本發明涉及半導體設備用磨輪位置標定領域，尤其涉及一種磨輪位置標定系統及方法。

背景技術：

集成電路芯片封裝趨勢向更小型化，更高密度，更高性能，更多功能的方向發展，芯片的減薄成為半導體后封裝中的重要工序。晶圓減薄能夠減小芯片封裝體積，提高機械性能和電氣性能，改善芯片的散熱效果。在半導體專用設備制造過程中以及晶圓減薄過程中，晶圓減薄機針對不同的工藝，配備不同的磨輪，磨輪的規格不同，以及磨輪厚度不夠準確的影響，需要在磨削前對磨輪的位置進行標定，目前常規采用的方法是采用5mm的標定塊，手動去標定，如圖1所示，在磨輪71與承片臺8之間設置標定塊9來標定磨輪71的位置。具體的相對位置依靠手感來確定，存在標定位置不夠準確，操作復雜的問題。

技術實現要素：

本發明實施例提供一種磨輪位置標定系統及方法，以解決現有技術中采用手動方式標定磨輪位置時存在的標定不夠準確，且操作復雜的問題。

本發明實施例提供一種磨輪位置標定系統，包括：

驅動裝置；

與所述驅動裝置連接的，并在所述驅動裝置的驅動下運動的滑動裝置，所述滑動裝置包括滑軌和在所述滑軌上運動的滑動板；

固定在所述滑軌上的光電傳感器；

設置于所述滑動板上，并在所述驅動裝置的驅動下隨所述滑動板運動的傳感器擋片和測量傳感器；以及

與所述驅動裝置、所述光電傳感器和所述測量傳感器連接的控制系統；

其中，在所述光電傳感器被所述傳感器擋片阻斷時，所述控制系統接收所述光電傳感器發送的啟動信號確定參考零點，在接收所述測量傳感器檢測到承片臺上邊沿時發送的第一信號、所述測量傳感器檢測到磨輪下邊沿時發送的第二信號后，根據所述參考零點、所述第一信號和所述第二信號確定所述磨輪與所述承片臺之間的距離。

其中，所述磨輪位置標定系統還包括：

用于固定所述驅動裝置和所述滑動裝置的安裝支架，所述驅動裝置設置于所述安裝支架的第一端面，所述滑動裝置設置于所述安裝支架的第二端面，所述第一端面與所述第二端面相鄰且垂直。

其中，所述驅動裝置包括與所述安裝支架連接的安裝座，設置于所述安裝座內的聯軸器，與所述聯軸器的一端連接的驅動電機，與所述聯軸器的另一端連接的軸承座和絲杠結構；

其中所述絲杠結構通過所述軸承座與所述聯軸器連接，所述驅動裝置與所述控制系統的信號輸出端連接。

其中，所述絲杠結構包括：

通過所述軸承座與所述聯軸器連接的絲杠；

套設在所述絲杠上、在所述絲杠轉動時沿所述絲杠的軸向上下運動的絲杠母；以及

套設在所述絲杠上、與所述絲杠母固定連接的絲杠母座；

其中所述絲杠母的運動方向為所述磨輪和所述承片臺距離的延伸方向。

其中，所述滑動裝置還包括：

設置于所述滑動板與所述滑軌之間的滑塊；

其中所述滑動板與所述絲杠母座連接，所述滑塊在所述滑軌上運動，所述滑動板與所述滑塊固定連接。

其中，所述測量傳感器通過固定板固定在所述滑動板上，其中所述固定板固定在所述滑動板的第一安裝面上，所述滑動板的第二安裝面與所述絲杠母座連接，所述第一安裝面與所述第二安裝面相對，且所述測量傳感器與所述控制系統的信號輸入端連接。

其中，所述傳感器擋片固定在所述滑動板的第三安裝面上，所述第三安裝面分別與所述第一安裝面、所述第二安裝面垂直且相鄰。

其中，所述光電傳感器固定在所述滑軌的第一端面上，所述滑軌與所述第一端面相對的第二端面與所述滑塊接觸，且所述光電傳感器與所述控制系統的信號輸入端連接。

其中，所述傳感器擋片包括固定在所述滑動板的第三安裝面上的第一連接部，與所述第一連接部垂直、且一體連接的第二連接部，部分所述第一連接部與所述滑軌的第三端面接觸，所述第二連接部位于所述滑軌的第一端面的一側，與所述第一端面間隔第一預定距離，所述滑軌的第三端面分別與所述第一端面、所述第二端面垂直且相鄰。

