一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，該自動抽氣裝置位于旋轉靶材噴涂罐體一側并與該旋轉靶材噴涂罐體內腔連通，該自動抽氣裝置包括水泵、真空擋板閥及電磁閥，所述真空擋板閥通過法蘭盤固定于罐體一側抽氣管上，所述法蘭盤下方設一止回閥，該止回閥下方通過軟管與水泵連通，形成真空抽氣通道。本實用新型能夠全自動的抽除真空等離子噴涂過程中在真空腔體內產生的氣體，降低生產過程中的人力成本和時間成本，減低生產異常率。
【專利說明】一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，按國際專利分類表(IPC)劃分屬于靶材噴涂罐體內抽真空【技術領域】。

【背景技術】
[0002]在真空罐體中進行旋轉靶材噴涂時，由于噴槍會產生大量氣體(大部分為氮氣和氬氣)進入真空腔體中，所以為了保持真空腔體的真空度，要實時抽除真空腔體中的產生的氣體。現有的抽氣系統由真空壓力表和抽氣閥組成，當真空度達到低位點時,人為手動打開抽氣閥，真空泵開始工作，待真空電接點壓力表到達高位點時，手動關閉抽氣閥。此方案不僅效率低，浪費了大量人力成本和時間成本。而且由于人為控制的不準確性，容易引起生產過程中異常多發，加大了生產成本。
[0003]由此，本發明人考慮針對靶材噴涂制造過程中真空抽氣結構進行改進，本案由此產生。
實用新型內容
[0004]針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，能夠全自動的抽除真空等離子噴涂過程中在真空腔體內產生的氣體,降低生產過程中的人力成本和時間成本，減低生產異常率。
[0005]為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術方案實現的:
[0006]一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，該自動抽氣裝置位于旋轉靶材噴涂罐體一側并與該旋轉靶材噴涂罐體內腔連通，該自動抽氣裝置包括水泵、真空擋板閥及電磁閥，所述真空擋板閥通過法蘭盤固定于罐體一側抽氣管上，所述法蘭盤下方設一止回閥，該止回閥下方通過軟管與水泵連通，形成真空抽氣通道。
[0007]進一步，所述電磁閥設置于真空擋板閥上方。
[0008]進一步，所述罐體抽氣管上方設置有一檢測管，該檢測管與罐體內腔連通，該檢測管端頭安裝一真空度傳感器，形成對罐體內真空度檢測結構。
[0009]進一步，所述軟管為金屬軟管。
[0010]進一步，所述的旋轉靶材噴涂罐體為授權公告CN203373415U所描述的罐體結構。
[0011]與現有技術相比較，本實用新型的優點:
[0012]1、本實用新型利用電磁閥及真空擋板閥的配合實現了等離子噴涂系統的全自動抽氣功能及控制自動抽氣等功能；
[0013]2、本實用新型夠全自動的抽除真空等離子噴涂過程中在真空腔體內產生的氣體，降低生產過程中的人力成本和時間成本，減低生產異常率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型結構示意圖；。

【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0016]實施例:請參閱圖1所示，一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，該自動抽氣裝置位于旋轉靶材噴涂罐體I 一側并與該旋轉靶材噴涂罐體內腔連通，所述的旋轉靶材噴涂罐體I為授權公告CN203373415U所描述的罐體結構。
[0017]請參閱圖1所示,前述自動抽氣裝置包括水泵2、真空擋板閥3及電磁閥4,所述真空擋板閥3通過法蘭盤5固定于罐體I 一側抽氣管11上，所述法蘭盤5下方設一止回閥6，該止回閥6下方通過金屬軟管7與水泵2連通，形成真空抽氣通道；而所述電磁閥4設置于真空擋板閥3上方；所述罐體抽氣管11上方設置有一檢測管8，該檢測管8與罐體I內腔連通，該檢測管8端頭安裝一真空度傳感器9，形成對罐體I內真空度檢測結構。
[0018]請參閱圖1所示，在靶材真空等離子噴涂過程中，真空罐體I中會產生氣體，導致真空度下降，通過真空度傳感器9測量腔內真空度，實時發送信號至PLC控制箱，當真空度下降到一定值時，PLC控制箱發出控制信號,控制電磁閥4開啟，電磁閥4通過改變氣路方向控制真空擋板閥3打開，真空擋板閥3打開后，PLC控制水環泵2開始工作，真空罐體I內氣體被抽出，真空度上升；當真空度到達一定值后，PLC控制箱發出控制信號控制真空擋板閥3關閉，水泵2停止工作，從而達到自動抽出真空等離子噴涂系統中氣體、保證真空腔體真空度的目的。
[0019]以上所記載，僅為利用本創作技術內容的實施例，任何熟悉本項技藝者運用本創作所做的修飾、變化，皆屬本創作主張的專利范圍，而不限于實施例所揭示者。
【權利要求】
1.一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，其特征在于:該自動抽氣裝置位于旋轉靶材噴涂罐體一側并與該旋轉靶材噴涂罐體內腔連通，該自動抽氣裝置包括水泵、真空擋板閥及電磁閥，所述真空擋板閥通過法蘭盤固定于罐體一側抽氣管上，所述法蘭盤下方設一止回閥，該止回閥下方通過軟管與水泵連通，形成真空抽氣通道。
2.根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，其特征在于:所述電磁閥設置于真空擋板閥上方。
3.根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，其特征在于:所述罐體抽氣管上方設置有一檢測管，該檢測管與罐體內腔連通，該檢測管端頭安裝一真空度傳感器，形成對罐體內真空度檢測結構。
4.根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材自動抽氣裝置，其特征在于:所述軟管為金屬軟管。
【文檔編號】C23C4/12GK203834000SQ201420243514
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月14日 優先權日:2014年5月14日
【發明者】羅建冬 申請人:廈門映日新材料科技有限公司