1.一種防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，包括：
第一、第二磁場(chǎng)發(fā)生器，分別設(shè)于研磨頭及研磨墊修整器內(nèi)部；
高斯計(jì)，設(shè)于研磨墊修整器上；
信號(hào)處理反饋系統(tǒng)，連接高斯計(jì)和第二磁場(chǎng)發(fā)生器；
其中，在所述研磨頭與研磨墊修整器按設(shè)定的運(yùn)動(dòng)軌跡移動(dòng)時(shí)，通過(guò)所述第一磁場(chǎng)發(fā)生器持續(xù)產(chǎn)生磁場(chǎng)，通過(guò)信號(hào)處理反饋系統(tǒng)監(jiān)測(cè)高斯計(jì)不斷切割磁感應(yīng)線產(chǎn)生的磁感應(yīng)電流強(qiáng)度，并當(dāng)該磁感應(yīng)電流強(qiáng)度超出閾值時(shí)觸發(fā)警報(bào)，以使研磨頭立刻停止運(yùn)動(dòng)，并使第二磁場(chǎng)發(fā)生器開(kāi)始產(chǎn)生逆向磁場(chǎng)，以促使研磨墊修整器反向運(yùn)動(dòng)，從而防止研磨頭與研磨墊修整器相撞。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，還包括一第一電源，其連接第二磁場(chǎng)發(fā)生器和信號(hào)處理反饋系統(tǒng)，所述信號(hào)處理反饋系統(tǒng)通過(guò)啟動(dòng)第一電源開(kāi)始工作，使第二磁場(chǎng)發(fā)生器產(chǎn)生逆向磁場(chǎng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，所述第一、第二磁場(chǎng)發(fā)生器分別設(shè)有環(huán)形線圈，所述環(huán)形線圈分別封裝在研磨頭及研磨墊修整器的側(cè)壁內(nèi)部，所述第二磁場(chǎng)發(fā)生器設(shè)有的環(huán)形線圈與第一電源形成回路。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，還包括一第二電源，其與第一磁場(chǎng)發(fā)生器設(shè)有的環(huán)形線圈形成回路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，所述第二電源連接信號(hào)處理反饋系統(tǒng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，所述高斯計(jì)安裝在研磨墊修整器的頂部中心位置。
7.一種防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的方法，使用權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S01：設(shè)定研磨頭與研磨墊修整器的運(yùn)動(dòng)軌跡，打開(kāi)研磨頭設(shè)置的第一磁場(chǎng)發(fā)生器，使其持續(xù)產(chǎn)生磁場(chǎng)，同時(shí)，打開(kāi)研磨墊修整器設(shè)置的高斯計(jì)，開(kāi)始研磨；
步驟S02：通過(guò)信號(hào)處理反饋系統(tǒng)監(jiān)測(cè)高斯計(jì)不斷切割第一磁場(chǎng)發(fā)生器磁場(chǎng)的磁感應(yīng)線產(chǎn)生的磁感應(yīng)電流強(qiáng)度，并與信號(hào)處理反饋系統(tǒng)設(shè)定的閾值對(duì)比；
步驟S03：當(dāng)信號(hào)處理反饋系統(tǒng)監(jiān)測(cè)到的磁感應(yīng)電流強(qiáng)度高于設(shè)定的閾值時(shí)，觸發(fā)警報(bào)，以使研磨頭立刻停止運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)信號(hào)處理反饋系統(tǒng)將第二磁場(chǎng)發(fā)生器打開(kāi)，使其開(kāi)始產(chǎn)生逆向磁場(chǎng)，以促使研磨墊修整器反向運(yùn)動(dòng)，從而防止研磨頭與研磨墊修整器相撞。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的方法，其特征在于，在信號(hào)處理反饋系統(tǒng)中預(yù)存研磨頭和研磨墊修整器之間距離與磁感應(yīng)電流強(qiáng)度之間的關(guān)系曲線，并設(shè)定一最小臨界距離，以該最小臨界距離所對(duì)應(yīng)的磁感應(yīng)電流強(qiáng)度為閾值，通過(guò)監(jiān)測(cè)磁感應(yīng)電流強(qiáng)度的變化來(lái)反映研磨頭與研磨墊修整器之間的距離遠(yuǎn)近，并在監(jiān)測(cè)到的磁感應(yīng)電流強(qiáng)度高于閾值時(shí)觸發(fā)警報(bào)，以使研磨頭立刻停止運(yùn)動(dòng)以及使第二磁場(chǎng)發(fā)生器開(kāi)始產(chǎn)生逆向磁場(chǎng)，從而使研磨頭與研磨墊修整器保持安全的距離。
9.一種研磨設(shè)備，設(shè)有研磨頭及研磨墊修整器，其特征在于，所述研磨設(shè)備設(shè)有權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的研磨設(shè)備，其特征在于，所述研磨設(shè)備設(shè)有警報(bào)系統(tǒng)，所述警報(bào)系統(tǒng)受防止研磨頭與研磨墊修整器相撞的裝置的信號(hào)處理反饋系統(tǒng)觸發(fā)時(shí)產(chǎn)生警報(bào)，并使研磨設(shè)備停機(jī)。