其中，所述光電傳感器的數量為兩個，分別為第一光電傳感器和與所述第一光電傳感器位于同一直線上且間隔第二預定距離的第二光電傳感器。

本發明實施例還提供一種采用上述的磨輪位置標定系統標定磨輪的方法，所述方法包括：

控制系統向驅動裝置發送驅動信號，啟動所述驅動裝置，通過所述驅動裝置帶動與所述驅動裝置連接的滑動裝置的運動；

在所述滑動裝置的滑動板在滑軌上滑動的過程中，當光電傳感器因被傳感器擋片阻斷時，所述控制系統接收所述光電傳感器發送的啟動信號確定參考零點并等待接收測量傳感器發送的信號；

接收所述測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時發送的第一信號，根據參考零點和第一信號確定所述測量傳感器的第一升降距離；以及，接收所述測量傳感器檢測到磨輪下邊沿位置時發送的第二信號，根據參考零點和第二信號確定所述測量傳感器的第二升降距離；

根據所述第二升降距離與所述第一升降距離的差值獲取所述磨輪與所述承片臺的距離。

本發明實施例技術方案的有益效果至少包括：

本發明技術方案，通過控制系統啟動驅動裝置，利用驅動裝置的運轉帶動滑動裝置的滑動，在滑動裝置滑動的過程中，當滑動裝置滑軌上的光電傳感器被滑動板上的傳感器擋片阻斷時，控制系統接收光電傳感器發送的啟動信號并確定參考零點；在控制系統接收測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時發送的第一信號以及測量傳感器檢測到磨輪下邊沿位置時發送的第二信號之后，根據參考零點、第一信號和第二信號確定磨輪與承片臺的距離，本發明使用方便、測量準確可靠，能夠實現自動、實時檢測磨輪與承片臺的距離，具有很強的安全性，且能夠提高設備的性價比。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對本發明實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1表示現有技術采用標定塊標定磨輪位置示意圖；

圖2表示本發明實施例一提供的磨輪位置標定系統示意圖一；

圖3表示本發明實施例一提供的磨輪位置標定系統示意圖二；

圖4表示本發明實施例一提供的磨輪與承片臺配合示意圖；

圖5表示本發明實施例一提供的磨輪位置標定系統與磨輪、承片臺配合示意圖；

圖6表示本發明實施例二提供的采用磨輪位置標定系統標定磨輪的方法示意圖。

其中圖中：1、驅動裝置；11、安裝座；12、聯軸器；13、驅動電機；14、軸承座；15、絲杠結構；151、絲杠；152、絲杠母；153、絲杠母座；2、滑動裝置；21、滑軌；22、滑動板；23、滑塊；3、光電傳感器；31、傳感器擋片；4、測量傳感器；5、安裝支架；6、固定板；7、磨削主軸；71、磨輪；72、軸套；8、承片臺；9、標定塊。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

實施例一

如圖2～圖5所示，本發明實施例一提供的磨輪位置標定系統，包括：

驅動裝置1；與驅動裝置1連接的，并在驅動裝置1的驅動下運動的滑動裝置2，滑動裝置2包括滑軌21和在滑軌21上運動的滑動板22；固定在滑軌21上的光電傳感器3；設置于滑動板22上，并在驅動裝置1的驅動下隨滑動板22運動的傳感器擋片31和測量傳感器4；以及與驅動裝置1、光電傳感器3和測量傳感器4連接的控制系統；

其中，在光電傳感器3被傳感器擋片31阻斷時，控制系統接收光電傳感器3發送的啟動信號確定參考零點，在接收測量傳感器4檢測到承片臺8上邊沿時發送的第一信號、測量傳感器4檢測到磨輪71下邊沿時發送的第二信號后，根據參考零點、第一信號和第二信號確定磨輪71與承片臺8之間的距離。

