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一種在塑料膜上制作多層光學膜的方法與流程

文檔序號:11147040閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,包括如下步驟:

將磁控濺射鍍膜機的腔體抽至真空,通入氬氣,將透明塑料薄膜卷放于磁控濺射鍍膜機的轉動輥上,通過控制轉動輥進行轉動,在透明塑料薄膜表面進行磁控濺射沉積鍍膜,其中靶材包括靶材A和靶材B,形成ABAB或BABA交替疊加結構的多層光學膜,靶材A為高折射率靶材,靶材B為低折射率靶材。

2.根據權利要求1所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,靶材A為二氧化硅、氟化鎂或氟化鈣中的一種,靶材B為二氧化鈦、五氧化三鈦、二氧化鋯、氧化鈰或氧化鋅中的一種;

優選地,靶材A為二氧化硅,靶材B為二氧化鈦或五氧化三鈦中的一種;更優選地,靶材B為二氧化鈦。

3.根據權利要求1所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,腔體的真空度≤4.5×10-7Torr,通入氬氣后的真空度4.5×10-3~6.5×10-3Torr;

優選地,腔體的真空度≤3.5×10-7Torr,通入氬氣后的真空度為5.5×10-3Torr。

4.根據權利要求1-3任一項所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,磁控濺射鍍膜機設有1號靶機、2號靶機、3號靶機;1號靶機和3號靶機上設為靶材A,2號靶機上設為靶材B,或者,1號靶機和3號靶機上設為靶材B,2號靶機上設為靶材A。

5.根據權利要求1-3任一項所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,轉動輥正向轉動時,同時開啟1號靶機、2號靶機和3號靶機;轉動輥反向轉動時,同時開啟1號靶機和2號靶機,關閉3號靶機。

6.根據權利要求1-3所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,磁控濺射鍍膜機靶電流為2.5-8.1A。

7.根據權利要求1-3所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法,其特征在于,透明塑料薄膜為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對萘二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或聚丙烯中的一種。

8.一種多層光學薄膜,其特征在于,在透明塑料薄膜上進行磁控濺射沉積鍍膜,以在其表面形成ABAB或BABA交替疊加結構的多層光學膜,其中A為高折射率靶材,B為低折射率靶材。

9.根據權利要求8所述的多層光學薄膜,其特征在于,A為二氧化硅、氟化鎂或氟化鈣中的一種,B為二氧化鈦、五氧化三鈦、二氧化鋯、氧化鈰或氧化鋅中的一種;

優選地,A為二氧化硅,B為二氧化鈦或五氧化三鈦中的一種;更優選B為二氧化鈦。

10.根據權利要求8或9所述的在塑料薄膜上制作多層光學膜的方法制得的多層光學薄膜,其特征在于,透明塑料薄膜為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對萘二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或聚丙烯中的一種。

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