一種離子源擋板的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種離子源擋板裝置，屬于離子源技術改進領域。一種離子源擋板包括底板，兩根旋轉軸的一端穿過底板與氣動閥機械連接，二根旋轉軸分別固定一塊不銹鋼板。本實用新型優點在于，可保護離子源不受靶材污染，解決了離子源受靶材污染，影響再次鍍膜效果的問題，方便使用，提高了產品質量和生產效率。
【專利說明】一種離子源擋板
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種離子源擋板裝置。屬于離子源技術改進【技術領域】。具體為一種由氣動閥控制的離子源擋板裝置。
【背景技術】
[0002]離子源在物理氣象沉積真空鍍膜中有很重要的作用，離子源的清洗作用可有效清除工件表面的雜質，使涂層與工件表面同時存在物理氣相沉積，導致涂層結合力高，膜層致密、韌性好。適用于切削刀具、注塑模具和發動機耐磨零部件的硬質涂層。離子源是離子清洗的核心部件，但是在真空鍍膜過程中，離子源容易受靶材影響，導致離子源被污染，從而影響鍍膜質量。一般傳統裝置離子源受污染不可避免，受污染后要把離子源整體定期拆卸下來，進行丙酮超聲波清洗、表面打磨處理、二次清洗等工序，最后再重新組裝，原樣裝回。這樣做不僅費時費力，影響生產效率，最重要的是對離子源的核心部分會有一定的損傷，影響離子源使用效果及使用壽命。因此，需要一種特制的裝置來改善離子源受污染問題同時提高生產效率和保證產品質量。
實用新型內容
[0003]針對上述技術問題，本實用新型提供一種離子源擋板來阻止離子源受到靶材的污染。
[0004]實現本實用新型的技術方案如下:一種離子源擋板包括底板，兩根旋轉軸的一端穿過底板與氣動閥機械連接，二根旋轉軸分別固定一塊不銹鋼板。
[0005]進一步講，不銹鋼板后端與旋轉軸連接、前端設有弧形板。
[0006]進一步講，分設在二個所述不銹鋼板上的二個弧形板呈鏡像對稱，二個弧形板不相接觸。
[0007]還可以，不銹鋼板上設有凹槽，貼板上設有凸起，貼板的凸起能放入凹槽中，固定貼板與不銹鋼板。
[0008]本實用新型的有益效果在于:解決了離子源受靶材污染的問題，減少清洗離子源周期，提高了生產效率，保證產品質量；裝置原理巧妙同時又構造簡單，易于實現，通過設凹槽固定貼板，可以增加離子源擋板的面積(可以更好的包裹離子源)，方便對沉積室的清洗；離子源擋板由氣動閥控制，實現在鍍膜過程當中隨時開啟關閉，實用方便。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0010]圖2為圖1的側視圖。
[0011]圖3為本實用新型優選結構俯視圖。
[0012]圖4為不銹鋼板優選結構示意圖。
[0013]圖5為圖4的A-A斷面視圖。
[0014]圖中，1不銹鋼板，2離子源，3旋轉軸，4氣動閥，5底板，6弧形板，7貼板。
具體實施例
[0015]下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明:
[0016]如圖1、圖2所示一種離子源擋板包括底板5，兩根旋轉軸3的一端穿過底板5與氣動閥機4械連接，二根旋轉軸3分別固定一塊不銹鋼板1，氣動閥4控制不銹鋼板1的打開或閉合，二塊不銹鋼板1閉合時遮擋住離子源2，二塊不銹鋼板1閉合時露出離子源2。
[0017]優選方案，如圖3中，不銹鋼板1后端與旋轉軸3連接、前端設有弧形板6，分設在二個所述不銹鋼板1上的二個弧形板6呈鏡像對稱，二個弧形板6不相接觸，通過設置弧形板6能有效遮擋二塊不銹鋼板1之間的間隙。
[0018]如圖4、圖5中，不銹鋼板1上設有凹槽，貼板7上設有凸起，貼板7的凸起能放入凹槽中，固定貼板7與不銹鋼板1，增加不銹鋼板1的面積(也可以將貼板7設計成弧形板6),更好的包裹離子源2，方便對沉積室內的清洗。
[0019]工作原理:在沉積室中，待開啟離子源2后，由氣動閥4帶動旋轉軸3，旋轉軸3帶動不銹鋼板1，從而讓不銹鋼板1打開，離子源2開始工作。待離子源清2洗結束后，關閉氣動閥4，氣動閥4帶動旋轉軸3，旋轉軸3帶動不銹鋼板1閉合(如圖3所示，不銹鋼板1前端設有弧形板6，可以有效遮擋二塊不銹鋼板1之間的間隙，能更好的保護離子源2?。離子源2的工作環境為真空環境，因此考慮用氣動閥4控制，解決了在真空環境下開啟靶材鍍膜時對離子源2的實時保護。
[0020]工作間隙，需要清洗沉積室時，將貼板7的凸起能放入凹槽中，固定貼板7與不銹鋼板1，增加不銹鋼板1的面積，更好的包裹離子源2，方便對沉積室內的清洗，可防止對清洗過程中離子源2的污染。
[0021]本實用新型的實施例公布的是較佳的實施例，但并不限于此，本領域的技術人員，極易根據上述實施例，領會本實用新型的核心技術，做出不同的引申和改進，但只要不脫離本實用新型的精神，都在本實用新型的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種離子源擋板，其特征在于:所述的離子源擋板包括底板(5)，兩根旋轉軸(3)的一端穿過底板(5)與氣動閥機(4)械連接，二根旋轉軸(3)分別固定一塊不銹鋼板(1)。
2.根據權利要求1所述的一種離子源擋板，其特征在于:所述不銹鋼板(1)后端與旋轉軸(3 )連接、前端設有弧形板(6 )。
3.根據權利要求2所述的一種離子源擋板，其特征在于:分設在二個所述不銹鋼板(1)上的二個弧形板(6)呈鏡像對稱，二個弧形板(6)不相接觸。
4.根據權利要求1所述的一種離子源擋板，其特征在于:所述不銹鋼板(1)上設有凹槽，貼板(7)上設有凸起，貼板(7)的凸起能放入凹槽中，固定貼板(7)與不銹鋼板(1)。
【文檔編號】C23C14/46GK204138756SQ201420458073
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年8月14日 優先權日:2014年8月14日
【發明者】韓濱, 閆少健, 付德春 申請人:宜昌后皇真空科技有限公司