具體的，驅動裝置1與控制系統連接，接收控制系統發送的驅動信號，并根據控制系統的驅動信號開始運轉。驅動裝置1的運轉帶動與驅動裝置1連接的滑動裝置2的運動。其中滑動裝置2包括滑軌21以及滑動板22，其中滑動板22與驅動裝置1連接，在驅動裝置1的帶動下，滑動板22在滑軌21上滑動。

在滑軌21上固定有光電傳感器3，在滑動板22上固定有傳感器擋片31以及測量傳感器4。在滑動板22滑動的過程中，滑動板22的運動帶動傳感器擋片31以及測量傳感器4的運動。當傳感器擋片31在運動過程中，遮擋住光電傳感器3時，即光電傳感器3的光源被傳感器擋片31阻斷，此時光電傳感器3被觸發啟動，光電傳感器3向控制系統發送啟動信號，控制系統在接收到啟動信號之后，確定參考零點。

在滑動板22運動過程中，位于滑動板22上的測量傳感器4根據滑動板22的滑動而上下運動。其中滑動板22的滑動方向和磨輪71與承片臺8之間距離的延伸方向平行，且在開始標定之前，磨輪位置標定系統位于承片臺8的一側，且測量傳感器4可以位于承片臺8一側的下方。

磨輪71與承片臺8之間間隔一定距離，在豎直方向上，磨輪71位于承片臺8的上方，其中磨輪71設置于磨削主軸7的一端，磨輪71套設在磨削主軸7上，在磨削主軸7上還套設有軸套72。

在確定參考零點之后，驅動裝置1驅動滑動板22向上運動，在滑動板22的運動過程中，當測量傳感器4運動到與承片臺8的上邊沿齊平時，測量傳感器4向控制系統發送第一信號，當測量傳感器4運動到與磨輪71的下邊沿齊平時，測量傳感器4向控制系統發送第二信號。

需要說明的是，測量傳感器4屬于紅外傳感器，由于在磨輪71與承片臺8之間間隔一定距離，且測量傳感器4自承片臺8一側的下方向靠近磨輪71的方向運動。在測量傳感器4與承片臺8的上邊沿齊平時，此時測量傳感器4發出的紅外光由被承片臺8遮擋過渡至未被承片臺8遮擋，測量傳感器4產生第一信號發送至控制系統，控制系統在接收到第一信號之后，根據第一信號以及參考零點確定自確定參考零點之后，測量傳感器4運動的第一升降距離。

測量傳感器4在經過承片臺8之后，繼續向靠近磨輪71的方向運動，當測量傳感器4位于承片臺8與磨輪71之間時，承片臺8與磨輪71無法遮擋測量傳感器4發出的紅外光。當測量傳感器4運動到與磨輪71的下邊沿齊平時，測量傳感器4發出的紅外光由未被遮擋過渡至被磨輪71遮擋，此時測量傳感器4產生第二信號，然后測量傳感器4將第二信號發送至控制系統。控制系統在接收到第二信號之后，根據第二信號以及參考零點確定自確定參考零點之后，測量傳感器4運動的第二升降距離。然后計算第二升降距離與第一升降距離之差，獲取磨輪71與承片臺8之間的距離。其中，在豎直方向上，磨輪71、承片臺8由上至下依次排列，測量傳感器4、滑動板22由上至下依次排列。

需要說明的是，在確定參考零點之后、開始標定之前，磨輪位置標定系統位于承片臺8的一側，測量傳感器4也可以上升至磨輪71一側的上方，驅動裝置1可以驅動滑動板22向下運動，在滑動板22的運動過程中，測量傳感器4首先與磨輪71的下邊沿齊平產生信號，然后與承片臺8的上邊沿齊平產生信號，由此根據參考零點、測量傳感器4產生的信號來確定磨輪71與承片臺8之間的距離。

本發明技術方案，在控制系統接收到光電傳感器發送的啟動信后并確定參考零點；在控制系統接收測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時發送的第一信號以及測量傳感器檢測到磨輪下邊沿位置時發送的第二信號之后，根據參考零點、第一信號和第二信號確定磨輪與承片臺的距離，可以實現使用方便、測量準確可靠，自動實時檢測磨輪與承片臺距離的功能，具有很強的安全性，且能夠提高設備的性價比。

