本發明涉及化學拋光領域，具體涉及一種堿性金屬拋光液的制備方法。

背景介紹：

隨著科學技術的發展，對材料表面光潔度和平整度的要求越來越高，這對表面光整技術提出了新的挑戰，同時也為該技術的發展和應用提供了機遇。化學拋光技術已在金屬精加工、金屬樣品制備、控制金屬表面質量與提高金屬表面光潔度等方面獲得了極其廣泛的應用。化學拋光是金屬表面處理中的一個重要工序，通過化學拋光可以獲得光潔度高、平整性好的表面，使金屬的光反射能力、耐腐蝕性能以及熱反射能力得到加強，同時該金屬制品的裝飾效果得到了提高。

隨著微電子行業的發展，目前大規模使用的酸性拋光液暴露出嚴重的問題，隨著集成度的提高，酸性拋光液已不能滿足巨大規模集成電路(GLSI)多層布線CMP的需求。本發明的堿性拋光液具有低機械作用、平坦化程度高和無毒環保等優勢。

技術實現要素：
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本發明的目的在于提供無毒環保堿性金屬拋光液的制備方法。

本發明具體方案如下：

先室溫下配制40-60％的氫氧化鈉溶液，再加入光亮助劑1-2wt％、表面活性劑0.1-0.5wt％、增稠劑2-5wt％、氧化劑5-10wt％、螯合劑1-2wt％，在60℃下攪拌20min得到pH在9-11的環保型金屬拋光液；

酸性拋光液由于具有優良的拋光性和穩定性，在工業中應用廣泛，但在此過程中會產生大量有害廢氣廢水廢渣、污染環境，并且因其腐蝕性太強不適合微電子等領域。因此，本發一種明堿性拋光液，采用成本低廉的氫氧化鈉，不僅解決了污染問題，而且拋光后光澤度比傳統堿性拋光高；

光亮助劑采用硫酸銅、PEG-60氫化蓖麻油和氨甲基丙醇中的一種或多種；

表面活性劑采用十二烷基硫酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、月桂醇硫酸鈉、硬脂酸甘油單酯中的一種或多種；

增稠劑采用糖精、聚乙二醇、聚硅氧烷、羥苯丙酯和納米SiO₂中的一種或多種；

氧化劑采用雙氧水、過硫酸鈉中的一種或多種，氧化劑的引入可以大大提高拋光效率，使金屬表面形成致密的氧化膜，在某種程度上保護金屬表層；

螯合劑采用海藻糖、苯氧乙醇和環五聚二甲基硅氧烷中的一種或多種。

具體實施方式：

實施例1

堿性金屬拋光液的制備方法：在500g的50％NaOH中添加PEG-60氫化蓖麻油20g，混合充分后加入硬脂酸甘油單酯0.5g、聚乙二醇5g、過硫酸鈉10g、海藻糖0.5g，在60℃下攪拌20min得到pH在9-11的環保型金屬拋光液。

實施例2

堿性金屬拋光液的制備方法：在400g的50％NaOH中添加氨甲基丙醇20g，混合充分后加入十二烷基苯磺酸鈉0.5g、納米SiO₂ 5g、過硫酸鈉10g、環五聚二甲基硅氧烷0.5g，在60℃下攪拌20min得到pH在9-11的環保型金屬拋光液。