述八邊形的四組對邊 的邊長尺寸分別為al、a2、a3、a4,其尺寸范圍及相互關系為 ：10μπι彡al彡35μπι; 10ym<a2i^35ym; 5ym<a3i^25ym; a3=a4;所述尺寸為al的邊所在直線垂直于尺 寸為a2的邊所在直線。
4. 根據權利要求3所述的配套掩模板，其特征在于，所述邊長為al的一組對邊的距離 為bl，所述bl的尺寸范圍為30 μ m < bl < 60 μ m;所述邊長為a2的一組對邊的距離為 b2,所述b2的尺寸范圍為30 μ m彡b2彡60 μ m。
5. 根據權利要求4所述的配套掩模板，其特征在于，所述第一掩模板中相鄰兩行所述 蒸鍍孔之間的距離為L2，所述a2與所述L2的關系為：a2<L2;所述第一掩模板中相鄰兩 列所述蒸鍍孔之間的距離為L1，所述al與所述L1的關系為：al < L1。
6. 根據權利要求5所述的配套掩模板，其特征在于，所述第二掩模板中相鄰兩行所述 蒸鍍孔的行間距為L3,所述L2、所述bl、所述L3三者的關系為：L3=2L2+2bl。
7. 根據權利要求2或3所述的配套掩模板，其特征在于，所述第一掩模板上彼此相鄰的 四個所述蒸鍍孔圍成一個虛擬蒸鍍孔，所述虛擬蒸鍍孔的面積大于或等于一個所述蒸鍍孔 的面積，所述虛擬蒸鍍孔的形狀與所述蒸鍍孔的形狀相同。
8. 根據權利要求2或3所述的配套掩模板，其特征在于，所述掩模板為一體成型結構或 由分立的掩模單兀組合而成，所述掩模板固定于外框上。
【文檔編號】C23C14/12GK203834003SQ201420112420
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年3月13日 優先權日:2014年3月13日
【發明者】魏志凌, 高小平, 趙錄軍, 張煒平, 劉學明 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司