在本發明實施例中，如圖2和圖3所示，磨輪位置標定系統還包括：

用于固定驅動裝置1和滑動裝置2的安裝支架5，驅動裝置1設置于安裝支架5的第一端面，滑動裝置2設置于安裝支架5的第二端面，第一端面與第二端面相鄰且垂直。

具體的，驅動裝置1固定在安裝支架5的第一端面上，滑動裝置2固定在安裝支架5的第二端面上，其中第一端面與第二端面相鄰且垂直，滑動裝置2的滑動板22突出于安裝支架5的第二端面，與驅動裝置1連接。

驅動裝置1包括與安裝支架5連接的安裝座11，設置于安裝座11內的聯軸器12，與聯軸器12的一端連接的驅動電機13，與聯軸器12的另一端連接的軸承座14和絲杠結構15；其中絲杠結構15通過軸承座14與聯軸器12連接，驅動裝置1與控制系統的信號輸出端連接。

具體的，驅動裝置1通過安裝座11與安裝支架5的第一端面的配合，實現與安裝支架5的連接。在安裝座11內設置有聯軸器12，其中安裝座11的形狀為一盒狀結構，盒狀結構相對的第一側面和第二側面開口，與第一側面和第二側面相鄰且垂直的第三側面與安裝支架5的第一端面連接。與第一側面相鄰且垂直的第五側面、與第五側面相對的第六側面上分別設置有安裝孔。

聯軸器12的一端穿過第五側面的安裝孔之后與驅動電機13連接，聯軸器12的另一端穿過第六側面的安裝孔之后與軸承座14連接。軸承座14與絲杠結構15連接。其中驅動電機13的信號輸入端與控制系統的信號輸出端連接，控制系統發送驅動信號，驅動電機13在接收到驅動信號之后，根據驅動信號開始運轉。驅動電機13的運轉帶動與驅動電機13連接的聯軸器12的轉動，聯軸器12通過軸承座14與絲杠結構15連接，聯軸器12的運轉帶動絲杠結構15的運動。

其中，如圖2和圖4所示，絲杠結構15包括：

通過軸承座14與聯軸器12連接的絲杠151；套設在絲杠151上、在絲杠151轉動時沿絲杠151的軸向上下運動的絲杠母152；以及套設在絲杠151上、與絲杠母152固定連接的絲杠母座153；其中絲杠母152的運動方向為磨輪71和承片臺8距離的延伸方向。

如圖2、圖4和圖5所示，在聯軸器12轉動時，與聯軸器12連接的絲杠151轉動，絲杠151在轉動過程中，套設在絲杠151上的絲杠母152沿絲杠151的軸向上下運動。且絲杠151的軸向和磨輪71、承片臺8之間距離的延伸方向相同。在絲杠母152沿絲杠151的軸向上下運動時，與絲杠母152固定連接的絲杠母座153沿絲杠151的軸向上下運動。其中在豎直方向上，絲杠母152、絲杠母座153、絲杠151、軸承座14、聯軸器12、驅動電機13由上至下依次排列。

在本發明實施例中，如圖3所示，滑動裝置2還包括：

設置于滑動板22與滑軌21之間的滑塊23；其中滑動板22與絲杠母座153連接，滑塊23在滑軌21上運動，滑動板22與滑塊23固定連接。

在滑軌21與滑動板22之間設置有與滑動板22固定的滑塊23，滑塊23在滑軌21上滑動，進而來保證滑動板22與滑軌21之間的相對運動。

其中如圖2和圖3所示，滑動板22與絲杠結構15的絲杠母座153通過螺栓實現固定連接。在聯軸器12轉動時，與聯軸器12連接的絲杠151轉動，絲杠151在轉動過程中，套設在絲杠151上的絲杠母152沿絲杠151的軸向上下運動。絲杠母152沿絲杠151的運動，帶動滑動板22在滑軌21上的上下滑動，其中滑軌21的延伸方向與絲杠151的軸向延伸方向相同。

