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一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置的制作方法

文檔序號:12110026閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,包括微型蒸發源陣列、基板傳動裝置,其特征在于:所述微型蒸發源陣列中的微型蒸發源蒸發口徑小,并通過快門開關控制蒸發。

2.根據權利要求1所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述微型蒸發源陣列由復數個微型蒸發源陣列排布而成。

3.根據權利要求2所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述微型蒸發源之間間距為5μm~5000μm,其排布方式為并列排布或交錯排布。

4.根據權利要求2所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述微型蒸發源包括一蒸發噴頭,其口徑為1μm~500μm,使得微型蒸發源具有小蒸發口徑。

5.根據權利要求4所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述蒸發噴頭上帶有所述快門開關。

6.根據權利要求2所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述快門開關能夠控制微型蒸發源的蒸發照射,且能夠在瞬間開合。

7.根據權利要求2所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述基板傳動裝置能夠帶動基板移動,所述基板與微型蒸發源陣列之間的距離為50μm~10000μm。

8.根據權利要求7所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:所述傳動裝置能夠帶動基板進行多維移動,具體的在空間直角坐標系xyz中,包括沿x軸移動、沿y軸移動、沿z軸移動以及在xy平面上繞w軸旋轉轉動。

9.根據權利要求8所述的一種高均勻度圖形化多點源陣列蒸發鍍膜裝置,其特征在于:基板沿x、y、z軸移動的速度為1μm/s~5000μm/s之間,基板在xy平面上繞w軸旋轉轉動的速度為1°/s~90°/s之間。

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