技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種使用液態(tài)金屬制備柔性電子線路的方法與裝置。采用熱蒸發(fā)技術(shù)或者濺射技術(shù)，將液態(tài)金屬作為蒸發(fā)源或者濺射源，熱蒸發(fā)或者轟擊濺射出液態(tài)金屬粒子沉積在柔性襯底表面，形成液態(tài)金屬薄膜。該方法簡單易行，有利于柔性電子線路的小尺寸化。另外，本發(fā)明提供的制備裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠?qū)崿F(xiàn)對液態(tài)金屬靶材進行熱蒸發(fā)與濺射兩種方式，因此使用靈活。

技術(shù)研發(fā)人員：李潤偉;鄭春蕾;劉宜偉
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
文檔號碼：201611141411
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.12
技術(shù)公布日：2017.03.15