技術(shù)特征：

1.一種在鉭噴絲頭表面滲氮并鍍DLC膜的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

(1)將鉭噴絲頭表面拋光至0.02μm以上；

(2)將表面拋光后的鉭噴絲頭清洗并烘干；

(3)用顯微鏡檢測清洗后的鉭噴絲頭，若無任何污染則放入爐內(nèi)，將爐內(nèi)抽真空至真空度為5×10²Pa，溫度升到500—700℃，保溫1—1.5h后加入氫和氮，其中，氫和氮的體積比為(4.5—5.5):1，用冷卻水冷卻，待爐內(nèi)溫度降至100℃以下時取出鉭噴絲頭；

(4)將取出的鉭噴絲頭清洗并烘干；

(5)用顯微鏡檢測清洗后的鉭噴絲頭，若無任何污染則放入爐內(nèi)，用磁控濺射的方法在鉭噴絲頭表面鍍上DLC膜；鍍膜采用的靶材為乙炔，鍍膜條件如下：真空度為5×10^-3—8×10^-3Pa，溫度180—280℃，濺射時間為1—3h；鍍膜后將鉭噴絲頭冷卻至100℃以下，即得表面鍍DLC膜的鉭噴絲頭。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，步驟(2)和(4)所述的清洗是先將表面拋光后的鉭噴絲頭在濃度為98％的硫酸中，于140℃條件下進行煮酸處理25—35min，然后用清水沖洗后再用去離子水清洗，再在超聲清洗槽里用酒精、丙酮和去離子水依次進行超聲清洗。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，步驟(3)和(5)所述顯微鏡為放大150倍的測量顯微鏡。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，步驟(5)所述濺射時間為60—80min。