易冷卻的玻璃濺射機構的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本發明涉及玻璃鍍膜設備，具體地，涉及易冷卻的玻璃濺射機構。
【背景技術】
[0002]濺射設備是設計用于在平板建筑玻璃上鍍制低輻射膜、低輻射太陽膜以及陽光控制膜，玻璃板由水平輸送系統傳送至鍍膜室進行處理，傳統的濺射設備其運輸機構和靶材機構之間并沒有設置有擋板，靶材機構在使用前需要進行試濺射來調節濺射參數，試濺射時的濺射粒子會之間打在運輸機構上，不僅不利于粒子的收集再利用，同時運輸機構長期濺射后會受到腐蝕，影響其使用壽命。
【發明內容】
[0003]本發明的目的是提供一種玻璃濺射機構，解決了傳統的濺射設備其運輸機構和靶材機構之間并沒有設置有擋板，不利于靶材機構調試的問題。
[0004]為了實現上述目的，本發明提供了一種易冷卻的玻璃濺射機構，其中，所述玻璃濺射機構包括殼體，所述殼體內部的上端固定有靶材機構，所述靶材機構下方設有擋板，所述擋板的周邊垂直設置有豎板，所述豎板與所述殼體內壁之間設有冷卻管，所述擋板上設有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構的正下方，所述擋板中靠近所述靶材機構的表面上可移動地設有第一滑板和第二滑板，通過滑動所述第一滑板和所述第二滑板可以將所述貫穿槽遮蔽。
[0005]優選地，所述豎板與所述殼體內壁之間形成有空間，所述空間內自上而下設置有多個圈冷卻管，所述冷卻管至少部分與所述豎板相接觸。
[0006]優選地，所述冷卻管表面涂抹有硅膠。
[0007]優選地，所述擋板中靠近所述靶材機構的表面上設有滑道，所述第一滑板和所述第二滑板可滑動地設于所述滑道上。
[0008]優選地，所述擋板下方沿第一方向順次設有多個輥筒，多個輥筒上放置有玻璃基片，使得所述玻璃基片可以在所述輥筒上沿所述第一方向滑動。
[0009]優選地，所述輥筒上套接有多個橡膠套，多個所述橡膠套沿所述輥筒的軸向方向等距分布。
[0010]優選地，所述橡膠套的數量4-8個。
[0011]根據上述技術方案，本發明提供了一種易冷卻的玻璃濺射機構，其中，所述玻璃濺射機構包括殼體，所述殼體內部的上端固定有靶材機構，所述靶材機構下方設有擋板，所述擋板的周邊垂直設置有豎板，所述豎板與所述殼體內壁之間設有冷卻管，所述擋板上設有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構的正下方，所述擋板中靠近所述靶材機構的表面上可移動地設有第一滑板和第二滑板，通過滑動所述第一滑板和所述第二滑板可以將所述貫穿槽遮蔽。靶材機構試濺射時可以利用第一滑板和第二滑板將貫穿槽遮蔽，濺射粒子會附著在第一滑板和第二滑板表面，也利于粒子的回收，同時可以利用第一滑板和第二滑板來控制貫穿槽的大小，從而調節濺射粒子附著在玻璃基片上的大小，使得粒子更加集中的附著在玻璃基片表面，提高鍍膜質量，同時，所述豎板與所述殼體內壁之間設有冷卻管，通過冷卻管內的冷水循環將豎版和擋板上的熱量帶走，防止擋板和豎版受熱變形，利于鍍膜室的散熱，大大提高內部元件的使用壽命。
[0012]本發明的其他特征和優點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細說明。
【附圖說明】
[0013]附圖是用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發明，但并不構成對本發明的限制。在附圖中:
[0014]圖1是本發明提供的玻璃濺射機構的結構示意圖；
[0015]圖2是本發明提供的玻璃濺射機構的擋板的結構示意圖。
[0016]附圖標記說明
[0017]1-殼體2-擋板
[0018]3-冷卻管51-第一滑板
[0019]52-第二滑板6-棍筒
[0020]7-玻璃基片8-靶材機構
【具體實施方式】
[0021]以下結合附圖對本發明的【具體實施方式】進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發明，并不用于限制本發明。
[0022]如圖1和圖2所示，本發明提供了一種易冷卻的玻璃濺射機構，其中，所述玻璃濺射機構包括殼體I，所述殼體I內部的上端固定有靶材機構8，所述靶材機構8下方設有擋板2，所述擋板2的周邊垂直設置有豎板，所述豎板與所述殼體I內壁之間設有冷卻管3，所述擋板2上設有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構8的正下方，所述擋板2中靠近所述靶材機構8的表面上可移動地設有第一滑板51和第二滑板52，通過滑動所述第一滑板51和所述第二滑板52可以將所述貫穿槽遮蔽。靶材機構8試濺射時可以利用第一滑板51和第二滑板52將貫穿槽遮蔽，濺射粒子會附著在第一滑板51和第二滑板52表面，也利于粒子的回收，同時可以利用第一滑板51和第二滑板52來控制貫穿槽的大小，從而調節濺射粒子附著在玻璃基片7上的大小，使得粒子更加集中的附著在玻璃基片表面，提高鍍膜質量，同時，所述豎板與所述殼體I內壁之間設有冷卻管3，通過冷卻管3內的冷水循環將豎版和擋板2上的熱量帶走，防止擋板2和豎版受熱變形，利于鍍膜室的散熱，大大提高內部元件的使用壽命。