測量傳感器4通過固定板6固定在滑動板22上，其中固定板6固定在滑動板22的第一安裝面上，滑動板22的第二安裝面與絲杠母座153連接，第一安裝面與第二安裝面相對，且測量傳感器4與控制系統的信號輸入端連接。傳感器擋片31固定在滑動板22的第三安裝面上，第三安裝面分別與第一安裝面、第二安裝面垂直且相鄰。

測量傳感器4通過固定板6固定在滑動板22的第一安裝面上，具體為，測量傳感器4與固定板6連接，固定板6與滑動板22連接，其中固定板6與測量傳感器4連接的一端形成第一定位孔，測量傳感器4穿設第一定位孔與固定板6連接。滑動板22包括板體和位于板體上與板體一體連接的安裝塊，安裝塊上形成有第三定位孔，固定板6的另一端形成有第二定位孔，在固定板6與滑動板22連接時，通過螺栓與第二定位孔和第三定位孔的配合，實現兩者的連接。其中第二定位孔的孔徑大于第三定位孔的孔徑，可以實現對固定板6的微調。

光電傳感器3固定在滑軌21的第一端面上，滑軌21與第一端面相對的第二端面與滑塊23接觸。且滑塊23與滑動板22的第二安裝面接觸。傳感器擋片31固定在滑動板22的第三安裝面上，其中第三安裝面位于第一安裝面和第二安裝面之間，且與第一安裝面、第二安裝面垂直。傳感器擋片31包括固定在滑動板22的第三安裝面上的第一連接部，與第一連接部垂直、且一體連接的第二連接部，部分第一連接部與滑軌21的第三端面接觸，第二連接部位于滑軌21的第一端面的一側，與第一端面間隔第一預定距離，滑軌21的第三端面分別與第一端面、第二端面垂直且相鄰。

具體的，光電傳感器3設置在滑軌21的第一端面上，傳感器擋片31的第一連接部固定在滑動板22的第三安裝面上，部分第一連接部與滑軌21的第三端面接觸，其中還有部分第一連接部位于滑動板22的第三安裝面與滑軌21的第三端面之間。傳感器擋片31的第二連接部位于滑軌21的第一端面的一側，與光電傳感器3配合。其中光電傳感器3的數量可以為一個，當傳感器擋片31遮住光電傳感器3的光源時，觸發光電傳感器3啟動。且光電傳感器3與控制系統的信號輸入端連接，在光電傳感器3觸發時，向控制系統發送啟動信號，控制系統根據啟動信號記錄參考零點。

光電傳感器3的數量可以為兩個，分別為第一光電傳感器和與第一光電傳感器位于同一直線上且間隔第二預定距離的第二光電傳感器。

如圖2～圖5所示，在控制系統啟動向驅動裝置1發送驅動信號時，傳感器擋片31位于第一光電傳感器和第二光電傳感器之間，此時驅動裝置1驅動滑動裝置2向下運動，在驅動裝置1運動帶動滑動裝置2、進而帶動傳感器擋片31向下運動的過程中，當傳感器擋片31遮擋住第一光電傳感器的光源時，觸發第一光電傳感器，第一光電傳感器向控制系統發送啟動信號，控制系統根據啟動信號記錄參考零點，此時測量傳感器4位于承片臺8一側的下方。

在此之后，驅動裝置1持續運轉，驅動滑動裝置2的滑動板22向上運動，傳感器擋片31在第一光電傳感器和第二光電傳感器之間運動，當測量傳感器4與承片臺8的上邊沿齊平時，此時測量傳感器4發出的紅外光由被承片臺8遮擋過渡至未被承片臺8遮擋，測量傳感器4產生第一信號。由于測量傳感器4與控制系統的信號輸入端連接，測量傳感器4將第一信號發送至控制系統，控制系統在接收到第一信號之后，根據第一信號以及參考零點確定自確定參考零點之后，測量傳感器4運動的第一升降距離。

測量傳感器4在經過承片臺8之后，繼續向靠近磨輪71的方向運動，當測量傳感器4位于承片臺8與磨輪71之間時，承片臺8與磨輪71無法遮擋測量傳感器4發出的紅外光。當測量傳感器4運動到磨輪71的下邊沿齊平時，測量傳感器4發出的紅外光由未被遮擋過渡至被磨輪71遮擋，此時測量傳感器4產生第二信號，然后測量傳感器4將第二信號發送至控制系統。控制系統在接收到第二信號之后，根據第二信號以及參考零點確定自確定參考零點之后，測量傳感器4運動的第二升降距離。然后控制系統計算第二升降距離與第一升降距離之差，獲取磨輪71與承片臺8之間的距離。之后控制系統向驅動裝置1發送停止信號，驅動裝置1停止運動。需要說明的是，當測量傳感器4在承片臺8與磨輪71之間運動時，傳感器擋片31在第一光電傳感器與第二光電傳感器之間運動。

本發明實施例一，通過控制系統啟動驅動裝置，利用驅動裝置的運轉帶動滑動裝置的滑動，在滑動裝置滑動的過程中，當滑動裝置滑軌上的光電傳感器被滑動板上的傳感器擋片阻斷時，控制系統接收光電傳感器發送的啟動信號并確定參考零點；在控制系統接收測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時發送的第一信號以及測量傳感器檢測到磨輪下邊沿位置時發送的第二信號之后，根據參考零點、第一信號和第二信號確定磨輪與承片臺的距離，可以實現使用方便、測量準確可靠，自動、實時檢測磨輪與承片臺的距離的目的，具有很強的安全性，且能夠提高設備的性價比。

實施例二

本發明實施例二提供一種采用磨輪位置標定系統標定磨輪的方法，其中磨輪位置標定系統，包括：驅動裝置；與驅動裝置連接的，并在驅動裝置的驅動下運動的滑動裝置，滑動裝置包括滑軌和在滑軌上運動的滑動板；固定在滑軌上的光電傳感器；設置于滑動板上，并在驅動裝置的驅動下隨滑動板運動的傳感器擋片和測量傳感器；以及與驅動裝置、光電傳感器和測量傳感器連接的控制系統。其中如圖6所示，標定磨輪的方法包括：

步驟601、控制系統向驅動裝置發送驅動信號，啟動驅動裝置，通過驅動裝置帶動與驅動裝置連接的滑動裝置的運動。

首先，控制系統向驅動裝置發送驅動信號，驅動裝置在接收到驅動信號之后，開始運轉，驅動裝置的運轉帶動與驅動裝置連接的滑動裝置的運動。其中驅動裝置和滑動裝置均位于安裝支架上，滑動裝置的滑軌固定在安裝支架上，滑動裝置的滑動板與驅動裝置連接，在驅動裝置的驅動下，滑動板沿滑軌運動，其中滑軌的延伸方向與磨輪和承片臺之間的距離延伸方向相同。

其中，驅動裝置包括：與安裝支架連接的安裝座，設置于安裝座內的聯軸器，與聯軸器的一端連接的驅動電機，與聯軸器的另一端連接的軸承座和絲杠結構；其中絲杠結構通過軸承座與聯軸器連接，驅動電機與控制系統連接。控制系統發送驅動信號，驅動電機在接收到驅動信號之后進行運轉。驅動電機的運轉帶動與驅動電機連接的聯軸器的轉動，聯軸器通過軸承座與絲杠結構連接，聯軸器的運轉帶動絲杠結構的運動。

絲杠結構包括：通過軸承座與聯軸器連接的絲杠；套設在絲杠上、在絲杠轉動時沿絲杠的軸向上下運動的絲杠母；以及套設在絲杠上、與絲杠母固定連接的絲杠母座；其中絲杠母的運動方向為磨輪和承片臺距離的延伸方向。在聯軸器轉動時，與聯軸器連接的絲杠轉動，絲杠在轉動過程中，套設在絲杠上的絲杠母沿絲杠的軸向上下運動。且絲杠的軸向和磨輪、承片臺之間距離的延伸方向相同。在絲杠母沿絲杠的軸向上下運動時，與絲杠母固定的絲杠母座沿絲杠的軸向上下運動。同時與絲杠母座連接的滑動板在滑軌上運動，滑軌的延伸方向與絲杠的軸向方向相同。