[0023]在本發明的一種優選的實施方式中，為了使得豎版和擋板2上的熱量更好的散出，所述豎板與所述殼體I內壁之間形成有空間，所述空間內自上而下設置有多個圈冷卻管3，所述冷卻管3至少部分與所述豎板相接觸。
[0024]在本發明的一種優選的實施方式中，為了進一步提高冷卻管3的散熱效率，所述冷卻管3表面涂抹有娃膠。
[0025]在本發明的一種優選的實施方式中，為了減少第一滑板51和第二滑板52在擋板2表面滑動時的摩擦力，減少擋板2表面的磨損，所述擋板2中靠近所述靶材機構8的表面上設有滑道，所述第一滑板51和所述第二滑板52可滑動地設于所述滑道上。
[0026]在本發明的一種優選的實施方式中，所述擋板2下方沿第一方向順次設有多個輥筒6，多個輥筒6上放置有玻璃基片7，使得所述玻璃基片7可以在所述輥筒6上沿所述第一方向滑動。
[0027]在本發明的一種更為優選的實施方式中，為了使得玻璃基片7與輥筒6更為柔和的接觸，防止玻璃基片7在輥筒6上滑動時產生劃痕，所述輥筒6上套接有多個橡膠套，多個所述橡膠套沿所述輥筒6的軸向方向等距分布，優選的，所述橡膠套的數量4-8個。
[0028]以上結合附圖詳細描述了本發明的優選實施方式，但是，本發明并不限于上述實施方式中的具體細節，在本發明的技術構思范圍內，可以對本發明的技術方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本發明的保護范圍。
[0029]另外需要說明的是，在上述【具體實施方式】中所描述的各個具體技術特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復，本發明對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0030]此外，本發明的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本發明的思想，其同樣應當視為本發明所公開的內容。
【主權項】
1.一種易冷卻的玻璃派射機構，其特征在于，所述玻璃派射機構包括殼體(I)，所述殼體(I)內部的上端固定有靶材機構(8)，所述靶材機構(8)下方設有擋板(2)，所述擋板(2)的周邊垂直設置有豎板，所述豎板與所述殼體(I)內壁之間設有冷卻管(3)，所述擋板(2)上設有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構(8)的正下方，所述擋板(2)中靠近所述靶材機構(8)的表面上可移動地設有第一滑板(51)和第二滑板(52)，通過滑動所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可以將所述貫穿槽遮蔽。2.根據權利要求1所述的玻璃濺射機構，其特征在于，所述豎板與所述殼體(I)內壁之間形成有空間，所述空間內自上而下設置有多個圈冷卻管(3)，所述冷卻管(3)至少部分與所述豎板相接觸。3.根據權利要求2所述的玻璃濺射機構，其特征在于，所述冷卻管(3)表面涂抹有硅膠。4.根據權利要求1所述的玻璃濺射機構，其特征在于，所述擋板(2)中靠近所述靶材機構(8)的表面上設有滑道，所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可滑動地設于所述滑道上。5.根據權利要求1所述的玻璃濺射機構，其特征在于，所述擋板(2)下方沿第一方向順次設有多個輥筒(6)，多個輥筒(6)上放置有玻璃基片(7)，使得所述玻璃基片(7)可以在所述輥筒(6)上沿所述第一方向滑動。6.根據權利要求5所述的玻璃濺射機構，其特征在于，所述輥筒(6)上套接有多個橡膠套，多個所述橡膠套沿所述輥筒(6)的軸向方向等距分布。7.根據權利要求6所述的玻璃濺射機構，其特征在于，所述橡膠套的數量4-8個。
【專利摘要】本發明公開了一種易冷卻的玻璃濺射機構，其中，所述玻璃濺射機構包括殼體，所述殼體內部的上端固定有靶材機構，所述靶材機構下方設有擋板，所述擋板的周邊垂直設置有豎板，所述豎板與所述殼體內壁之間設有冷卻管，所述擋板上設有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構的正下方，所述擋板中靠近所述靶材機構的表面上可移動地設有第一滑板和第二滑板，通過滑動所述第一滑板和所述第二滑板可以將所述貫穿槽遮蔽。解決了傳統的濺射設備其運輸機構和靶材機構之間并沒有設置有擋板，不利于靶材機構調試的問題。
【IPC分類】C23C14/34
【公開號】CN105714255
【申請號】CN201610266319
【發明人】金海濤, 薛輝, 昌江, 任俊春
【申請人】蕪湖真空科技有限公司