步驟602、在滑動裝置的滑動板在滑軌上滑動的過程中，當光電傳感器因被傳感器擋片阻斷時，控制系統接收光電傳感器發送的啟動信號確定參考零點并等待接收測量傳感器發送的信號。

在滑動裝置的滑動板滑動的過程中，滑軌上的光電傳感器處于靜止狀態，位于滑動板上的傳感器擋片隨滑動板的運動而運動，其中傳感器擋片與光傳感器匹配，在傳感器擋片運動至合適的位置遮擋住光電傳感器的光源時，觸發光電傳感器啟動。

當傳感器擋片在運動過程中遮擋住光電傳感器的光源時，光電傳感器觸發，向控制系統發送啟動信號，控制系統根據接收到啟動信號確定參考零點。在確定參考零點之后，等待接收測量傳感器發送的信號。

其中，在傳感器擋片遮擋住光電傳感器的光源時，測量傳感器位于承片臺一側的下方。在控制系統確定參考零點之后，驅動裝置運轉，此時驅動裝置驅動滑動板沿滑軌向上運動。

需要說明的是，在傳感器擋片遮擋住光電傳感器的光源，控制系統確定參考零點之后，當測量傳感器上升至磨輪一側的上方時，此時驅動裝置驅動滑動板沿滑軌向下運動，測量傳感器首先檢測到磨輪的下邊沿，然后檢測到承片臺的上邊沿，進而來確定磨輪與承片臺之間的距離。本發明各實施例中以在傳感器擋片遮擋住光電傳感器的光源時，測量傳感器位于承片臺一側的下方進行說明。

步驟603、接收測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時發送的第一信號，根據參考零點和第一信號確定測量傳感器的第一升降距離；以及，接收測量傳感器檢測到磨輪下邊沿位置時發送的第二信號，根據參考零點和第二信號確定測量傳感器的第二升降距離。

在滑動板繼續運動的過程中，當測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時，即測量傳感器與承片臺的上邊沿齊平時，此時測量傳感器發出的紅外光由被承片臺遮擋過渡至未被承片臺遮擋，測量傳感器產生第一信號發送至控制系統，控制系統在接收到第一信號之后，根據第一信號以及參考零點確定自確定參考零點之后，測量傳感器運動的第一升降距離。

測量傳感器在經過承片臺之后，繼續向靠近磨輪的方向運動，當測量傳感器位于承片臺與磨輪之間時，承片臺與磨輪無法遮擋測量傳感器發出的紅外光。當測量傳感器運動到與磨輪的下邊沿齊平時，測量傳感器發出的紅外光由未被遮擋過渡至被磨輪遮擋，此時測量傳感器產生第二信號，然后測量傳感器將第二信號發送至控制系統。控制系統在接收到第二信號之后，根據第二信號以及參考零點確定自確定參考零點之后，測量傳感器運動的第二升降距離。

步驟604、根據第二升降距離與第一升降距離的差值獲取磨輪與承片臺的距離。

在獲取第一升降距離與第二升降距離之后，根據第二升降距離與第一升降距離之間的差值，來獲取磨輪與承片臺之間的距離。

本發明實施例二，通過控制系統啟動驅動裝置，利用驅動裝置的運轉帶動滑動裝置的滑動，在滑動裝置滑動的過程中，當滑動裝置滑軌上的光電傳感器被滑動板上的傳感器擋片阻斷時，控制系統接收光電傳感器發送的啟動信號并確定參考零點；在控制系統接收測量傳感器檢測到承片臺上邊沿位置時發送的第一信號以及測量傳感器檢測到磨輪下邊沿位置時發送的第二信號之后，根據參考零點、第一信號和第二信號確定磨輪與承片臺的距離，可以實現使用方便、測量準確可靠，自動、實時檢測磨輪與承片臺的距離的目的，具有很強的安全性，且能夠提高設備的性價比。

以上所述的是本發明的優選實施方式，應當指出對于本技術領域的普通人員來說，在不脫離本發明所述的原理前提下還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也在本發明的保護范圍內。